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激光傳感應(yīng)用對(duì)VCSEL的要求有何主要差異

MEMS ? 來源:MEMS ? 2023-09-05 11:19 ? 次閱讀
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微訪談:長光華芯副董事長、常務(wù)副總經(jīng)理兼CTO王俊博士

采訪背景:蘇州長光華芯光電技術(shù)股份有限公司(簡稱:長光華芯)是半導(dǎo)體激光行業(yè)領(lǐng)先的垂直整合產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè),成立于2012年3月,專注于半導(dǎo)體激光芯片、器件及模塊等激光行業(yè)核心元器件的研發(fā)、制造及銷售,已形成由半導(dǎo)體激光芯片、器件、模塊及直接半導(dǎo)體激光器構(gòu)成的四大類、多系列產(chǎn)品矩陣。長光華芯產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于光纖激光器、固體激光器及超快激光器等激光器泵浦源、激光智能制造裝備、科學(xué)研究、醫(yī)學(xué)美容、激光雷達(dá)(LiDAR)、3D傳感、人工智能、高速光通信等領(lǐng)域。2022年4月1日,長光華芯正式登陸上交所科創(chuàng)板,成為A股市場半導(dǎo)體激光芯片第一股,2022年實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入3.86億元,凈利潤1.19億元。為了深入了解長光華芯在激光傳感方面的布局及進(jìn)展情況,麥姆斯咨詢近期采訪了長光華芯副董事長、常務(wù)副總經(jīng)理兼CTO王俊博士。

長光華芯副董事長、常務(wù)副總經(jīng)理兼CTO王俊博士

麥姆斯咨詢:2023年是長光華芯成立的第十一個(gè)年頭,我們也見證著你們的快速成長。首先請(qǐng)您為大家介紹一下長光華芯的重要里程碑事件吧。

王俊博士:從2012年3月長光華芯成立,歷經(jīng)十一年時(shí)間,經(jīng)過許多奮斗者的努力和奉獻(xiàn),從追趕到領(lǐng)跑,我們圓滿完成了從“0到1”的創(chuàng)新積累,又實(shí)現(xiàn)了從“1到10”的量產(chǎn)跨越,在人才、工藝、技術(shù)儲(chǔ)備方面逐一破局,聚集了一批包括多名國家級(jí)人才工程入選者、行業(yè)資深管理以及技術(shù)專家在內(nèi)的高層次人才團(tuán)隊(duì),建成了完全自主可控的從芯片設(shè)計(jì)、MOCVD(外延)、光刻流片、解理/鍍膜、封裝測試、光纖耦合、直接半導(dǎo)體激光器系統(tǒng)等完整的工藝平臺(tái)和量產(chǎn)線,在芯片設(shè)計(jì)、關(guān)鍵設(shè)備、工藝技術(shù)和原材料方面實(shí)現(xiàn)了自主可控。

長光華芯在2014年就開始了VCSEL的工藝研發(fā)(3吋),當(dāng)時(shí)就采購了量產(chǎn)氧化爐,2017年開始建設(shè)6吋量產(chǎn)線,6吋量產(chǎn)線為當(dāng)時(shí)該行業(yè)內(nèi)最大晶圓尺寸的產(chǎn)線,相當(dāng)于是硅基半導(dǎo)體的12吋量產(chǎn)線。目前,長光華芯已擁有2吋、3吋、6吋三大半導(dǎo)體激光芯片晶圓垂直整合生產(chǎn)線,擁有邊發(fā)射激光芯片(EEL)和面發(fā)射激光芯片(VCSEL)兩大產(chǎn)品結(jié)構(gòu),GaN(氮化鎵)、GaAs(砷化鎵)和InP(磷化銦)三大材料體系,是全球少數(shù)研發(fā)和量產(chǎn)高功率半導(dǎo)體激光芯片的公司之一。

