剛剛，中國(guó)及全球最大的MEMS代工廠賽微電子官宣，其首款基于MEMS技術(shù)的國(guó)產(chǎn)BAW濾波器實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，將會(huì)帶來(lái)哪些影響？中國(guó)手機(jī)有望用上國(guó)產(chǎn)5G、6G射頻芯片實(shí)現(xiàn)5/6G通信功能？

剛剛，中國(guó)及全球第一MEMS代工廠賽微電子官宣其首款國(guó)產(chǎn)BAW濾波器實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，什么情況？已與某客戶簽署長(zhǎng)期采購(gòu)協(xié)議！

剛剛（7月16日下午4點(diǎn)35分），中國(guó)及全球最大的MEMS晶圓代工廠賽微電子正式官宣，其首款國(guó)產(chǎn)BAW濾波器實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。該聲明只有一句話，充分體現(xiàn)了字少事大。

▲來(lái)源：賽微電子官方公眾號(hào)

據(jù)賽微電子同步發(fā)布的《北京賽微電子股份有限公司關(guān)于控股子公司BAW濾波器啟動(dòng)量產(chǎn)的公告》顯示，其以 MEMS 工藝為某客戶制造的系列 BAW (Bulk Acoustic Wave,帶諧振腔體聲波) 濾波器完成了小批量試生產(chǎn)階段，已與某客戶簽署長(zhǎng)期采購(gòu)采購(gòu)協(xié)議并啟動(dòng)量產(chǎn)：

2023 年 7 月 15 日，該客戶已與賽萊克斯北京同步簽署《長(zhǎng)期采購(gòu)協(xié)議》賽萊克斯北京開始進(jìn)行 BAW 濾波器的商業(yè)化規(guī)模量產(chǎn)。

▲來(lái)源：賽微電子公告

據(jù)7月3日，賽微電子接待機(jī)構(gòu)調(diào)研時(shí)的聲名顯示，該BAW濾波器產(chǎn)線初期產(chǎn)能為2000片晶圓/月，后期將擴(kuò)展到10000片晶圓/月水平：

公司與武漢敏聲以共同購(gòu)置設(shè)備的方式合作建設(shè)的北京8英寸BAW濾波器聯(lián)合產(chǎn)線已于2022年底實(shí)現(xiàn)通線，雙方一直就數(shù)款BAW濾波器開展相關(guān)工作，工藝開發(fā)及試產(chǎn)工作符合預(yù)期，專線產(chǎn)品類別增加，良率水平大幅提升，量產(chǎn)事宜正在積極準(zhǔn)備中。該產(chǎn)線初期建成的產(chǎn)能為2000片晶圓/月，后可擴(kuò)展至1萬(wàn)片晶圓/月的水平。

關(guān)于BAW濾波器及在通信中的作用：是國(guó)產(chǎn)手機(jī)5G/6G通信卡脖子最關(guān)鍵的技術(shù)之一！

此前，華為發(fā)布了P50 Pro、Mate 50等多款屏蔽了5G功能只有4G網(wǎng)絡(luò)的旗艦手機(jī)，既令人遺憾又飽受詬病。

手機(jī)要用5G，除了有基帶芯片還不行，還必須有射頻前端模組/芯片，用來(lái)收發(fā)信號(hào)，射頻器件領(lǐng)域是制約我國(guó)工業(yè)發(fā)展的“卡脖子”關(guān)鍵技術(shù)之一。其中，射頻前端芯片中的一個(gè)重要核心的器件遲遲無(wú)法國(guó)產(chǎn)化量產(chǎn)——這就是采用MEMS工藝的BAW濾波器。

射頻前端模組，由濾波器、低噪聲放大器（LNA）、功率放大器（PA）、射頻開關(guān)等器件組成，如下圖所示：

▲射頻前端模塊結(jié)構(gòu)（來(lái)源：方正證券）

濾波器是射頻前端中最重要的分立器件，在整個(gè)射頻前端模組中，濾波器的產(chǎn)值占到了50%以上。我國(guó)在射頻前端模組中，最主要和關(guān)鍵的卡脖子節(jié)點(diǎn)，就在濾波器這里。

