對于Poly膜厚的精準把控和實時檢測一直是提升太陽能電池性能過程中的一個難點。為了解決膜厚精準測量和分析,各類膜厚測量手段和設(shè)備層出不窮,但數(shù)據(jù)精準度不高、測試范圍不滿足、測試時間太長等缺陷依然制約著膜厚檢測。面對這些困難,美能POLY5000在線膜厚測試儀的應對方式有哪些?
0.5nm超高重復性精度
美能專為光伏客戶研發(fā)出一款光譜范圍為300nm-1100nm,光斑為70μm的「光譜儀」,專為適應光伏行業(yè)的測試環(huán)境及條件。搭配美能創(chuàng)新的「光譜擬合法」,擬合獲得薄膜厚度、光學常數(shù)以及膜厚均勻性等信息,實現(xiàn)超廣測量范圍20nm-2000nm和0.5nm超高重復性精度。

光強均勻,頻譜穩(wěn)定
傳統(tǒng)的LED光源,平均有效光譜范圍只有400nm-780nm,且在480nm附近會有光譜缺失,導致頻譜不穩(wěn)定,無法保證測試結(jié)果的準確性。POLY5000采用獨特的鎢鹵素燈,有效光譜范圍可達320nm-2400nm。該光源可涵蓋從紫外線到紅外線的所有光波段,并且能發(fā)射出連續(xù)光譜,保證測試結(jié)果的準確性。

快速、自動的5點同步掃描
POLY5000是專為光伏工藝監(jiān)控設(shè)計的在線POLY膜厚測試儀。不同于其他的膜厚測試設(shè)備,POLY5000可以對樣品進行快速、自動的5點同步掃描,獲得樣品不同位置的膜厚分布信息。并且根據(jù)不同客戶、不同樣品大小,POLY5000能夠定制測量尺寸,滿足絕大部分電池片測試需求。

在線監(jiān)控設(shè)備,保證生產(chǎn)效率
POLY5000可100%監(jiān)控LPCVD和PECVD沉積工藝,設(shè)備自動測試代替人工離線測試,非接觸、無損測量,保證零碎片率。單片測試時間<0.5s,保證生產(chǎn)效率。
在光伏行業(yè)全面發(fā)展的今天,我們愿與客戶一起提升產(chǎn)品質(zhì)量、成本競爭力和量產(chǎn)優(yōu)勢。在這一過程中,「美能光伏」致力于研發(fā)各種精密檢測設(shè)備,并提出多種電池組件研發(fā)解決方案,為客戶提供更多選擇。
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