隨著科技的飛速發(fā)展，濺射靶材作為薄膜材料制備的關(guān)鍵材料，其需求量正持續(xù)增長。中國企業(yè)超卓航科憑借領(lǐng)先的冷噴涂技術(shù)，成功制造出高純度、高密度、高性能的濺射靶材，為我國高端濺射靶材產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入了強(qiáng)大動力。

濺射靶材是制備半導(dǎo)體晶圓、顯示面板、太陽能電池等表面電子薄膜的核心材料。其純度、致密度和成分均勻性等性能對下游客戶的鍍膜質(zhì)量具有直接影響。超卓航科所采用的冷噴涂技術(shù)，作為一種頗具前景的固態(tài)粉末沉積方法，具備沉積效率高、材料致密幾乎無缺陷、性能優(yōu)越等優(yōu)勢。這種技術(shù)在制造高密度、高純度的濺射靶材方面具有巨大潛力，能夠滿足日益嚴(yán)格的性能要求。

圖：超卓航科在靶材背襯上噴涂成大尺寸、高純度的銀靶材材料

超卓航科成功應(yīng)用冷噴涂技術(shù)制造出Zn、Al、Cu、Ag、Ti、Nb、Ta等多種金屬與合金靶材。這些靶材不僅直接成型生產(chǎn)效率高，與背襯的結(jié)合強(qiáng)度也超過80 MPa，晶粒更細(xì)小，氧含量低，均質(zhì)穩(wěn)定，大幅提升了靶材壽命。此外，這些靶材的致密度高，幾乎沒有氣孔，濺射過程中不會出現(xiàn)異常放電現(xiàn)象，具有良好的表面質(zhì)量。

隨著顯示行業(yè)的回暖，平面顯示器市場持續(xù)擴(kuò)大，其中以液晶顯示（LCD）為主導(dǎo)。濺射靶材作為薄膜制備的主流工藝，其需求量將進(jìn)一步增長。超卓航科的濺射靶材產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于平面顯示器、集成電路半導(dǎo)體、太陽能電池、信息存儲、光學(xué)鍍膜、電子器件等領(lǐng)域。其中，集成電路用靶材在全球市場中占據(jù)重要地位，薄膜太陽能電池的背電極環(huán)節(jié)以及異質(zhì)結(jié)電池的導(dǎo)體層也大量使用濺射靶材。

值得一提的是，異質(zhì)結(jié)電池作為下一代主流電池片技術(shù)，具有能量轉(zhuǎn)化高和成本降低空間大的優(yōu)勢。隨著異質(zhì)結(jié)電池產(chǎn)能的快速擴(kuò)張，太陽能電池用靶材的需求將有望進(jìn)一步增長。尤其是ITO靶材（氧化銦錫膜），作為異質(zhì)結(jié)電池的透明導(dǎo)電膜，其需求量將大幅增加。

此外，隨著信息存儲產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，記錄介質(zhì)用靶材的需求量也在不斷增長。硬盤、磁頭、光盤等數(shù)據(jù)存儲產(chǎn)品的制造都需要使用高品質(zhì)的濺射靶材。在信息存儲產(chǎn)業(yè)中，常用的靶材包括鈷、鉻、碳、鎳、鐵、貴金屬、稀有金屬和介質(zhì)材料等。

超卓航科憑借先進(jìn)的冷噴涂技術(shù)，成功打破了國外技術(shù)壟斷，填補(bǔ)了國內(nèi)高端濺射靶材市場的空白。這一突破不僅提升了我國在高端濺射靶材領(lǐng)域的國際競爭力，也為先進(jìn)制造業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展注入了強(qiáng)大動力。

超卓航科表示將繼續(xù)深耕高端濺射靶材產(chǎn)業(yè)，加大研發(fā)投入，推動技術(shù)創(chuàng)新，不斷提升產(chǎn)品性能和品質(zhì)。同時(shí)，該公司還將積極拓展應(yīng)用領(lǐng)域，深化與各行業(yè)的合作，共同推動我國高端濺射靶材產(chǎn)業(yè)的繁榮發(fā)展。

審核編輯 黃宇