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至純科技:濕法清洗設(shè)備已在14及7納米制程實現(xiàn)交付,可實現(xiàn)國產(chǎn)替代

微云疏影 ? 來源:綜合整理 ? 作者:綜合整理 ? 2023-10-13 09:35 ? 次閱讀
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近日,至純科技機關(guān)接受的調(diào)研時,公司的濕式清掃設(shè)備28納米,幾乎可以覆蓋整個工程的過程,有反復訂購,14納米和7納米制造工藝也多臺訂單,被顧客傳達,公司是濕式清掃領(lǐng)域國產(chǎn)大再能實現(xiàn)。”

據(jù)介紹,單晶硫酸設(shè)備是濕式工程設(shè)備中難度最高的工程機械。至純科技s300 spm機器已交付許多國內(nèi)主流晶片工廠,并已應(yīng)用于國內(nèi)頭客戶的12英寸logic大量生產(chǎn)線。月產(chǎn)量最高可達6萬片。單一設(shè)備在大量生產(chǎn)線上的累計產(chǎn)量已超過20萬個,是高層濕式工程設(shè)備國產(chǎn)替代進口的重要里程碑。據(jù)至純科技,目前公司是國內(nèi)唯一一家單晶硫酸設(shè)備達到上述單晶量產(chǎn)指標的制造企業(yè)。

同時,zemu表示,公司濕式設(shè)備逐步擴展成熟工藝的產(chǎn)品線,部分邏輯用戶和第三代半導體用戶的生產(chǎn)線滲透率持續(xù)提高。在獲得訂單的時間和用戶擴展生產(chǎn)的時間可能會產(chǎn)生影響,但高溫硫酸、finetch、單片磷酸等國際制造企業(yè)在機械壟斷、公司供貨及檢驗方面仍領(lǐng)先于國內(nèi)。

至純科技同時從系統(tǒng)集成擴展到收益性更強的材料。至純科技于2022年初建成了國內(nèi)第一家電子級大宗天然氣供應(yīng)工廠。目前已經(jīng)穩(wěn)定運營了1年多,每年都為穩(wěn)定的收入做出貢獻。這是國內(nèi)首家完全自主建設(shè)的onsite大宗氣供應(yīng)工廠。公司將繼續(xù)在電子氣電子化學產(chǎn)品領(lǐng)域擴大事業(yè)和品種,并增加對電子材料領(lǐng)域的投資。

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