“十年磨一劍,礪得梅花香”。十一年科技攻關(guān),長光華芯始終以科技為利刃,突破芯片關(guān)鍵核心技術(shù),為中國激光芯閃耀世界而不懈奮斗。2022年,榮獲江蘇省科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng);2023年繼續(xù)百尺竿頭,榮獲江蘇省企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)。此外,長光華芯還獲批“國家級(jí)-姑蘇半導(dǎo)體激光創(chuàng)新中心”、“國家博士后科研工作站”、“江蘇省研究生工作站”、“江蘇省半導(dǎo)體激光工程技術(shù)研究中心”、“江蘇省企業(yè)技術(shù)中心”等研發(fā)機(jī)構(gòu)。先后獲評(píng)國家高新技術(shù)企業(yè)、國家專精特新小巨人企業(yè)、江蘇省智能制造示范車間、江蘇省瞪羚企業(yè)等榮譽(yù)。

正如我們的企業(yè)愿景“心所往,光所至”。生命不息,追光不止,未來我們將繼續(xù)秉承“專業(yè)、用心、服務(wù)、奮斗”的企業(yè)文化和核心價(jià)值觀,砥礪前行,為實(shí)現(xiàn)“中國激光芯,光耀美好生活”的企業(yè)使命不懈奮斗。

麥姆斯咨詢:2022年你們成功登陸科創(chuàng)板,如今一年多過去了,科創(chuàng)板上市對(duì)長光華芯的發(fā)展帶來了哪些影響?

王俊博士:作為一家高新技術(shù)企業(yè),科創(chuàng)板上市為我們提供了更好的融資渠道,讓我們擁有了更雄厚的資本,全身心投入科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新工作,對(duì)半導(dǎo)體激光芯片及高效泵浦技術(shù)、光纖耦合半導(dǎo)體激光器泵浦源模塊技術(shù)和大功率高可靠性半導(dǎo)體激光器封裝技術(shù)等激光領(lǐng)域前沿技術(shù)進(jìn)行研究,并持續(xù)突破,今年我們相繼將高功率半導(dǎo)體激光芯片商用功率提升至50W,9XXnm光纖激光器泵浦源功率提升至1000W、8XXnm固體激光器泵浦源功率提升至500W,同時(shí)高效率激光雷達(dá)與3D傳感芯片產(chǎn)品通過IATF16949質(zhì)量管理體系認(rèn)證及車規(guī)級(jí)AEC-Q102認(rèn)證,批量供貨,并發(fā)布了56GBd PAM4 EML光通信芯片,全面貫徹公司“一平臺(tái),一支點(diǎn),橫向擴(kuò)展,縱向延伸”的發(fā)展戰(zhàn)略,不斷提升在國內(nèi)和國際市場的核心競爭力。

我們立志成為強(qiáng)盛的具有可持續(xù)增長力的優(yōu)質(zhì)上市公司,最大限度地實(shí)現(xiàn)客戶、員工、股東與社會(huì)的共贏!未來,我們也將持續(xù)秉持公司“一平臺(tái),一支點(diǎn),橫向擴(kuò)展,縱向延伸”的發(fā)展戰(zhàn)略,依托蘇州半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院平臺(tái),以高功率半導(dǎo)體激光芯片優(yōu)勢為支點(diǎn),橫向擴(kuò)展3D傳感VCSEL和激光雷達(dá)芯片、高速光通信芯片、激光照明、激光顯示等方向和領(lǐng)域,縱向延伸器件、模塊、直接半導(dǎo)體激光器系統(tǒng),攻關(guān)關(guān)鍵核心技術(shù),逐步實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體激光芯片的國產(chǎn)化及進(jìn)口替代,助力實(shí)現(xiàn)自主可控、創(chuàng)新協(xié)同、供應(yīng)鏈互通的新一代中國激光產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈。

麥姆斯咨詢:入局激光芯片行業(yè)多年,給您的最深感受是什么?基于VCSEL的激光傳感行業(yè)的發(fā)展進(jìn)度符合您的預(yù)期嗎?

