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阜時全固態(tài)激光雷達面陣SPAD芯片榮獲廣東省科技進步二等獎

MEMS ? 來源:MEMS ? 2023-11-30 09:47 ? 次閱讀
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11月27日,阜時科技收到了廣東省人民政府頒發(fā)的廣東省科技進步獎二等獎證書

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阜時科技全固態(tài)激光雷達面陣SPAD芯片,是基于此次獲獎項目的技術(shù)沉淀,通過公司上百名研發(fā)人員傾全力開發(fā),今年流片出來。這是國內(nèi)第一款全固態(tài)激光雷達面陣SPAD芯片,通過先進的BSI背照式工藝架構(gòu),解決了高靈敏度感光和dToF高速數(shù)字運算的底層硬件難題,達到了150線掃描、每秒輸出54萬點云的面區(qū)域激光雷達探測覆蓋,超越了日本芯片,實現(xiàn)了目前全世界最高輸出分辨率的激光雷達性能

該項目成果整體技術(shù)與應用達到國際先進水平,具有顯著的社會效益,填補國內(nèi)空白,打破國外廠商壟斷,解決了國家重大戰(zhàn)略需求的“卡脖子”問題,實現(xiàn)自主可控掌握底層器件技術(shù),可帶動下游激光雷達應用市場高速成長。

作為芯片設計開發(fā)領(lǐng)域唯一民營機構(gòu)牽頭獲獎項目,阜時科技自主研發(fā)的核心技術(shù)獲得廣東省及深圳市相關(guān)部門的一致認可。評審委員會專家在評審過程中,對阜時科技的芯片研發(fā)能力、器件測試效果,均給予了高度評價。本項目成果圍繞深度光感器件精確度和反應速度、可靠性以及光傳感芯片的封裝難題等瓶頸問題,從直接激光飛行時間(dToF)測距技術(shù)路徑、進行高性能單光子雪崩二極管元器件(SPAD)的工藝研究,對 SPAD器件占位檢測、可靠性、底層原理、工藝仿真等各個層面,系統(tǒng)研發(fā)三維機器視覺芯片深度光感測元器件。

基于內(nèi)部研究院的創(chuàng)新理論研究,阜時科技近年來投入巨額研發(fā),與晶圓廠合作多次進行 SPAD 器件工藝的實驗流片,屢次迭代調(diào)試工藝,成功使得單光子雪崩二極管器件工藝達到穩(wěn)定良率、高性能、低功耗、小型化水平,滿足可產(chǎn)品化落地的高標準。






審核編輯:劉清

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原文標題:阜時全固態(tài)激光雷達面陣SPAD芯片榮獲廣東省科技進步二等獎

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