硅片電阻率測試儀TS1700電量輸出/測量：內置直流穩(wěn)壓電源和精密電流測量單元，測量不確定度達0.1%。

硅片電阻率測試儀TS1700每次測量時電壓值均可穩(wěn)定在500 mV，并同步測量回路電流，范圍：0～1.2 A。

觸頭執(zhí)行結構：由2根螺旋鉆頭、10根帶觸頭的金屬桿、施壓裝置等組成。

標配觸頭(標準推薦)：單個觸頭面積約為64.5 mm2, 10個總面積達645 mm2。

選配觸頭(選配件)：單個觸頭面積約為100 mm2, 10個總面積達1000 mm2。

導電橡膠觸頭(TS1700-B)：該觸頭為面積為645 mm2的導電橡膠，可實現(xiàn)觸頭與樣品軟接觸。與富蘭克林法相比具有更高的重復性和可比性。

鉆頭具有很好的銳度，可在一定壓力下輕易刺破電工鋼表面涂層。

鉆頭、觸頭金屬桿均由電動缸驅動，在垂直方向同步移動，以接觸樣品進行測試。

測試時，單個觸頭表面壓力約2 N/mm2，配壓力傳感器實時監(jiān)控所施加的壓力。

樣品托盤：由電機驅動，可帶動樣品前后移動，以尋找多個不同的測試區(qū)域，獲取多組測試數(shù)據(jù)。通過軟件可設置1～5組測試點。

系統(tǒng)驗證標準器：配備標準電阻線路板，用于系統(tǒng)的日常驗證。

移動式測控臺：通過液晶觸摸屏設置測試參數(shù)，觀察測試狀態(tài)及結果，使用便捷。

專業(yè)測試軟件：設置參數(shù)和放置樣品外，其他測試過程可通過軟件自動完成。

軟件可實時顯示測試的電壓值、電流值、壓力值，并記錄每組測試數(shù)據(jù)。

5. 硅片電阻率測試儀TS1700試樣要求

樣品尺寸：( 300 mm～500 mm ) × ( 200 mm ) (長×寬)

樣品厚度：0.1 mm～1.0 mm

其他要求：試樣表面應清潔、平整、無斑痕、劃痕

6. 硅片電阻率測試儀TS1700一般技術規(guī)格

供電電源 AC ( 220 ± 22 ) V，( 50 ± 2 ) Hz

溫度性能 工作溫度：0°C～40°C；儲存溫度：-20°C～70°C

濕度性能 工作濕度：40%～80% R·H不結露

儲存濕度：< 95% R·H，不結露