王俊博士:最深的感受是中國激光芯片的技術(shù)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展太快了。2010年前,全球激光器龍頭企業(yè)已基本形成垂直產(chǎn)業(yè)鏈,實(shí)現(xiàn)激光芯片、激光器的自制,彼時(shí)我國工業(yè)市場100-1500W以上的光纖激光器進(jìn)口依賴度仍高達(dá)85%,半導(dǎo)體泵浦源與高端半導(dǎo)體激光芯片的進(jìn)口依賴度接近100%,我國跟國外在技術(shù)上存在巨大差距。十年追趕,今天中國的高功率半導(dǎo)體激光芯片已實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化替代,技術(shù)指標(biāo)比肩國際一流水平,同時(shí)創(chuàng)建了器件、光纖耦合模塊、激光器及光電系統(tǒng)完整的自主的激光產(chǎn)業(yè)鏈條,應(yīng)用領(lǐng)域不斷滲透,從單純的激光制造,延伸到激光傳感、激光醫(yī)療、激光顯示、激光通信多個(gè)領(lǐng)域。

VCSEL作為3D傳感和激光雷達(dá)系統(tǒng)的核心器件,主要的應(yīng)用市場仍以數(shù)據(jù)通信鏈路和消費(fèi)電子為主,預(yù)計(jì)未來5年價(jià)值將翻一番,到2027年價(jià)值接近40億美元?,F(xiàn)在,激光雷達(dá)爭相上車,車頂、車頭、車身側(cè)面及機(jī)艙蓋等不一而足,推動(dòng)了激光雷達(dá)用VCSEL的發(fā)展。從激光雷達(dá)的發(fā)展來看,由于整體性價(jià)比還比較低,滲透率并不高。未來,要實(shí)現(xiàn)激光雷達(dá)的快速發(fā)展,達(dá)到更高的滲透率,需要跟隨人工智能(AI)的發(fā)展和車載平臺(tái)算力的提升,持續(xù)挖掘激光雷達(dá)本身的硬件能力,同時(shí)不斷降低激光雷達(dá)成本。

麥姆斯咨詢:從消費(fèi)電子到汽車電子,不同的激光傳感應(yīng)用對(duì)VCSEL的要求有何主要差異?

王俊博士:從消費(fèi)電子到汽車電子應(yīng)用,對(duì)VCSEL的要求差異還是非常大的。消費(fèi)電子VCSEL通常不會(huì)要求過高的功率,用于短距離測距、接近傳感應(yīng)用通常為毫瓦級(jí)別,用于常規(guī)深度相機(jī)的應(yīng)用2~3W即可滿足需求,而一些工業(yè)相機(jī)方面應(yīng)用由于工作距離稍遠(yuǎn),通常使用2結(jié)、3結(jié)的VCSEL芯片即可滿足需求,而且為了減小“紅暴現(xiàn)象”,通常會(huì)使用940nm波段的激光芯片;正常消費(fèi)類電子對(duì)VCSEL的要求除了光效之外,不會(huì)有太多其他的苛刻要求。

汽車內(nèi)部電子系統(tǒng)類似于DMS(駕駛員監(jiān)控系統(tǒng))和OMS(乘客檢測系統(tǒng))等,對(duì)VCSEL的要求與消費(fèi)電子幾乎沒有太大的區(qū)別,不過要滿足多項(xiàng)關(guān)于汽車產(chǎn)品相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的要求。

而在汽車外部電子系統(tǒng)也就是激光雷達(dá)這一方面,對(duì)于VCSEL的要求完全不同,除了嚴(yán)苛的車規(guī)體系要求之外,更多的是產(chǎn)品性能方面的需求,相比較于3D傳感應(yīng)用與汽車車內(nèi)應(yīng)用的VCSEL,汽車外部電子系統(tǒng)會(huì)要求VCSEL具有高短脈沖功率、更高的效率、更高的功率密度、更小的發(fā)散角等,以實(shí)現(xiàn)更遠(yuǎn)的探測距離和更高的探測精度。

