三星電子啟動(dòng)了“智能傳感系統(tǒng)”研發(fā)，此舉力圖提升產(chǎn)能及轉(zhuǎn)換半導(dǎo)體工廠運(yùn)行模式。此項(xiàng)系統(tǒng)主打生產(chǎn)過程實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與分析功用，當(dāng)前已能自如應(yīng)對(duì)等離子體均勻性的問題。三星計(jì)劃于2030年前逐步實(shí)現(xiàn)無人工干預(yù)的芯片工廠全自動(dòng)化運(yùn)作。

未來十年，三星的終極目標(biāo)在于打造完全無人化的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施。要達(dá)到此成就，需建立能高效處理海量數(shù)據(jù)并自行優(yōu)化設(shè)備性能的完備體系。據(jù)預(yù)測(cè)，智能傳感系統(tǒng)將在實(shí)現(xiàn)智能化和全自動(dòng)化晶圓廠的關(guān)鍵環(huán)節(jié)中發(fā)揮決定性作用。三星目前已斥資數(shù)億韓元投向如智能感應(yīng)器等相關(guān)項(xiàng)目，期待長遠(yuǎn)回饋。

眼下研發(fā)中的智能傳感器專為精準(zhǔn)度測(cè)量晶圓上等離子體分布而設(shè)計(jì)。眾所周知，半導(dǎo)體制造過程中的蝕刻、沉積和清洗等步驟，受等離子體均勻性的影響極大，因此在此領(lǐng)域進(jìn)行精密評(píng)估和管理尤為關(guān)鍵。

這款智能傳感系統(tǒng)經(jīng)由團(tuán)隊(duì)協(xié)同研發(fā)而來，囊括眾多國內(nèi)外的合作伙伴和學(xué)術(shù)機(jī)構(gòu)的貢獻(xiàn)。該新型傳感器最大特點(diǎn)在于體積小巧，可直接接入現(xiàn)有晶圓廠，無需額外空地，這對(duì)于潔凈室環(huán)境尤為難得。

此外，值得一提的是，這些傳感器皆源自韓國本土設(shè)計(jì)和制造。過去，以三星為代表的韓國芯片制造商對(duì)洋裝備高度依賴，而今獨(dú)立研發(fā)出智能傳感系統(tǒng)即意味著這種依賴格局發(fā)生重大變革，盡管三星所用的絕大部分設(shè)備仍來自海外產(chǎn)地。