實驗名稱:

高壓放大器三維超聲橢圓振動平臺的測試應用

研究方向:

三維超聲橢圓

以共振頻率為約束條件設計了非共振型三維橢圓振動輔助加工平臺，實現(xiàn)了頻率、振幅、相等振動參數(shù)的可調(diào)性。

測試設備:

ATA-2082功率放大器、壓電陶瓷片、壓電疊堆、電容傳感器探頭、測振儀、數(shù)據(jù)采集卡。

以工作行程為目標的位移放大機構設計，基于該位移放大機構，設計出大行程解耦微定位平臺，運用理論建模與數(shù)值仿真的方法分析微定位平臺的靜動態(tài)特性，最終通過性能測試驗證所設計的振動平臺和微定位平臺的定位精度。

實驗系統(tǒng)圖

實驗結果:

測試結果如圖所示，x/y/z軸的一階固有頻率均小于理論計算和有限元仿真結果。主要原因是三維橢圓振動加工平臺上附加了墊片（鋁板）質(zhì)量，導致振動平臺的等效質(zhì)量增加；其次振動平臺在整體裝配會由于整體質(zhì)量的增加，其頻率會有所降低。

實驗中所用到的功率放大器ATA-2082指標參數(shù)：

寫在最后

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