如今國內(nèi)各個(gè)VCSEL芯片廠商都已經(jīng)取得了部分成果,但如何繼續(xù)提升這三個(gè)指標(biāo)和車規(guī)級(jí)可靠性仍然是目前業(yè)內(nèi)各個(gè)激光雷達(dá)芯片廠商一直在努力的目標(biāo)。

麥姆斯咨詢:在消費(fèi)電子3D傳感方面,長光華芯主推飛行時(shí)間ToF系列VCSEL,請(qǐng)您詳細(xì)介紹該系列產(chǎn)品特點(diǎn),以及典型客戶及應(yīng)用案例。

王俊博士:長光華芯在3D消費(fèi)電子傳感方面主要推出了低功率毫瓦級(jí)的距離傳感芯片、中功率2W、3W的ToF光源芯片以及定制化的結(jié)構(gòu)光芯片,也在布局適應(yīng)更多場景的3結(jié)VCSEL產(chǎn)品,這一系列的產(chǎn)品特點(diǎn)就是高效率,平均效率在42%~45%,以及更高的可靠性與產(chǎn)品壽命。

低功率距離傳感芯片常規(guī)功率在10~15mW左右,常規(guī)用在TWS(True Wireless Stereo)耳機(jī)、智能避障、激光測距等應(yīng)用領(lǐng)域。

中功率ToF光源芯片目前主要推2W、3W芯片,目前廣泛應(yīng)用在深度相機(jī)、智能識(shí)別、機(jī)器人應(yīng)用領(lǐng)域,目前也在和一些封裝企業(yè)以及算法企業(yè)進(jìn)行深度合作產(chǎn)品驗(yàn)證中,逐步批量出貨。

結(jié)構(gòu)光系列芯片需要根據(jù)客戶要求定制,通常應(yīng)用在手機(jī)支付、智能門鎖方面,目前部分機(jī)器人以及工業(yè)相機(jī)也有應(yīng)用。

麥姆斯咨詢:在汽車電子激光雷達(dá)方面,長光華芯主推激光雷達(dá)LR系列VCSEL,也請(qǐng)您詳細(xì)介紹該系列產(chǎn)品特點(diǎn)。

王俊博士:隨著激光雷達(dá)技術(shù)的發(fā)展,VCSEL陣列光源,由于其低制造成本、小溫漂系數(shù)、易于二維集成的優(yōu)勢,越來越受到激光雷達(dá)應(yīng)用市場的關(guān)注。激光雷達(dá)是一種利用激光成像技術(shù)進(jìn)行精準(zhǔn)距離量測的技術(shù),被認(rèn)為是智能駕駛、3D傳感等領(lǐng)域最重要的探測技術(shù)之一。隨著探測距離的增加,點(diǎn)云(Point Cloud)密度隨之降低,分辨率也會(huì)受到限制。為了實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離3D掃屏的重建,就需要具有更高功率密度、更低發(fā)散角的高質(zhì)量激光光束。多結(jié)VCSEL是獲得高功率密度的關(guān)鍵技術(shù)。

在多結(jié)VCSEL技術(shù)自主可控方面,長光華芯開發(fā)了自有技術(shù),提升了光場、量子耦合效率,提升了增益。這些技術(shù)已經(jīng)申請(qǐng)了相關(guān)的國內(nèi)和國際專利。在隧道結(jié)方面,長光華芯采用自研技術(shù)提高了隧道結(jié)的隧穿電流,并申請(qǐng)了獨(dú)家技術(shù)專利。

目前長光華芯的VCSEL產(chǎn)品主要包含兩大類:主激光雷達(dá)VCSEL芯片及補(bǔ)盲激光雷達(dá)VCSEL芯片。主激光雷達(dá)產(chǎn)品有三類,一類是100W以下低功率芯片,另一類是100W到1000W的905nm高功率激光雷達(dá)芯片,第三類是可尋址激光雷達(dá)芯片。在補(bǔ)盲激光雷達(dá)方面,VCSEL波長覆蓋905-940nm,功率在30-60W之間。

