北方華創(chuàng)最近發(fā)布了一款名為Accura BE的12英寸等離子體刻蝕機(jī)，該設(shè)備應(yīng)用于晶邊刻蝕（Bevel Etch）工藝，實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)晶邊干法刻蝕設(shè)備的突破。這項突破為我國先進(jìn)芯片制造提供了高效的良率提升解決方案。

北方華創(chuàng)自2001年成立以來一直致力于研究刻蝕技術(shù)，并于2005年推出第一臺8英寸ICP刻蝕機(jī)，隨后帶領(lǐng)國產(chǎn)刻蝕機(jī)的交付量逐漸增加，突破了1000臺。

據(jù)北方華創(chuàng)相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，“Accura BE作為國產(chǎn)首臺12英寸晶邊刻蝕設(shè)備，其技術(shù)性能已達(dá)到業(yè)界主流水平?！?Accura BE通過軟件系統(tǒng)調(diào)度優(yōu)化和特有傳輸平臺的結(jié)合，可以提升客戶的產(chǎn)能。它可以選擇多種刻蝕氣體，實(shí)現(xiàn)對光刻膠（PR）、氧化物（OX）、氮化硅（SiN）、碳（Carbon）和金屬（Metal）等多種膜層材料的晶邊刻蝕工藝全覆蓋。同時，它還可以提供定制的聚焦環(huán)設(shè)計組合，實(shí)現(xiàn)對等離子體刻蝕區(qū)域的精準(zhǔn)位置控制，為客戶提供靈活、全面的良率提升方案。此外，Accura BE還具備軟件智能算法，可以進(jìn)行可視化的量化調(diào)節(jié)，簡化維護(hù)流程，提高設(shè)備的生產(chǎn)效率。

最新發(fā)布的12英寸等離子體刻蝕機(jī)Accura BE技術(shù)性能已達(dá)到業(yè)界主流水平。該設(shè)備主要有以下亮點(diǎn)：

1. 通過軟件系統(tǒng)調(diào)度優(yōu)化和特有傳輸平臺的結(jié)合，能夠幫助客戶實(shí)現(xiàn)更高的產(chǎn)能。

2. 可選擇多種刻蝕氣體，實(shí)現(xiàn)對光刻膠（PR）、氧化物（OX）、氮化硅（SiN）、碳（Carbon）和金屬（Metal）等多種膜層材料的晶邊刻蝕工藝全覆蓋。

3. 可定制多種尺寸的聚焦環(huán)設(shè)計組合，實(shí)現(xiàn)對等離子體刻蝕區(qū)域的精準(zhǔn)位置控制，為客戶提供靈活、全面的良率提升方案。

4. 配備軟件智能算法，可實(shí)施可視化的量化調(diào)節(jié)，簡化維護(hù)流程，提高設(shè)備的生產(chǎn)效率。

這些亮點(diǎn)使Accura BE在剛剛上市時就贏得了邏輯及存儲器領(lǐng)域頭部客戶的多個訂單，并且已經(jīng)通過了工藝調(diào)試，進(jìn)入了量產(chǎn)階段。

編輯：黃飛