近日,中科院上海光機(jī)所成功制備出超大口徑(1620mmx1070mm)的無拼縫脈沖壓縮光柵,該口徑面積是目前國際已知最大同類光柵元件2.9倍。脈沖壓縮光柵是超強(qiáng)超短激光裝置的核心部件,肩負(fù)壓窄脈沖寬度和傳輸能量負(fù)載雙功能,其口徑大小與激光裝置輸出通量成正比。國際已有光柵制造技術(shù)已無法滿足單路數(shù)十拍瓦到百拍瓦超強(qiáng)超短激光技術(shù)發(fā)展需求。
該光柵技術(shù)突破基于本所國際首創(chuàng)的超大口徑反射式單次靜態(tài)曝光技術(shù)。自2018年起,上海光機(jī)所充分發(fā)揮高功率激光元器件、加工、檢測及大裝置需求牽引的技術(shù)優(yōu)勢,先后突破大口徑高精度離軸拋物面鏡加工及其表面缺陷檢測及抑制、曝光環(huán)境溫流場穩(wěn)定控制、大口徑干涉光場調(diào)控、大面積光刻膠納米涂層均勻制備、高精度曝光顯影監(jiān)測等系列關(guān)鍵技術(shù)?;谝陨舷盗屑夹g(shù)制作的超大尺寸無拼縫脈沖壓縮光柵,平均效率高于93%@>200nm帶寬。
掩膜的高度、槽型、均勻性和復(fù)形效果等關(guān)鍵指標(biāo)符合預(yù)期,證明我所已經(jīng)在工程能力上掌握了國際上唯一的實現(xiàn)途徑,實現(xiàn)了我國在該領(lǐng)域的國際領(lǐng)跑。本階段的技術(shù)突破不但為單路百拍瓦甚至艾瓦級超強(qiáng)超短激光解決了最主要的技術(shù)瓶頸,同時也為我國超強(qiáng)超短激光裝置規(guī)?;ㄔO(shè)提供了保障。

圖2.光柵衍射效率譜線 本研究獲得國家重點研發(fā)計劃、上海市戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)重大項目、中國科學(xué)院重大科研儀器研制等項目支持,以上系列技術(shù)突破得到了大連理工大學(xué)、清華大學(xué)、長春光機(jī)所、江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司和蘇州宏策光電科技有限公司的重要支持和協(xié)作。
審核編輯:劉清
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原文標(biāo)題:上海光機(jī)所研制出國際最大無拼縫脈沖壓縮光柵
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