使用壓力傳感器優(yōu)化半導(dǎo)體制造工藝

如今，半導(dǎo)體制造工藝快速發(fā)展，每一代新技術(shù)都在減小集成電路(IC)上各層特征的間距和尺寸。晶圓上高密度的電路需要更高的精度以及高度脆弱的先進(jìn)制造工藝。

為了確保高質(zhì)量，半導(dǎo)體制造對(duì)壓力測(cè)量技術(shù)提出了非常高的要求。所有制造步驟，如清潔、蝕刻和拋光，都應(yīng)盡可能精確。

壓力傳感器在半導(dǎo)體制造中的作用

壓力傳感器用于整個(gè)IC制造中，以在半導(dǎo)體工藝的各個(gè)階段執(zhí)行實(shí)時(shí)壓力測(cè)量。一些一般用途包括：

（1）通過(guò)持續(xù)施加壓力來(lái)提高晶圓拋光頭的精度和控制。

（2）通過(guò)檢查晶圓拋光頭的效率來(lái)保證持久的晶圓清潔。

（3）限制破裂或無(wú)邊界晶圓的數(shù)量。

（4）需要均勻的壓力以避免管芯開(kāi)裂或斷開(kāi)電氣連接。

（5）板和其他部件的明顯磨損會(huì)導(dǎo)致晶圓鍵合錯(cuò)誤

多范圍技術(shù)

多量程技術(shù)使一個(gè)壓力傳感器能夠在多個(gè)壓力范圍內(nèi)工作。由于晶圓批次擁有許多層，并且粘合或封裝可能不同，因此壓力要求往往會(huì)有所不同。

多量程使一個(gè)傳感器能夠在不降低性能的情況下進(jìn)行調(diào)整，以滿足各種制造工藝的壓力需求。

高級(jí)數(shù)字濾波

半導(dǎo)體制造要求精度，而空調(diào)或其他設(shè)備的噪音、建筑物振動(dòng)等外部因素會(huì)嚴(yán)重影響壓力傳感器的精度。英思特的集成高級(jí)數(shù)字濾波技術(shù)，可以在噪聲到達(dá)制造過(guò)程之前將其去除。因此，噪聲會(huì)在成為可能產(chǎn)生不準(zhǔn)確讀數(shù)的錯(cuò)誤信號(hào)之前被消除。

結(jié)論

半導(dǎo)體制造正在快速發(fā)展，每一代新技術(shù)都在減小IC特征的尺寸和間距。晶圓上電路密度的增加對(duì)壓力測(cè)量技術(shù)提出了較高的要求，以確保高質(zhì)量的工藝。

英思特的專(zhuān)業(yè)壓力傳感器技術(shù)為半導(dǎo)體設(shè)備提供各種優(yōu)勢(shì)，例如卓越的長(zhǎng)期穩(wěn)定性、更高的精度、先進(jìn)的數(shù)字濾波和多范圍技術(shù)。

審核編輯：湯梓紅