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什么是激光位移傳感器?激光位移傳感器的三角檢測(cè)原理

深圳市科瑞特自動(dòng)化技術(shù)有限公司 ? 2023-08-02 08:09 ? 次閱讀
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什么是激光位移傳感器?

激光位移傳感器是利用激光技術(shù)進(jìn)行測(cè)量的傳感器。它由激光器、激光檢測(cè)器和測(cè)量電路組成。激光傳感器是新型測(cè)量?jī)x表。能夠精確非接觸測(cè)量被測(cè)物體的位置、位移等變化。

可以測(cè)量位移、厚度、振動(dòng)、距離、直徑等精密的幾何測(cè)量。激光有直線度好的優(yōu)良特性,同樣激光位移傳感器相對(duì)于我們已知的超聲波傳感器有更高的精度。但是,激光的產(chǎn)生裝置相對(duì)比較復(fù)雜且體積較大,因此會(huì)對(duì)激光位移傳感器的應(yīng)用范圍要求較苛刻。

檢測(cè)原理

激光發(fā)射器通過(guò)鏡頭將可見(jiàn)紅色激光射向被測(cè)物體表面,經(jīng)物體表面散射的激光通過(guò)接收器鏡頭,被內(nèi)部的CCD線性相機(jī)接收,根據(jù)不同的距離,CCD線性相機(jī)可以在不同的角度下“看見(jiàn)”這個(gè)光點(diǎn)。根據(jù)這個(gè)角度及已知的激光和相機(jī)之間的距離,數(shù)字信號(hào)處理器就能計(jì)算出傳感器和被測(cè)物體之間的距離。

同時(shí),光束在接收元件的位置通過(guò)模擬數(shù)字電路處理,并通過(guò)微處理器分析,計(jì)算出相應(yīng)的輸出值,并在用戶設(shè)定的模擬量窗口內(nèi),按比例輸出標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)信號(hào)。如果使用開(kāi)關(guān)量輸出,則在設(shè)定的窗口內(nèi)導(dǎo)通,窗口之外截止。另外,模擬量與開(kāi)關(guān)量輸出可獨(dú)立設(shè)置檢測(cè)窗口。

采取三角測(cè)量法的激光位移傳感器最高線性度可達(dá)1um,分辨率更是可達(dá)到0.1um的水平。比如ZLDS100類(lèi)型的傳感器,它可以達(dá)到0.01%高分辨率,0.1%高線性度,9.4KHz高響應(yīng),適應(yīng)惡劣環(huán)境。

激光位移傳感器將“投光素子”“受光素子”及“被檢測(cè)物”之間的位置構(gòu)成一個(gè)三角關(guān)系,從而求得被檢測(cè)物的距離。

當(dāng)被檢測(cè)物的距離發(fā)生變化時(shí),受光素子上的受光位置也跟著變化。即測(cè)量受光素子的受光位置至被檢測(cè)物之間的距離。

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一般情況下,激光位移傳感器的感光元器件都采用CMOS感光元器件。

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CMOS感光元器件可以抑制環(huán)境亂光,漫反射光的影響,精確地識(shí)別出波峰的位置,因此即使是檢測(cè)復(fù)雜的形狀也可穩(wěn)定測(cè)量。

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