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傳感新品

【河南大學(xué)與中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)：研發(fā)用于安全監(jiān)測(cè)的超高靈敏度纖維狀柔性溫度傳感器】

柔性傳感器能夠感知人體和環(huán)境的物理、化學(xué)和生物信息，在學(xué)術(shù)界和工業(yè)界引起了廣泛的關(guān)注。其中，柔性溫度傳感器尤為重要，因?yàn)樗鼈兡軌驈?fù)制來(lái)自多種來(lái)源的熱感，包括人體、環(huán)境和電子設(shè)備，這對(duì)于活動(dòng)監(jiān)測(cè)、環(huán)境感知和事故預(yù)警等應(yīng)用具有極大的潛力，并可有效用于電子皮膚，人機(jī)交互，以及災(zāi)害預(yù)防系統(tǒng)。然而，由于構(gòu)建具有高靈敏度的本征柔性監(jiān)測(cè)器件的過(guò)程較為復(fù)雜，柔性溫度傳感器的工作范圍和靈敏度仍有待進(jìn)一步提升。作為過(guò)渡金屬氧化物的一員，NiO因其高的電阻溫度系數(shù)（TCR）和卓越的溫度檢測(cè)性能而被認(rèn)為是理想的熱敏半導(dǎo)體。因此，設(shè)計(jì)制備高靈敏NiO基柔性材料和器件對(duì)于開(kāi)發(fā)具有高變形能力和傳感性能的柔性溫度傳感器至關(guān)重要。

鑒于此，河南大學(xué)柔性電子學(xué)院和河南省柔性電子產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院黃維院士、張洪健副教授和中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)朱紀(jì)欣教授利用一種簡(jiǎn)便的原位合成/分解方法，制備出了作為溫度感應(yīng)組件的柔性纖維狀NiO/碳納米管纖維（CNTF）復(fù)合材料，并使用有限元分析系統(tǒng)地研究了NiO/CNTF柔性溫度傳感器在各種應(yīng)用條件下的機(jī)械和熱傳輸行為。此外，該工作還系統(tǒng)地研究了與人體相關(guān)熱信號(hào)的接觸和非接觸溫度傳感應(yīng)用。最后，基于傳感器構(gòu)建了溫度監(jiān)控和預(yù)警系統(tǒng)，并應(yīng)用于儲(chǔ)能電池和智能手機(jī)的溫度監(jiān)測(cè)，以防止由電池?zé)崾Э鼗螂娮釉O(shè)備的異常充放電過(guò)程引起的火災(zāi)事故發(fā)生。

圖1. 材料合成策略、微觀結(jié)構(gòu)以及柔性溫度傳感器示意圖

采用原位合成/分解法，在CNTF表面均勻負(fù)載NiO納米片陣列，得到柔性NiO/CNTF纖維狀復(fù)合材料。以NiO/CNTF為溫度傳感單元，PET為柔性基材，Ag為電極，PDMS為封裝材料，成功制備了NiO/CNTF柔性溫度傳感器。

【NiO/CNTF柔性溫度傳感器的性能】

圖2. 柔性溫度傳感器的電學(xué)和溫度感應(yīng)特性

該研究工作中制備的柔性溫度傳感器具有可設(shè)計(jì)性強(qiáng)、尺寸多樣化的特點(diǎn)，能夠靈活應(yīng)用于多種便攜性穿戴和植入場(chǎng)景，并且展現(xiàn)出靈敏度高和工作溫域?qū)挼奶匦?。通過(guò)擬合相對(duì)于室溫的歸一化電阻，計(jì)算出柔性溫度傳感器在?15–25 °C和在25–60 °C溫度范圍內(nèi)的TCR分別為?9.1% °C?1和?2.1% °C?1，其中最大TCR可以達(dá)到?20.2% °C?1，在?15–60 °C的溫度范圍內(nèi)柔性溫度傳感器的熱敏電阻常數(shù)B值為 3332 K。此外，傳感器對(duì)高溫和低溫分別具有良好的開(kāi)關(guān)響應(yīng)特性。

