壓電納米位移臺(tái)的結(jié)構(gòu)

壓電納米定位臺(tái)具有移動(dòng)面，是通過(guò)帶有柔性鉸鏈的機(jī)械結(jié)構(gòu)將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移及出力等進(jìn)行輸出，分直驅(qū)與放大兩種結(jié)構(gòu)。以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái)，驅(qū)動(dòng)形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)式、放大機(jī)構(gòu)式。運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)500μm，具有體積小、無(wú)摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器，可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有較高的可靠性，在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著主要作用。

壓電納米定位臺(tái)的工作原理

納米位移臺(tái)主要采用超精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)超精密技術(shù)是由光、機(jī)、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)。

內(nèi)部由一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)，其產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng)；通過(guò)柔性鉸鏈技術(shù)將壓電陶瓷產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)傳遞和放大；經(jīng)超精密電容傳感器將運(yùn)動(dòng)信息傳遞給控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)對(duì)該運(yùn)動(dòng)進(jìn)行修正、補(bǔ)償和控制；在對(duì)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)行閉環(huán)控制時(shí)，可實(shí)現(xiàn)納米、亞納米級(jí)別的運(yùn)動(dòng)分辨率和運(yùn)動(dòng)控制精度。

壓電納米定位臺(tái)的特點(diǎn)

壓電納米定位臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn)高精度位移，定位精度可達(dá)納米級(jí)。具有超高的導(dǎo)向精度，有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦等特點(diǎn)。

壓電納米位移臺(tái)典型應(yīng)用

壓電納米定位臺(tái)憑借高穩(wěn)定性、高分辨率等優(yōu)良特性，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、顯微成像、納米技術(shù)、激光與光學(xué)、航天航空、生物醫(yī)學(xué)、航天航空等領(lǐng)域。

01納米位移臺(tái)應(yīng)用于計(jì)量型掃描電鏡系統(tǒng)

02納米位移臺(tái)應(yīng)用于超高分辨掃描系統(tǒng)

03納米位移臺(tái)在納米探針上的應(yīng)用

04納米位移臺(tái)在微加工系統(tǒng)上的應(yīng)用

05納米位移臺(tái)在激光直寫上的應(yīng)用

06納米位移臺(tái)在生物醫(yī)學(xué)上的應(yīng)用癌癥診斷掃描儀

第四代基因測(cè)序

三英精控相關(guān)產(chǎn)品

三英精控近年來(lái)從解耦控制、反饋控制、前饋控制、協(xié)同控制等多個(gè)方面深耕超精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)控制相關(guān)研究，并不斷進(jìn)步持續(xù)獲得進(jìn)展和突破。

三英精控高精度運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)定位精度已達(dá)到納米級(jí)，性能穩(wěn)定。

NS-X700-01超大行程X軸納米定位臺(tái)

典型應(yīng)用：顯微成像、光學(xué)對(duì)準(zhǔn) 、光柵刻寫、半導(dǎo)體加工 、生物材料分析

NS-Z8-01微型Z軸納米定位臺(tái)

典型應(yīng)用：半導(dǎo)體、表面檢測(cè) 、光學(xué)探針、AFM/SPM/SNOM 、高密度存儲(chǔ)

NS-Z700-01超大行程Z軸物鏡定位臺(tái)

典型應(yīng)用：晶圓切割、顯微成像 、微電子精密加工、物鏡調(diào)焦及掃描、可定制不同的物鏡接口

NS-XY100-02真空吸盤XY二維納米定位臺(tái)

典型應(yīng)用：表面檢測(cè)、顯微成像、激光技術(shù)、半導(dǎo)體加工與測(cè)試 、高密度光存儲(chǔ)與磁存儲(chǔ)

NS-XY200-02大負(fù)載XY二維納米定位臺(tái)

典型應(yīng)用：激光加工、顯微成像、表面分析 、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)、光學(xué)測(cè)量

NS-XY400-01超大行程XY二維納米定位臺(tái)

典型應(yīng)用：激光加工、顯微成像、表面分析 、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)、光學(xué)測(cè)量

NS-XY20Z5-01AFM專用XYZ三維納米掃描臺(tái)

典型應(yīng)用：AFM/SPM/SFM 、光學(xué)探針、表面檢測(cè) 、半導(dǎo)體加工、高密度存儲(chǔ)

NS-XY25Z20-01超緊湊型XYZ三維納米定位臺(tái)

典型應(yīng)用：AFM/SPM/SNOM、表面檢測(cè)、光學(xué)探針、高密度存儲(chǔ)、半導(dǎo)體加工

NS-XY400Z100-01超大行程XYZ三維納米定位臺(tái)

典型應(yīng)用：顯微成像、激光加工 、半導(dǎo)體檢測(cè)、超分辨率成像、大樣品AFM/SPM/SNOM

為了貼合不同領(lǐng)域的應(yīng)用需求，三英精控還可以根據(jù)不同需求來(lái)進(jìn)行定制，具有極高的靈活性，操作簡(jiǎn)便，滿足不同應(yīng)用場(chǎng)合。更多產(chǎn)品信息，請(qǐng)持續(xù)關(guān)注三英精控微信公眾平臺(tái)或來(lái)電咨詢。

審核編輯 黃宇