北方華創(chuàng)“半導體晶片處理腔室及半導體處理設備”專利獲授權
北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司的“半導體晶片處理腔室及半導體處理設備”專利獲批。許可公告日為11月14日，許可公告號為cn111799191b。
根據(jù)發(fā)明專利要點，該公司提供的一種半導體晶片處理腔室及半導體處理設備；半導體晶片處理腔室包括腔體、設置在該腔體內(nèi)可沿豎直方向移動的片盒和設置在腔體內(nèi)的加熱組件，還包括溫度檢測組件，該溫度檢測組件的檢測部為溫度檢測板，該溫度檢測板設置在腔體內(nèi)，且與腔體固定連接，用于檢測腔體的內(nèi)部溫度。
本發(fā)明提供的半導體晶片處理腔室可以解決現(xiàn)有熱電偶的導線連接安全問題。
聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用，如有內(nèi)容侵權或者其他違規(guī)問題，請聯(lián)系本站處理。
舉報投訴
-
半導體
+關注
關注
337文章
30324瀏覽量
261706 -
溫度檢測
+關注
關注
5文章
111瀏覽量
24665 -
晶片
+關注
關注
1文章
411瀏覽量
32812
發(fā)布評論請先 登錄
相關推薦
熱點推薦
芯源半導體在物聯(lián)網(wǎng)設備中具體防護方案
（一）數(shù)據(jù)傳輸安全防護方案?
在物聯(lián)網(wǎng)設備與云端、其他設備進行數(shù)據(jù)傳輸時，芯源半導體安全芯片通過以下方式保障數(shù)據(jù)傳輸安全：?
數(shù)據(jù)加密傳輸：利用安全芯片內(nèi)置的硬件加密引擎，對傳輸?shù)臄?shù)據(jù)進行加密
發(fā)表于 11-18 08:06
是德科技Keysight B1500A 半導體器件參數(shù)分析儀/半導體表征系統(tǒng)主機
一臺半導體參數(shù)分析儀抵得上多種測量儀器Keysight B1500A 半導體參數(shù)分析儀是一款一體化器件表征分析儀，能夠測量 IV、CV、脈沖/動態(tài) I-V 等參數(shù)。 主機和插入式模塊能夠表征大多數(shù)
發(fā)表于 10-29 14:28
現(xiàn)代集成電路半導體器件
目錄
第1章?半導體中的電子和空穴第2章?電子和空穴的運動與復合
第3章?器件制造技術
第4章?PN結和金屬半導體結
第5章?MOS電容
第6章?MOSFET晶體管
第7章?IC中的MOSFET
發(fā)表于 07-12 16:18
功率半導體器件——理論及應用
本書較全面地講述了現(xiàn)有各類重要功率半導體器件的結構、基本原理、設計原則和應用特性，有機地將功率器件的設計、器件中的物理過程和器件的應用特性聯(lián)系起來。
書中內(nèi)容由淺入深，從半導體的性質、基本的半導體
發(fā)表于 07-11 14:49
半導體設備，日韓大賺！
半導體設備，一直是一個水深火熱的細分領域。 隨著2024年全球半導體設備銷售額數(shù)據(jù)的出爐，這一領域迎來更多看點。 ** 01****半導體
半導體硅表面氧化處理：必要性、原理與應用
半導體硅作為現(xiàn)代電子工業(yè)的核心材料，其表面性質對器件性能有著決定性影響。表面氧化處理作為半導體制造工藝中的關鍵環(huán)節(jié)，通過在硅表面形成高質量的二氧化硅（SiO?）層，顯著改善了硅材料的電學、化學和物理
瑞聲科技與創(chuàng)晟半導體達成戰(zhàn)略合作
近日，瑞聲科技與高端車規(guī)通信芯片企業(yè)創(chuàng)晟半導體（深圳）有限公司（以下簡稱“創(chuàng)晟半導體”）宣布達成戰(zhàn)略合作。雙方將在車載信號傳輸處理方面深度合
電子束半導體圓筒聚焦電極
電子束半導體圓筒聚焦電極
在傳統(tǒng)電子束聚焦中，需要通過調(diào)焦來確保電子束焦點在目標物體上。要確認是焦點的最小直徑位置非常困難，且難以測量。如果焦點是一條直線，就可以免去調(diào)焦過程，本文將介紹一種能把
發(fā)表于 05-10 22:32
麥科信獲評CIAS2025金翎獎【半導體制造與封測領域優(yōu)質供應商】
麥科信獲評CIAS2025金翎獎【半導體制造與封測領域優(yōu)質供應商】
蘇州舉辦的2025CIAS動力·能源與半導體創(chuàng)新發(fā)展大會上，深圳麥科信科技有限公司憑借在測試測量領域的技術積累，入選半導體
發(fā)表于 05-09 16:10
傳中國半導體設備產(chǎn)業(yè)將大規(guī)格重組
下，中國似乎計劃采取資源集中策略，扶持具有潛力的企業(yè)。今年3月，中國半導體設備龍頭企業(yè)北方華創(chuàng)率先開始動作，該公司以16.9億元收購涂膠顯影
Q1半導體設備企業(yè)融資：量測設備占4成，新興領域成突圍焦點
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道（文/莫婷婷）隨著國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化持續(xù)進行，國產(chǎn)半導體設備行業(yè)也進入新的發(fā)展階段。在研發(fā)成果方面，今年的SEMICON上，中微半導體、
最全最詳盡的半導體制造技術資料，涵蓋晶圓工藝到后端封測
。 第1章 半導體產(chǎn)業(yè)介紹 第2章 半導體材料特性 第3章 器件技術 第4章 硅和硅片制備 第5章 半導體制造中的化學品 第6章 硅片制造中的沾污控制 第7章 測量學和缺陷檢查 第8章 工藝腔
發(fā)表于 04-15 13:52
北方華創(chuàng)躍居全球半導體設備供應商第六位
。 不過，北方華創(chuàng)憑借其在刻蝕、薄膜沉積和清洗設備方面的專業(yè)技能，其全球排名從第十位升至第六位。 2024年半導體
北京市最值得去的十家半導體芯片公司
（Yamatake Semiconductor）
領域 ：半導體設備
亮點 ：全球領先的晶圓加工設備供應商，產(chǎn)品包括干法去膠、刻蝕設備等，2024年科
發(fā)表于 03-05 19:37
華大半導體與湖南大學成功舉辦SiC功率半導體技術研討會
近日，華大半導體與湖南大學在上海舉辦SiC功率半導體技術研討會，共同探討SiC功率半導體在設計、制造、材料等領域的最新進展及挑戰(zhàn)。
工商網(wǎng)監(jiān)
評論