濾波器的作用就是通過(guò)某特定的頻率，而衰減其他頻率成分，從而提高信號(hào)抗干擾和信噪比。

隨著2G、3G、4G、5G甚至未來(lái)的6G，逐步演進(jìn)，需要用到的頻段和制式越來(lái)越多，頻段越來(lái)越高，因此對(duì)濾波器的要求也越來(lái)越高，需求越來(lái)越多。

目前一個(gè)5G手機(jī)普遍需要70+個(gè)濾波器，單價(jià)也比4G的濾波器貴了許多。

▲手機(jī)濾波器需求數(shù)量變化（來(lái)源：頭豹研究院）

濾波器主要分為兩種：表聲波濾波器（SAW濾波器）和體聲波濾波器（BAW濾波器），其中SAW濾波器比較適合2GHz左右及以下的頻段，而BAW濾波器的優(yōu)勢(shì)在于中高頻段的性能優(yōu)勢(shì)，如更小的插入損耗、更高的帶外抑制等，所以BAW濾波器成為5G甚至未來(lái)6G通信的關(guān)鍵。

▲濾波器技術(shù)分類及簡(jiǎn)介（來(lái)源：方正證券）

目前，全球?yàn)V波器市場(chǎng)基本被國(guó)外廠商壟斷，國(guó)內(nèi)僅有少數(shù)企業(yè)能夠生產(chǎn)，量產(chǎn)情況及市場(chǎng)占有率不佳，絕大部分產(chǎn)品性能不及國(guó)際巨頭同產(chǎn)品。

據(jù)數(shù)據(jù)顯示，2020年，全球60%以上的濾波器基于SAW技術(shù)，其中95%市場(chǎng)基本被村田（Murata）、TDK、太陽(yáng)誘電（Taiyo Yuden）、Skyworks和Qorvo壟斷。

博通、Qorvo等美國(guó)廠商則集中在BAW濾波器（博通主要是FBAR），兩家企業(yè)占據(jù)全球90%以上市場(chǎng)份額，這一市場(chǎng)狀況持續(xù)至今（2023年）。

▲來(lái)源：方正證券

歷經(jīng)2年，賽微電子與武漢敏聲合作攻堅(jiān)BAW濾波器生產(chǎn)，性能與國(guó)際巨頭相當(dāng)！

2021年8月13日，賽微電子發(fā)布了一份控股子公司簽署《戰(zhàn)略合作框架協(xié)議》的公告，這份公告的主要簽署對(duì)象，就是國(guó)產(chǎn)濾波器設(shè)計(jì)企業(yè)武漢敏聲，這是賽微電子首次披露開啟首款國(guó)產(chǎn)BAW濾波器設(shè)計(jì)、生產(chǎn)的信息。

在合作公告里面，明確提到“涉及面向‘射頻濾波器芯片’的8英寸晶圓代工產(chǎn)能合作投資”，共同投入資源聯(lián)合建設(shè)8英寸射頻濾波器大規(guī)模量產(chǎn)線。賽微電子認(rèn)為，本次與武漢敏聲的合作：

一方面將有利于公司更廣泛地與產(chǎn)業(yè)鏈下游公司進(jìn)行交流合作，共同推動(dòng)實(shí)現(xiàn)本土國(guó)產(chǎn)BAW濾波器的技術(shù)成熟與商業(yè)量產(chǎn)；另一方面通過(guò)合作投資模式，有利于公司加快北京MEMS工廠的二期產(chǎn)能建設(shè)與擴(kuò)張，將進(jìn)一步推動(dòng)公司在本土形成和提升自主可控的BAW濾波器生產(chǎn)制造能力。

來(lái)源：賽微電子公告

一年后，2022年6月13日，賽微電子發(fā)布公告《關(guān)于控股子公司 BAW 濾波器通過(guò)驗(yàn)證并啟動(dòng)試產(chǎn)的公告》，聲名該產(chǎn)線開始試生產(chǎn)。