事實(shí)上,VCSEL真正上車,產(chǎn)線要通過相關(guān)質(zhì)量認(rèn)證,產(chǎn)品也要通過AEC-Q認(rèn)證。目前,長光華芯產(chǎn)品通過了AEC-Q102認(rèn)證,其認(rèn)證最高結(jié)溫可達(dá)130°,在ESD方面也有比較明顯的優(yōu)勢,人體充放電模型最高可承受6000V,充放電條件下可實(shí)現(xiàn)1500V靜電防護(hù)。

此外,長光華芯可以隨客戶需求進(jìn)行定制服務(wù)。VCSEL可根據(jù)不同項(xiàng)目做不同設(shè)計(jì)方案的靈活應(yīng)用優(yōu)勢,給激光雷達(dá)方案商和終端應(yīng)用帶來了無窮的設(shè)計(jì)想象空間,將大大有益于激光雷達(dá)的百花齊放式落地。

麥姆斯咨詢:基于“多結(jié)、可尋址VCSEL+遠(yuǎn)距離SPADIS”的純固態(tài)激光雷達(dá)方案有望成為汽車自動(dòng)駕駛領(lǐng)域新一代革命性技術(shù),您的觀點(diǎn)如何?在該方案的VCSEL方面,業(yè)界還需要解決哪些問題?

王俊博士:我也是這么認(rèn)為的,未來更高峰值功率、可尋址性、熱穩(wěn)定性和窄波長范圍的VCSEL為全固態(tài)短程、中程和遠(yuǎn)程激光雷達(dá)系統(tǒng)開辟了新的潛力。當(dāng)然,這一應(yīng)用趨勢對(duì)配套的VCSEL芯片提出了更高的要求,即要求VCSEL芯片有更低的發(fā)散角、更高峰值功率、更高的可靠性。具體技術(shù)方面,VCSEL必須解決結(jié)數(shù)提升帶來的外延生長良率降低、可尋址技術(shù)帶來的晶圓工藝良率受損的問題。此外,在自主可控且高效快速的生產(chǎn)交付方面也是重中之重,早期海外公司實(shí)現(xiàn)了多結(jié)VCSEL的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用,也布局了相關(guān)的一些專利,如何繞開專利限制,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定可靠的國產(chǎn)化車規(guī)級(jí)VCSEL芯片的生產(chǎn)制造,一直是業(yè)內(nèi)共同面臨的難題。在成本方面,VCSEL的低成本優(yōu)勢依賴于良率的提升,要求在器件設(shè)計(jì)及工藝方面留有足夠的空間,這也是一個(gè)新挑戰(zhàn)。

麥姆斯咨詢:對(duì)于自動(dòng)駕駛來說,DMS(駕駛員監(jiān)控系統(tǒng))和OMS(乘客監(jiān)控系統(tǒng)方案)也不可或缺,因?yàn)轳{駛員在某些L3級(jí)狀況下仍需要負(fù)責(zé)駕駛。請(qǐng)您介紹長光華芯在車內(nèi)激光傳感的布局情況。

王俊博士:DMS(Drive Monitoring System)屬于早期座艙監(jiān)控主要功能。乘客監(jiān)控系統(tǒng)(OMS,Occupancy Monitoring System)是DMS系統(tǒng)的延伸,可以通過監(jiān)測座艙內(nèi)乘客的感知數(shù)據(jù)來進(jìn)一步提升汽車的安全性能,此類應(yīng)用對(duì)于VCSEL來說都是消費(fèi)電子級(jí)別的應(yīng)用,目前此系列長光華芯都有穩(wěn)定的高性能產(chǎn)品并已經(jīng)批量出貨,持續(xù)推進(jìn)產(chǎn)品在車內(nèi)激光傳感以及車外雷達(dá)傳感應(yīng)用方面的齊套建設(shè)。

麥姆斯咨詢:長光華芯在VCSEL設(shè)計(jì)、外延、制造、封測等方面如何提升產(chǎn)品性能及可靠性,以及加快新產(chǎn)品研發(fā)?

