在鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)工藝中，ITO薄膜沉積是能夠提升鈣鈦礦太陽(yáng)能電池光電轉(zhuǎn)換率的關(guān)鍵步驟，其中，真空蒸鍍沉積技術(shù)可較為便捷的制備高純度、高質(zhì)量的ITO薄膜，是沉積工藝中的一項(xiàng)核心技術(shù)。「美能光伏」憑借深厚的檢測(cè)經(jīng)驗(yàn)與精湛的檢測(cè)技術(shù)，生產(chǎn)了美能分光光度計(jì)，該設(shè)備可幫助電池廠商更便捷與科學(xué)的矯正鈣鈦礦太陽(yáng)能電池片的ITO薄膜中的吸光度變化，從而幫助光伏廠商更好的保障電池質(zhì)量。

真空蒸發(fā)鍍膜簡(jiǎn)稱為真空蒸鍍，是指在真空室中，加熱蒸發(fā)容器里待形成薄膜的原材料，使其原子或分子從表面分化溢出，形成蒸汽流，入射到鈣鈦礦太陽(yáng)能電池片的表面，凝結(jié)形成ITO薄膜等固態(tài)薄膜的方法。由于真空蒸鍍技術(shù)主要是通過加熱蒸發(fā)材料而產(chǎn)生的，所以又稱為熱蒸發(fā)法或者熱蒸鍍。

運(yùn)用真空蒸鍍沉積ITO薄膜的過程

運(yùn)用真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)進(jìn)行ITO薄膜沉積，首先要進(jìn)行加熱蒸發(fā)過程，即將凝聚相轉(zhuǎn)變?yōu)?/span>氣相的相變過程。由于每種蒸發(fā)物質(zhì)在不同溫度下會(huì)有不同的飽和蒸氣壓，因此蒸發(fā)化合物時(shí)，組分會(huì)發(fā)生變化，其中有些組分會(huì)以氣態(tài)或者蒸汽進(jìn)入蒸發(fā)空間。

其次要進(jìn)行氣化原子或分子在蒸發(fā)源與太陽(yáng)能電池片表面之間的輸運(yùn)過程，即這些粒子在環(huán)境氣氛中的飛行過程。飛行過程中與真空室內(nèi)殘余氣體分子發(fā)生碰撞的次數(shù)，取決于蒸發(fā)原子的平均自由程，以及從蒸發(fā)源到基片之間的距離，常稱為源——基距。

真空蒸鍍沉積ITO薄膜示意圖

最后要進(jìn)行蒸發(fā)原子或分子在鈣鈦礦太陽(yáng)能電池表面上的沉積過程，即是蒸汽凝聚、成核、核生長(zhǎng)、形成連續(xù)薄膜。由于電池表面的溫度要遠(yuǎn)低于蒸發(fā)源的溫度，因此，沉積物分子在電池表面時(shí)將直接發(fā)生從氣相到固相的轉(zhuǎn)變過程。

真空蒸鍍的諸多優(yōu)勢(shì)

● 鍍膜方法簡(jiǎn)單：真空蒸鍍只需要將待沉積的材料加熱至足夠高的溫度，使其氣化并飛向鈣鈦礦太陽(yáng)能電池片的表面形成薄膜。設(shè)備結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，操作方便。

●薄膜純度和致密度高：相比其他的沉積技術(shù)，真空蒸鍍沉積技術(shù)是在高真空條件下進(jìn)行的，可以有效地較少雜志氣體和粉塵顆粒對(duì)沉積過程的影響。同時(shí)，由于沉積原子具有較高的動(dòng)能，在電池片的表面可以形成致密均勻的結(jié)構(gòu)。

● 厚度可較準(zhǔn)確控制：真空蒸鍍可以通過調(diào)節(jié)加熱功率、時(shí)間、距離等參數(shù)來控制沉積速率和厚度，也可以通過「美能光伏」生產(chǎn)的美能探針式臺(tái)階儀來實(shí)時(shí)測(cè)量和反饋沉積后的ITO薄膜厚度等參數(shù)，從而將精準(zhǔn)的數(shù)據(jù)反饋給電池廠商，助力其高效生產(chǎn)！

●成膜速率快、效率高：真空蒸鍍可以利用電阻、電子束、激光等方式加熱材料，使其快速達(dá)到飽和蒸氣壓并產(chǎn)生大量的氣態(tài)粒子，這樣可以在較短的時(shí)間內(nèi)完成沉積過程，并可以同時(shí)或分別沉積多種不同的材料。

美能分光光度計(jì)

美能分光光度計(jì)采用獨(dú)特的雙光束光學(xué)設(shè)計(jì)，可以完美矯正不同ITO薄膜的吸光度變化，從而穩(wěn)定的進(jìn)行樣品測(cè)定。

● 采用雙光源雙檢測(cè)器設(shè)計(jì)

●超大波長(zhǎng)范圍190-2800nm

● 雙光柵光學(xué)結(jié)構(gòu)、有效降低雜散光

● 積分球直徑可達(dá)100mm

●長(zhǎng)期使用不發(fā)黃變性、光學(xué)性能穩(wěn)定

● 可最大限度的降低檢測(cè)器切換導(dǎo)致的誤差

在鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的沉積工藝中，真空蒸鍍沉積技術(shù)扮演著重要的角色，它可通過相當(dāng)便捷的沉積手段達(dá)到其他沉積技術(shù)要通過繁瑣的工序才能達(dá)到的效果，因此可適用于太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)化制備工藝中。「美能光伏」生產(chǎn)的美能分光光度計(jì)，可通過設(shè)定待測(cè)樣品的詳細(xì)信息，一鍵開始樣品掃描，從而滿足電池廠商的產(chǎn)業(yè)化檢測(cè)需求！