安捷倫4156A/Agilent4156B半導體參數(shù)分析儀
4156A 是安捷倫的半導體參數(shù)分析儀。半導體參數(shù)分析儀是用于各種測量功能的多合一工具。半導體參數(shù)分析儀可以測量和分析多種電子設備、材料、有源或無源元件、半導體或任何其他類型的電子設備的電氣特性。工程師使用這臺測試設備來監(jiān)測不同類型設備中的電流和電壓響應。附加的功能：

高分辨率/準確度和寬范圍。I：1 fA 至 1 A（20 fA 偏移精度），V：1 μV 至 200 V
采用直流或脈沖模式的全自動 IV 掃描測量，可擴展至 6 個 SMU
同步應力/測量功能，兩個高壓脈沖發(fā)生器單元 (±40 V)
時域測量：60 μS 可變間隔，最多 10,001 個點
易于使用：類似于曲線跟蹤器的旋鈕掃描，自動分析功能
自動化：內(nèi)置 HP Instrument BASIC、觸發(fā) I/O 功能
Agilent HP 4156A 是下一代精密半導體參數(shù)分析儀。您將獲得最好的數(shù)字掃描參數(shù)分析儀、可靠性測試儀、功能強大的故障分析工具和自動進貨檢測站，所有這些都集成在一臺儀器中。

這個新系列經(jīng)過明確設計，旨在為評估您的亞微米幾何器件提供前所未有的精度和功能。使用一臺靈活的儀器，您可以從材料評估和器件表征一直到最終封裝部件檢查和現(xiàn)場故障分析，提高您的半導體質(zhì)量。

Agilent HP 4156A 提供四個內(nèi)置電源/監(jiān)控器單元 (SMU)、兩個電壓源單元 (VSU) 和兩個電壓監(jiān)控器單元 (VMU)。Agilent HP 4156A 將電流分辨率擴展至 1 fA，準確度擴展至 20 fA。Agilent HP 4156A 在每個 SMU 上使用全開爾文遙感。

您可以隨時添加配備 0 V/1.6 A 接地單元的 Agilent HP 41501A SMU 和脈沖發(fā)生器擴展器。擴展器接受兩個 100 mA/100 V SMU 或一個 1 A/200 V SMU，以及兩個專門同步的 40 V/200 mA/1 μs 脈沖發(fā)生器。

設置和測量
Agilent HP 4156A 可以使用許多測量單元（包括 HP 41501A 中的單元）執(zhí)行階梯和脈沖掃描測量以及采樣（時域）測量，而無需更改連接。此外，您可以輕松地執(zhí)行應力測量循環(huán)測試以進行可靠性評估，例如熱載流子注入和閃存 EEPROM 測試。

設置和測量是通過設置頁面并使用前面板按鍵、鍵盤或 HP-IB（SCPI 命令）填充空白來進行的。您還可以使用類似于曲線跟蹤器操作的旋鈕掃描功能即時測量和查找設置條件。

顯示和分析
測量和分析結(jié)果顯示在彩色 CRT 上，您可以將四個圖形存儲器中存儲的圖形疊加起來進行比較。許多強大的圖形分析工具可以輕松分析和提取許多參數(shù)，例如 hFE 和 Vth。一旦找到參數(shù)提取條件，就可以使用自動分析功能自動獲取參數(shù)。

輸出和存儲
設置、測量和分析數(shù)據(jù)可以通過 HP-IB 或串行接口輸出到彩色繪圖儀和打印機。您還可以將數(shù)據(jù)以 MS-DOS 或 LIF 格式保存到 3 英寸磁盤上。圖形（HP-GL 或 PCL）輸出文件允許您將圖形傳輸?shù)阶烂娉霭孳浖?/p>

重復和自動化測試
Agilent HP Instrument BASIC 控制器內(nèi)置于 Agilent HP 4156A 中，可以使用外部儀器構(gòu)建自動測量系統(tǒng)，無需控制器。Agilent HP 4156A 可以通過多功能觸發(fā) I/O 功能與外部儀器同步。

審核編輯 黃宇