分析儀器對(duì)于真空技術(shù)的需求非常復(fù)雜. 在基于控制成本的情況下, 對(duì)真空泵性能和空間限制要求也很高. 需要在設(shè)計(jì)階段就考慮要達(dá)到更高的靈敏度, 分辨率和樣品通量, 明顯改善數(shù)據(jù)管理等目標(biāo), 以及新分析系統(tǒng)中成本和空間的優(yōu)化, 在這個(gè)過(guò)程中, 真空系統(tǒng)至關(guān)重要, 上海伯東德國(guó) Pfeiffer SplitFlow? 智能分流分子泵滿足分析儀器設(shè)備廠家要求并接受定制.

分流式分子泵在分析儀器中的作用
傳統(tǒng)技術(shù)采用多款抽速不同的高真空泵來(lái)實(shí)現(xiàn)真空系統(tǒng), 例如樣品室腔體, 部分多級(jí)離子光學(xué)裝置和質(zhì)譜儀的檢測(cè)器系統(tǒng). 渦輪分子泵主要用于該用途, 而分離泵用于各自不同的真空度和氣流量. 至少需要兩臺(tái)抽速在 50 到 300l/s 之間的高真空泵. 這些泵還需要采用小型機(jī)械前級(jí)泵進(jìn)行粗抽(例如旋片泵). 排空氣源還需要附加的真空泵. 取決于要求, 必須達(dá)到至少 30 m3/h 或以上的總抽速. 該解決方案需要大量空間, 由于獨(dú)立組件眾多, 整體系統(tǒng)的可靠性降低.

SplitFlow? 是由上海伯東德國(guó) Pfeiffer 開(kāi)發(fā)的利用一個(gè)模塊去實(shí)現(xiàn)渦輪牽引泵的功能, 從而為分析系統(tǒng)制造商提供了更大的靈活性. 分流分子泵在單一真空系統(tǒng)內(nèi)結(jié)合了精確的幾何適應(yīng)性和優(yōu)異的性能. 尤其是在不斷增加的復(fù)雜性和臺(tái)式裝置趨勢(shì)方面, 符合市場(chǎng)要求和客戶需要. 除了純粹的幾何適應(yīng)性以外, 還滿足特定的真空技術(shù)參數(shù). 例如, 通過(guò)結(jié)合不同的抽氣原理（例如, 結(jié)合渦輪分子泵和霍爾威克壓力級(jí)）, 允許的前真空壓力將明顯提高, 同時(shí)壓縮性能將提高幾個(gè)數(shù)量級(jí). 通過(guò)巧妙地設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)子幾何形狀, 可以產(chǎn)生多達(dá)三個(gè)不同的泵級(jí). 它們的定向方式只會(huì)部分地相互影響. 這樣的布置使得分流式分子泵可以代替兩臺(tái)離散式高真空泵和一臺(tái)機(jī)械前級(jí)泵.

帶有三級(jí) SplitFlow? 渦輪分子泵的創(chuàng)新質(zhì)譜儀系統(tǒng)

上海伯東德國(guó) Pfeiffer SplitFlow? 分流式分子泵
SplitFlow? 分流式分子泵可以實(shí)現(xiàn)完全整合到分析儀器的真空室中, 型號(hào)包含 SplitFlow 50, SplitFlow 80, SplitFlow 310 等, 取決于系統(tǒng)的配置, 一般可以為真空系統(tǒng)減少大約 50%的空間, 而且節(jié)省成本超過(guò) 50%. 通過(guò)取消離散式抽吸裝置, 采用標(biāo)準(zhǔn)泵批量生產(chǎn)的研究結(jié)果, 如今可以達(dá)到超過(guò) 100,000 小時(shí) MTTF（平均無(wú)故障時(shí)間）的分子泵可靠性.

SplitFlow? 分流式分子泵通過(guò)優(yōu)化的軸承技術(shù)實(shí)現(xiàn)高可靠性, 無(wú)需維護(hù)的磁懸浮軸承搭配球軸承在兩側(cè)定位快速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子, 從而可以有效減震. 對(duì)于渦輪分子泵的計(jì)算機(jī)控制一體化, 提供標(biāo)準(zhǔn)化的界面. 由于其特殊布局, 這些泵只需要一個(gè)空氣冷卻系統(tǒng), 這意味著, 可以省去附加的水冷卻和其他裝置費(fèi)用.

上海伯東 Pfeiffer SplitFlow? 分流式分子泵與不同系統(tǒng)設(shè)備商合作開(kāi)發(fā)各類(lèi)真空系統(tǒng), 典型應(yīng)用包含氦質(zhì)譜檢漏儀, 氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng), 質(zhì)譜分析儀等, 分流泵模塊化的靈活方法使其可以按照客戶要求提供個(gè)性化定制.

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