【NiO/CNTF柔性溫度傳感器的熱傳導(dǎo)特性】

圖3. 柔性溫度傳感器的有限元分析模擬

為了評(píng)估NiO/CNTF柔性溫度傳感器的機(jī)械和熱行為，采用有限元分析模擬對(duì)多物理場(chǎng)耦合下傳感器的結(jié)構(gòu)力學(xué)和熱傳導(dǎo)進(jìn)行了模擬。研究表明，該研究工作中制備的傳感器，溫度傳感元件位于電極區(qū)域，能夠有效避免形變過(guò)程中產(chǎn)生的應(yīng)力集中效應(yīng)，有利于提高傳感器的穩(wěn)定性和耐用性。此外，對(duì)不同熱源類(lèi)型和不同傳輸途徑下系統(tǒng)的熱傳輸行為做了模擬和研究，并對(duì)比了固體-固體和環(huán)境-固體兩種模式處于高溫和低溫環(huán)境的熱傳導(dǎo)速率。此外，由于PDMS具有成分可調(diào)的優(yōu)點(diǎn)，高導(dǎo)熱添加劑可以與PDMS前驅(qū)體混合，增強(qiáng)封裝材料的導(dǎo)熱性能，提升溫度傳感響應(yīng)速度。

【NiO/CNTF柔性溫度傳感器在溫度監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用】

圖4. 柔性溫度傳感器監(jiān)測(cè)人體熱信號(hào)

NiO/CNTF柔性溫度傳感器表現(xiàn)出優(yōu)異的靈敏度、靈活性和可調(diào)尺寸，在具有溫度傳感功能的電子皮膚或人機(jī)交互設(shè)備中具有巨大的應(yīng)用潛力。NiO/CNTF柔性溫度傳感器能夠應(yīng)用于測(cè)量接觸式人體熱信號(hào)，如手指觸摸產(chǎn)生的溫度變化；還可以應(yīng)用于呼吸等人體熱信號(hào)的非接觸檢測(cè)，滿(mǎn)足不同生理狀態(tài)呼吸行為監(jiān)測(cè)等多種應(yīng)用場(chǎng)景需求，并驗(yàn)證了其比商用NTC熱敏電阻具有更優(yōu)異的信號(hào)強(qiáng)度和響應(yīng)速度。

【NiO/CNTF柔性溫度傳感器在安全監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中的應(yīng)用】

圖5. 柔性溫度傳感器在溫度監(jiān)測(cè)和預(yù)警系統(tǒng)中的應(yīng)用

基于NiO/CNTF柔性溫度傳感器，研究者還開(kāi)發(fā)了具有高低溫報(bào)警功能的溫度監(jiān)測(cè)預(yù)警系統(tǒng)。在溫度監(jiān)測(cè)預(yù)警系統(tǒng)中，可以通過(guò)預(yù)先設(shè)定的高溫和低溫閾值，對(duì)監(jiān)測(cè)的正常、過(guò)冷和過(guò)熱溫度進(jìn)行警報(bào)指示。以鋰離子電池為例，NiO/CNTF柔性溫度傳感器可以貼附在電池表面實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電池溫度。當(dāng)電池發(fā)生熱失控時(shí)，溫度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可以及時(shí)檢驗(yàn)到電池過(guò)熱現(xiàn)象并報(bào)警。此外，傳感器還可以貼附在智能手機(jī)表面，對(duì)手機(jī)充電時(shí)的溫度變化進(jìn)行同步監(jiān)測(cè)，防止充放電過(guò)程溫度異常引起的電子設(shè)備損壞和火災(zāi)等風(fēng)險(xiǎn)。

傳感動(dòng)態(tài)

【專(zhuān)精特新“廣東造”｜速騰聚創(chuàng)：用技術(shù)實(shí)力“圈粉”全球智能車(chē)企】

廣東是全國(guó)汽車(chē)生產(chǎn)第一大省，也是消費(fèi)第一大省。廣東有比亞迪這樣的龍頭企業(yè)，也有一大批極具創(chuàng)造力、在細(xì)分領(lǐng)域呼風(fēng)喚雨的“隱形冠軍”，這些中小企業(yè)中的“領(lǐng)頭羊”，已經(jīng)成為推動(dòng)汽車(chē)制造業(yè)持續(xù)高質(zhì)量發(fā)展的重要力量。

2月18日，甲辰龍年首個(gè)工作日，廣東省高質(zhì)量發(fā)展大會(huì)在深圳召開(kāi)，助力推動(dòng)產(chǎn)業(yè)和科技互促雙強(qiáng)。高端制造業(yè)企業(yè)參會(huì)代表、速騰聚創(chuàng)科技有限公司副總裁魏根平接受南方新聞網(wǎng)記者專(zhuān)訪(fǎng)時(shí)表示，深圳的營(yíng)商環(huán)境和產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，以及自身的創(chuàng)新能力和技術(shù)實(shí)力，是企業(yè)快速成長(zhǎng)為專(zhuān)精特新“小巨人”，引領(lǐng)激光雷達(dá)行業(yè)發(fā)展的重要原因。

以技術(shù)創(chuàng)新?lián)屨际袌?chǎng)