公告中顯示，由賽微電子北京FAB3產(chǎn)線代工制造的某款BAW通過(guò)了客戶驗(yàn)證，經(jīng)過(guò)對(duì)該批次BAW濾波器進(jìn)行頻段抑制等多方面可靠性驗(yàn)證，性能、良率均達(dá)到或優(yōu)于設(shè)計(jì)指標(biāo)要求，與國(guó)際射頻巨頭廠商同類別產(chǎn)品指標(biāo)相當(dāng)。

目前，該客戶已經(jīng)同步簽署試產(chǎn)訂單，北京FAB3 啟動(dòng)首批BAW濾波器8英寸晶圓的小批量生產(chǎn)。

▲來(lái)源：賽微電子公告

今日（7月16日），賽微電子發(fā)布公告，完成了小批量試生產(chǎn)階段并與某客戶簽署長(zhǎng)期合作協(xié)議，賽微電子與武漢敏聲兩個(gè)中國(guó)杰出的MEMS企業(yè)歷時(shí)兩年通力合作，其首款國(guó)產(chǎn)BAW濾波器正式量產(chǎn)！

關(guān)于賽微電子

北京賽微電子股份有限公司（簡(jiǎn)稱“賽微電子”），是全球及中國(guó)最大純MEMS代工廠，2015年在深交所創(chuàng)業(yè)板上市，重點(diǎn)發(fā)展MEMS工藝開發(fā)與晶圓制造業(yè)務(wù)，2016年全資收購(gòu)瑞典MEMS芯片制造商SilexMicrosystemsAB，提供壓力、慣性、紅外、微鏡、光開關(guān)、硅麥克風(fēng)等多種MEMS工藝開發(fā)及晶圓制造的服務(wù)。

根據(jù)半導(dǎo)體市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)Yole Development統(tǒng)計(jì)的2021年數(shù)據(jù)，Silex Microsystems AB 連續(xù)3年在全球MEMS純晶圓代工排名中位居第一，全球MEMS芯片代工市場(chǎng)（不包含IDM廠商自身制造部分的統(tǒng)計(jì)）的占有率約為8%。

賽微電子目前國(guó)內(nèi)的MEMS產(chǎn)線位于北京，總產(chǎn)能為3萬(wàn)片/月，分三期建設(shè)，2021年6月北京8英寸MEMS產(chǎn)線（北京FAB3，塞萊克斯北京）一期建成生產(chǎn)，其一期產(chǎn)能為1萬(wàn)片/月，二期產(chǎn)能為2萬(wàn)片/月，與武漢敏聲合作建設(shè)的濾波器產(chǎn)線已包括在二期產(chǎn)能中。

關(guān)于武漢敏聲

武漢敏聲新技術(shù)有限公司（簡(jiǎn)稱“武漢敏聲”），是國(guó)產(chǎn)射頻前端BAW濾波器行業(yè)知名企業(yè)，據(jù)官網(wǎng)顯示，由武漢大學(xué)工業(yè)科學(xué)研究院孫成亮教授聯(lián)合14名國(guó)際知名業(yè)內(nèi)專家共同創(chuàng)立。公司以射頻濾波器為拳頭產(chǎn)品，同時(shí)覆蓋壓電式麥克風(fēng)以及壓電超聲傳感器芯片，致力于打造成一家集設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和銷售于一體的企業(yè)。公司具備完整的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，已經(jīng)注冊(cè)百余項(xiàng)專利，建立了多維度多層次的專利壁壘。

武漢敏聲自有知識(shí)產(chǎn)權(quán)的無(wú)線射頻前端體聲波濾波器（BAW）屬于射頻濾波器中技術(shù)門檻和價(jià)值量較高的產(chǎn)品，該類產(chǎn)品市場(chǎng)應(yīng)用空間廣闊，長(zhǎng)期被國(guó)外廠商壟斷，其所屬的射頻器件領(lǐng)域是制約我國(guó)工業(yè)發(fā)展的“卡脖子”關(guān)鍵技術(shù)之一。

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審核編輯 黃宇