實(shí)驗(yàn)名稱:

高壓放大器三維超聲橢圓振動平臺的測試應(yīng)用

研究方向:

三維超聲橢圓

以共振頻率為約束條件設(shè)計(jì)了非共振型三維橢圓振動輔助加工平臺，實(shí)現(xiàn)了頻率、振幅、相等振動參數(shù)的可調(diào)性。

測試設(shè)備:

ATA-2082功率放大器、壓電陶瓷片、壓電疊堆、電容傳感器探頭、測振儀、數(shù)據(jù)采集卡。

以工作行程為目標(biāo)的位移放大機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，基于該位移放大機(jī)構(gòu)，設(shè)計(jì)出大行程解耦微定位平臺，運(yùn)用理論建模與數(shù)值仿真的方法分析微定位平臺的靜動態(tài)特性，最終通過性能測試驗(yàn)證所設(shè)計(jì)的振動平臺和微定位平臺的定位精度。

實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)圖

實(shí)驗(yàn)結(jié)果:

測試結(jié)果如圖所示，x/y/z軸的一階固有頻率均小于理論計(jì)算和有限元仿真結(jié)果。主要原因是三維橢圓振動加工平臺上附加了墊片（鋁板）質(zhì)量，導(dǎo)致振動平臺的等效質(zhì)量增加；其次振動平臺在整體裝配會由于整體質(zhì)量的增加，其頻率會有所降低。

實(shí)驗(yàn)中所用到的功率放大器ATA-2082指標(biāo)參數(shù)：

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