俄羅斯圣彼得堡理工大學(xué)（spbpu）的研究人員利用蝕刻開發(fā)出國產(chǎn)光刻復(fù)合設(shè)備，用于生產(chǎn)無掩模芯片，這對實(shí)現(xiàn)俄羅斯微電子的自給自足非常重要。一種設(shè)備的價格為500萬盧布（約4.95萬美元），但其他設(shè)備的價格尚不清楚。

這個復(fù)合體由兩種設(shè)施組成。第一個裝置是為“無掩模納米光刻”設(shè)計的，可以在沒有口罩的情況下將圖像投射到基板上。第二種設(shè)備位于第一種設(shè)備制造的基板圖案上，利用蝕刻形成納米結(jié)構(gòu)。另外，還可以制造用于船舶和壓力傳感器等的硅膠片。這些膠片被認(rèn)為比其他方法制成的膠片更可靠，更敏感。

目前俄羅斯的半導(dǎo)體生產(chǎn)局限在65納米工程技術(shù)上。與此同時，全球標(biāo)準(zhǔn)縮小為3nm工藝。需求諾夫哥羅德應(yīng)用物理研究所（iap ras）的目標(biāo)是，到2028年為止，開發(fā)出能夠生產(chǎn)7納米芯片的照相技術(shù)。為了推動這一勢頭，俄羅斯工貿(mào)部投資11億盧布開發(fā)微電子專用光刻材料。

除了制造芯片和硅膜外，這兩種設(shè)備還能給其他行業(yè)帶來不少收益。例如，這些裝備可以使雷達(dá)設(shè)備的使用壽命延長20倍以上。在綠色能源領(lǐng)域，這些裝置使太陽能電池板變得更輕、更高效和更小。

開發(fā)者對自己的發(fā)明抱有很大的希望。他們正在考慮將人工智能融合到這兩個裝置中來提高他們的能力。但俄羅斯半導(dǎo)體制造企業(yè)是否對該設(shè)備感興趣尚不清楚，設(shè)備何時投入實(shí)際生產(chǎn)尚未確定。