精密光學(xué)領(lǐng)域，一般把Ra值＜0.3nm的元件稱為超光滑（超滑）元件。其極低的粗糙度和無損的高質(zhì)量表面，在光學(xué)系統(tǒng)中可以有效的減少光的散射，在例如激光陀螺儀、高功率激光、超精密光學(xué)等領(lǐng)域，有廣泛的應(yīng)用。

隨著一些行業(yè)對(duì)超光滑元件的使用越來越多，推進(jìn)了表面加工技術(shù)快速發(fā)展的同時(shí)，也對(duì)其亞納米級(jí)的粗糙度檢測提出了更迫切的需求。

近來優(yōu)可測白光干涉儀AM系列已為多家超光滑企業(yè)提供無接觸、無損傷的粗糙度測量方案。在此分享給大家，一起來看看超光滑元件究竟有多光滑。

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樣品一

樣品二

粗糙度Sa值分別為0.082nm、0.137nm?。?！

相當(dāng)于5km見方的空間范圍內(nèi)僅芝麻粒大小的凹凸起伏！

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優(yōu)可測白光干涉儀AM系列NA-500可以觀察到如此細(xì)膩的微觀世界，主要得益于以下幾點(diǎn)：

1.使用高精度壓電陶瓷，通過精確控制電壓信號(hào)產(chǎn)生微量位移；

2.500萬像素的高感光度傳感器及“弱光提取算法”，精確采集點(diǎn)云數(shù)據(jù)；

3.軟件獨(dú)特的“相位展開”圖像采集功能，有效抑制系統(tǒng)噪聲。

另外優(yōu)可測Atometrics AM-7000系列白光干涉儀掃描速度最快可達(dá)400μm/s，如上結(jié)果僅用3-5秒鐘即可獲得！

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