王俊博士:長光華芯是國內(nèi)首家具備VCSEL芯片量產(chǎn)化制造能力的IDM公司,一直致力于高性能VCSEL芯片的設(shè)計(jì)、研發(fā)、生產(chǎn)及銷售,先后攻克器件設(shè)計(jì)、外延生長、芯片制造等多項(xiàng)技術(shù),一以貫之對(duì)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝制程保持高標(biāo)準(zhǔn)、嚴(yán)要求,實(shí)現(xiàn)了6吋VCSEL產(chǎn)線的高良率生產(chǎn)。我們的多結(jié)外延結(jié)構(gòu)擁有美國專利,在Photonics West的一份報(bào)告顯示:我們的多結(jié)VCSEL性能指標(biāo)處于業(yè)內(nèi)領(lǐng)先水平,在國際會(huì)議上,已報(bào)告超高效率(70%以上的)多結(jié)VCSEL。

在新產(chǎn)品研發(fā)方面,長光華芯很久之前,就已經(jīng)實(shí)現(xiàn)微透鏡工藝的研發(fā),通過在芯片形成的微透鏡結(jié)構(gòu),能極大地縮小芯片的發(fā)散角,以及與微透鏡配套的其它技術(shù)工藝也將實(shí)現(xiàn)更好的貼裝集成和散熱,未來也要根據(jù)工藝的成熟度以及外部市場應(yīng)用需求來決定此技術(shù)的產(chǎn)品市場化的后續(xù)安排。

麥姆斯咨詢:目前,長光華芯的VCSEL整體產(chǎn)能狀況如何?未來重點(diǎn)發(fā)展方向是什么?

王俊博士:長光華芯是全球少數(shù)幾家具備器件設(shè)計(jì)、材料生長以及芯片制造、模組封裝等完整的IDM產(chǎn)線的半導(dǎo)體激光器企業(yè)。在材料生長方面,公司具備MCVD和MBE相關(guān)能力,目前MCVD近二十余臺(tái),F(xiàn)ab產(chǎn)線能力為每月5000片6英吋晶圓。這是目前全球最先進(jìn)的、規(guī)模最大的激光芯片產(chǎn)線之一。

長光華芯在6結(jié)平臺(tái)上實(shí)現(xiàn)了多款VCSEL產(chǎn)品的開發(fā),產(chǎn)線通過了16949認(rèn)證,產(chǎn)品通過了AEC-Q認(rèn)證,更高功率密度和效率的多結(jié)技術(shù)正在不斷突破。

在VCSEL激光雷達(dá)芯片方面,長光華芯不僅具有基礎(chǔ)優(yōu)勢,也擁有成本優(yōu)勢。其VCSEL產(chǎn)品主要覆蓋4個(gè)方向:3D傳感、激光雷達(dá)、醫(yī)療及機(jī)器視覺。在VCSEL領(lǐng)域,目前芯片出貨量已達(dá)百萬顆,主要是3D傳感;激光雷達(dá)方面,已實(shí)現(xiàn)小批量出貨。

未來,長光華芯將繼續(xù)為成為一家領(lǐng)先的集成激光雷達(dá)光源方案提供商而不懈努力,以市場為導(dǎo)向,以客戶為中心,充分發(fā)揮IDM公司優(yōu)勢,全面服務(wù)后端客戶,向市場提供技術(shù)領(lǐng)先、品質(zhì)可靠的產(chǎn)品。

麥姆斯咨詢:請(qǐng)您介紹下蘇州半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院的定位及建設(shè)情況。

王俊博士:蘇州半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院由蘇州高新區(qū)與長光華芯聯(lián)合共建,是我們長光華芯“一平臺(tái)、一支點(diǎn)、橫向擴(kuò)展、縱向延伸”發(fā)展戰(zhàn)略非常重要的一部分,作為研究及創(chuàng)新平臺(tái),充分利用長光華芯公司現(xiàn)有的國際頂尖的芯片研發(fā)和制造工藝平臺(tái),設(shè)置了幾大研究方向,包括高功率半導(dǎo)體激光芯片、激光雷達(dá)與3D傳感芯片、光通訊芯片、激光顯示與照明等。