激光雷達(dá)是機(jī)器人的眼睛，能為機(jī)器人感知世界提供超越人類(lèi)眼睛的感知能力。報(bào)告稱(chēng)，中國(guó)將成為全球載激光雷達(dá)解決案市場(chǎng)中最活躍、最重要的市場(chǎng)，到2030年約占全球市場(chǎng)的34.6%，2022年2030年的復(fù)合年增率為104.2%。

2014年，速騰聚創(chuàng)誕生于深圳南山，2022年，速騰聚創(chuàng)成為國(guó)家級(jí)專(zhuān)精特新“巨”一員，2023年，速騰聚創(chuàng)全年激光雷達(dá)交付量超25萬(wàn)臺(tái)，創(chuàng)下了全球激光雷達(dá)銷(xiāo)量與市值雙紀(jì)錄?，F(xiàn)如今，中國(guó)銷(xiāo)量前10的車(chē)企中，有9家都用上了速騰聚創(chuàng)的激光雷達(dá)。

科創(chuàng)型中小企如何在短短10年內(nèi)快速成長(zhǎng)？魏根平透露，敢想、敢創(chuàng)是他們的致勝法寶。“我們是全球業(yè)內(nèi)最早布局主芯技術(shù)、也是全球最早實(shí)現(xiàn)規(guī)級(jí)固態(tài)激光雷達(dá)量產(chǎn)的激光雷達(dá)公司。在載前裝領(lǐng)域，我們通過(guò)規(guī)激光雷達(dá)的前瞻戰(zhàn)略布局，讓激光雷達(dá)從萬(wàn)元的精密儀器，變成可以規(guī)模量產(chǎn)應(yīng)的汽產(chǎn)品，價(jià)格只需百美?！?/p>

企業(yè)的技術(shù)實(shí)力離不開(kāi)科研投入與科研人才。魏根平表示，速騰聚創(chuàng)的研發(fā)投入占每年總營(yíng)收超50%，公司超50%的人才都是研發(fā)人員，這兩個(gè)“50%”保障了企業(yè)產(chǎn)品的技術(shù)突破，讓企業(yè)在激光雷達(dá)領(lǐng)域擁有近1400項(xiàng)專(zhuān)利及專(zhuān)利申請(qǐng)?！凹夹g(shù)突破讓我們不斷優(yōu)化產(chǎn)品性能，‘圈粉’無(wú)數(shù)智能車(chē)企，在市值、銷(xiāo)量、客戶(hù)數(shù)量方面拿下多個(gè)第一，從而支撐我們持續(xù)創(chuàng)新發(fā)展?！?/p>

深圳創(chuàng)新底氣足

速騰聚創(chuàng)“于南，于南”。魏根平認(rèn)為，深圳的營(yíng)商環(huán)境和產(chǎn)業(yè)資源，是企業(yè)敢于創(chuàng)新的底，這座城市能快速把有價(jià)值的想法產(chǎn)品化?！拔覀兊陌l(fā)展離不開(kāi)深圳市政府和南山區(qū)政府的大力支持，他們不僅給企業(yè)找空間、找才、找資、找市場(chǎng)、找政策，還為‘巨’提供全命周期培育服務(wù)?！?/p>

他舉例，南是智能聯(lián)汽產(chǎn)業(yè)聚集程度最的區(qū)域之，粵港澳大灣區(qū)個(gè)動(dòng)駕駛智能研究中、深圳動(dòng)駕駛智能研究中也在這落地?！罢苤匾暽舷掠萎a(chǎn)業(yè)鏈重點(diǎn)企業(yè)的聯(lián)合，協(xié)助我們與南科、中國(guó)科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院等校及科研機(jī)構(gòu)達(dá)成了科研合作，促進(jìn)產(chǎn)學(xué)研的融合發(fā)展?！?/p>

在產(chǎn)業(yè)生態(tài)方面，魏根平表示，廣東擁有完整的汽車(chē)上下游供應(yīng)鏈，聚集了中國(guó)的主動(dòng)駕駛技術(shù)企業(yè)，為企業(yè)快速發(fā)展提供很好的養(yǎng)分?！拔覀兒芏嗔悴考?yīng)商都實(shí)現(xiàn)了本土化，而小鵬、比亞迪、廣汽等下游企業(yè)客戶(hù)都在省內(nèi)，方便我們非常高效地溝通交流，提供更好的服務(wù)?！?/p>

