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公開課 | 透射電鏡原理介紹及其在半導(dǎo)體失效分析中的應(yīng)用

廣電計量 ? 2023-03-20 15:49 ? 次閱讀
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透射電子顯微鏡(TEM)于1932年左右發(fā)明,是一種以波長極短的電子束作為電子光源,利用電子槍發(fā)出的高速的、聚集的電子束照射至非常薄的樣品,收集透射電子流經(jīng)電磁透鏡多級放大后成像的高分辨率、高放大倍數(shù)的電子光學儀器。

透射電鏡具有分辨率高、可與能譜儀等其他技術(shù)聯(lián)用的優(yōu)點,在物理、化學、生物學和材料學等多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。近年來,隨著半導(dǎo)體行業(yè)飛速發(fā)展,相關(guān)產(chǎn)品關(guān)鍵結(jié)構(gòu)尺寸的進一步微納米化,透射電鏡逐漸開始作為半導(dǎo)體失效分析的有力工具。

4nm制程芯片TEM成像圖

為了讓用戶對透射電鏡相關(guān)內(nèi)容有進一步的了解,此次公開課特意邀請英國曼徹斯特大學材料學博士、廣電計量半導(dǎo)體技術(shù)副經(jīng)理劉辰開展主題為《透射電鏡原理介紹及其在半導(dǎo)體失效分析中的應(yīng)用》線上公開課。屆時,報名用戶不僅能免費參與課程,聽課期間還有超強的技術(shù)專家團隊為大家進行現(xiàn)場答疑。

活動介紹

【主題】透射電鏡原理介紹及其在半導(dǎo)體失效分析中的應(yīng)用

【時間】時間3月30日上午9:30-11:00

【講師】劉辰

●英國曼徹斯特大學材料學博士

● 廣電計量MA技術(shù)線負責人

● 近十年材料分析和電鏡實操經(jīng)驗

此次公開課不僅作為一場公益課程,更對于報名并成功聽課的客戶提供限時優(yōu)惠檢測服務(wù)方案。

● 優(yōu)惠期間,可享受優(yōu)先檢測服務(wù)

● 優(yōu)惠期間,可享受AEC-Q培訓課程八折優(yōu)惠

【優(yōu)惠期:2023.3.30-2023.4.30】

常見問題

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