氦質(zhì)譜檢漏儀 EUV ***檢漏

上海伯東客戶日本某生產(chǎn)半導體用***公司, ***真空度需要達到 1x10-11 pa 的超高真空, 因為設備整體較大, 需要對構(gòu)成***的真空相關部件進行檢漏且要求清潔無油, 滿足無塵室使用要求, 為了方便進行快速檢漏, 采購伯東 Pfeiffer 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310.

***檢漏方法: 采用真空模式檢漏, 漏率值設定為 1x10-11pa m3/s.
1. 通過波紋管與***真空系統(tǒng)連接
2. 使用噴槍, 噴掃管路, 腔體焊縫, 接頭等部位, 如果存在超過設定漏率值的狹縫, 檢漏儀會時時發(fā)出聲光報警, 同時在屏幕上顯示漏率值.

便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 主要技術參數(shù)：

對氦氣的最小檢測漏率	真空模式 5E-13 Pa m3/s ,吸槍模式 1E-8 Pa m3/s
檢測模式	真空模式和吸槍模式檢漏方法>>
氦質(zhì)譜檢漏儀無油前級泵抽速	1.7 m3/h
檢測氣體	4He , 3He, H2
響應時間	<1s
對氦氣的抽氣速度	1.1 l/s
氦質(zhì)譜檢漏儀進氣法蘭	DN 25 ISO-KF
進氣口最大壓力	15 hPa
通訊接口	RS-232
工作溫度	10-40 °C
噪音水平	< 45 dB (A)
尺寸	350 X 245 X 141 mm
重量	21 kg (46 lb)

鑒于客戶信息保密, 若您需要進一步的了解***檢漏, 請聯(lián)絡上海伯東葉女士分機 107

現(xiàn)部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡上海伯東葉女士
上海伯東版權(quán)所有, 翻拷必究！

聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題，請聯(lián)系本站處理。舉報投訴