2022年8月18日,作為蘇州市重要的產(chǎn)業(yè)布局,太湖光子中心落地太湖科學(xué)城功能片區(qū),向著全球知名光子創(chuàng)新中心目標(biāo)進(jìn)發(fā),打造千億級(jí)光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新集群。蘇州長光華芯半導(dǎo)體激光創(chuàng)新研究院是太湖光子中心的核心成員和重要載體,致力于培育和引進(jìn)一批半導(dǎo)體激光相關(guān)高層次人才和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。一方面,研究院利用長光華芯半導(dǎo)體激光器芯片技術(shù)的領(lǐng)先性和輻射能力,吸引全球頂尖人才,匯聚相關(guān)高端產(chǎn)業(yè),構(gòu)建可持續(xù)發(fā)展的領(lǐng)先的研發(fā)平臺(tái),打造具有國際影響力的半導(dǎo)體激光器芯片及相關(guān)領(lǐng)域創(chuàng)新高地和產(chǎn)業(yè)基地。另一方面,長光華芯以研究院為平臺(tái),聚集內(nèi)外部創(chuàng)新資源,圍繞半導(dǎo)體激光芯片及應(yīng)用,打造可持續(xù)領(lǐng)先的研發(fā)能力和新方向拓展能力,堅(jiān)持踐行“中國激光芯,光耀美好生活”的企業(yè)使命。兩者相輔相成,全面推動(dòng)中國光子產(chǎn)業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈及應(yīng)用領(lǐng)域鏈條健全。

麥姆斯咨詢:有消息表明,國際領(lǐng)先VCSEL廠商正在研發(fā)短波紅外VCSEL,以滿足手機(jī)屏下3D傳感的需求,請(qǐng)問您如何看待短波紅外VCSEL市場?長光華芯是否有相關(guān)預(yù)研工作?

王俊博士:短波紅外是為了能夠完美解決目前為止大家都很頭痛的手機(jī)屏“齊劉?!钡膯栴},一旦此應(yīng)用被普及,將會(huì)帶來一波新的VCSEL熱潮。這一個(gè)波長的改變將會(huì)對(duì)整個(gè)VCSEL產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)方面有很大的影響,目前短紅外VCSEL的產(chǎn)品化技術(shù)路線還在探索中,既有基于砷化鎵(GaAs)材料體系的創(chuàng)新,也有基于磷化銦(InP)的新技術(shù)研發(fā)。長光華芯一直以來對(duì)短波紅外VCSEL領(lǐng)域保持關(guān)注,憑借公司砷化鎵(GaAs)及磷化銦(InP)材料技術(shù)能力,開展了一定的預(yù)研工作。未來,隨著技術(shù)及應(yīng)用的成熟,我們也會(huì)第一時(shí)間加大投入,跟進(jìn)市場趨勢。

麥姆斯咨詢:近期,意法半導(dǎo)體FlightSense系列ToF測距傳感器VL53L8在發(fā)射和接收窗口中都采用了新型超構(gòu)透鏡(Metalens)。長光華芯是否在超構(gòu)透鏡方面進(jìn)行了前沿探索?未來有望推出集成超構(gòu)透鏡的VCSEL發(fā)射模組嗎?

王俊博士:首先,超構(gòu)材料的概念是1999年由美國德州大學(xué)的Rodger M. Walser教授提出的,指的是通過人工結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)超常特性的一類新型材料,具有天然材料中所沒有的光學(xué)、聲學(xué)、機(jī)械射頻特性。超構(gòu)透鏡的出現(xiàn)可以使手機(jī)、相機(jī)、監(jiān)控等終端設(shè)備變得更小、更薄、更輕。

目前長光華芯也關(guān)注到了超構(gòu)透鏡的進(jìn)展及在產(chǎn)業(yè)化方面的應(yīng)用,也進(jìn)行了一些前期的技術(shù)儲(chǔ)備。未來,公司會(huì)緊密跟蹤包含超構(gòu)透鏡在內(nèi)的表面微結(jié)構(gòu)技術(shù),根據(jù)市場需求及自身戰(zhàn)略需求,開展相關(guān)產(chǎn)品的開發(fā)。

麥姆斯咨詢:請(qǐng)您介紹一下公司未來發(fā)展的戰(zhàn)略?

王俊博士:長光華芯聚焦半導(dǎo)體激光行業(yè),始終專注于半導(dǎo)體激光芯片、器件及模塊等激光行業(yè)核心元器件的研發(fā)、制造及銷售,緊跟下游市場發(fā)展趨勢,不斷創(chuàng)新生產(chǎn)工藝,布局產(chǎn)品線,形成了由半導(dǎo)體激光芯片、器件、模塊及直接半導(dǎo)體激光器系統(tǒng)構(gòu)成的四大類、多系列產(chǎn)品矩陣。

未來,長光華芯將持續(xù)加深與激光產(chǎn)業(yè)鏈上下游單位的合作,并始終堅(jiān)持以應(yīng)用為牽引,基礎(chǔ)創(chuàng)新,集成(聯(lián)合)創(chuàng)新,向著更強(qiáng)、更亮、更多顏色(波段)、更低成本的半導(dǎo)體激光芯片進(jìn)階,包括在高功率工業(yè)激光芯片、激光雷達(dá)和3D傳感芯片、光通信芯片,以及部分第三代化合物半導(dǎo)體芯片如可見光芯片等。我們的目標(biāo)是,在激光芯片領(lǐng)域綜合實(shí)力和創(chuàng)新能力進(jìn)入全球第一陣營,代表國家參與全球競爭,在國際舞臺(tái)代表中國力量。

我們秉承“一平臺(tái)、一支點(diǎn)、橫向擴(kuò)展、縱向延伸”發(fā)展戰(zhàn)略原則不動(dòng)搖,保持對(duì)半導(dǎo)體激光芯片的持續(xù)研發(fā)投入,不斷強(qiáng)化技術(shù)創(chuàng)新,并且緊跟下游市場發(fā)展趨勢,努力打造和強(qiáng)化自主研發(fā)的核心能力,擔(dān)當(dāng)引領(lǐng)行業(yè)發(fā)展的“先鋒隊(duì)”。

麥姆斯咨詢:2023年9月“光博會(huì)”期間,您將首次登上“微言大義”研討會(huì)的舞臺(tái),發(fā)表“面向激光雷達(dá)的半導(dǎo)體激光器的技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化”主題演講,在此您可以先給透露一些亮點(diǎn)給我們的讀者嗎?

王俊博士:長光華芯在高性能多結(jié)VCSEL、1D/2D可尋址VCSEL等技術(shù)方向開展了研發(fā)及產(chǎn)品開發(fā),取得了眾多突破。在多結(jié)VCSEL方面,公司實(shí)現(xiàn)6結(jié)及8結(jié)VCSEL的產(chǎn)品化量產(chǎn)準(zhǔn)備(已通過16949車規(guī)體系和AECQ-102的產(chǎn)品質(zhì)量認(rèn)證),器件發(fā)散角達(dá)到了18°以下。我們的多結(jié)VCSEL的最高電光轉(zhuǎn)化效率達(dá)70%以上,在1D及2D VCSEL方面,公司多款1D產(chǎn)品完成流片,實(shí)現(xiàn)向頭部用戶送樣。同時(shí)更先進(jìn)技術(shù)如前面交流提到的微透鏡及更先進(jìn)的VCSEL技術(shù)研究我們也在進(jìn)行。

審核編輯:彭菁

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原文標(biāo)題:長光華芯:十年追光實(shí)現(xiàn)激光芯片自主可控,揚(yáng)帆遠(yuǎn)航開啟傳感應(yīng)用創(chuàng)新發(fā)展

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