參加全省高質(zhì)量發(fā)展大會(huì)，魏根平很受鼓舞，他表示，有省委、省政府質(zhì)量發(fā)展的堅(jiān)定向和政策持，他對(duì)未來(lái)發(fā)展很有信?！敖衲?，我們希望引領(lǐng)業(yè)共同實(shí)現(xiàn)百萬(wàn)級(jí)的激光雷達(dá)交付，也希望加速拓展全球市場(chǎng)，打造全球化的企業(yè)架構(gòu)和才梯度?！?/p>

【總投資1.5億！蘇州清研微視立體視覺(jué)傳感器項(xiàng)目落戶(hù)安徽蕪湖】

2月1日，清研年產(chǎn)3萬(wàn)臺(tái)立體視覺(jué)傳感器項(xiàng)目簽約落戶(hù)安徽蕪湖三山經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)。項(xiàng)目計(jì)劃總投資15000萬(wàn)元，建設(shè)年產(chǎn)3萬(wàn)臺(tái)立體視覺(jué)傳感器（產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新融合產(chǎn)品）。該項(xiàng)目的落地加強(qiáng)了三山經(jīng)開(kāi)區(qū)與清華大學(xué)未來(lái)在汽車(chē)領(lǐng)域上的合作，為三山打造汽車(chē)生產(chǎn)基地，提供智力支持。

本項(xiàng)目投資方為蘇州清研微視電子科技有限公司，是清華大學(xué)蘇州汽車(chē)研究院重點(diǎn)孵化企業(yè)，蘇州市獨(dú)角獸培育企業(yè)，蘇州市“頭雁”企業(yè)。清華大學(xué)蘇州汽車(chē)研究院成立于2011年7月，是清華大學(xué)第一所面向特定行業(yè)的專(zhuān)業(yè)化派出機(jī)構(gòu)，面向汽車(chē)應(yīng)用技術(shù)研發(fā)、高端產(chǎn)業(yè)服務(wù)和科技成果轉(zhuǎn)化。公司專(zhuān)注于人工智能產(chǎn)品的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，為客戶(hù)提供以“嵌入式系統(tǒng)+AI算法+云控平臺(tái)”為核心的立體視覺(jué)感知系統(tǒng)。在智能網(wǎng)聯(lián)汽車(chē)領(lǐng)域，是商用車(chē)頭部企業(yè)供應(yīng)商。

雙目立體視覺(jué)產(chǎn)品已采用硬件描述語(yǔ)言在FPGA中實(shí)現(xiàn)，融資完成后將完成流片工作（55nm工藝），成本將大幅減低（FPGA：800元；流片芯片：7元），乘用車(chē)市場(chǎng)將全面打開(kāi)。立體視覺(jué)將是 L2+以上自動(dòng)駕駛汽車(chē)的標(biāo)配功能，每年的市場(chǎng)規(guī)模200億元左右。

【一個(gè)月生產(chǎn)近6000高精度壓力傳感器芯片——走近中國(guó)科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院】

2月13日，大年初四。平時(shí)人來(lái)人往的中國(guó)科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“空天院”）中關(guān)村園區(qū)，今天格外寧?kù)o。在萬(wàn)家團(tuán)圓的新春佳節(jié)，邢艷榮一大早就來(lái)到實(shí)驗(yàn)室，忙起芯片加工工作。

邢艷榮是空天院高精度壓力傳感器團(tuán)隊(duì)的實(shí)驗(yàn)師。這個(gè)春節(jié)假期，她和同事們都必須“泡”在實(shí)驗(yàn)室超凈間里，加班加點(diǎn)完成壓力傳感器芯片生產(chǎn)任務(wù)。

“春節(jié)前夕，我國(guó)中東部地區(qū)出現(xiàn)大范圍持續(xù)性雨雪冰凍天氣，各地氣象部門(mén)緊急采購(gòu)便攜式自動(dòng)氣象站、微智自動(dòng)氣象站等。我們團(tuán)隊(duì)需要加班值守，以確保氣象壓力傳感器芯片順利生產(chǎn)交付?！笨仗煸貉芯繂T、高精度壓力傳感器團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人王軍波告訴科技日?qǐng)?bào)記者。

一個(gè)月生產(chǎn)近6000枚芯片

穿上潔凈服、戴上防護(hù)帽和膠皮手套，在風(fēng)淋間“吹風(fēng)”除塵后，記者跟隨邢艷榮來(lái)到實(shí)驗(yàn)室壓力傳感器芯片生產(chǎn)超凈間。

在這里，伴隨著各種高精密儀器發(fā)出的嗡鳴聲，邢艷榮和同事們開(kāi)始在光刻機(jī)上作業(yè)。光刻是制造芯片的關(guān)鍵步驟，邢艷榮將硅晶圓放到機(jī)器的凹槽內(nèi)，設(shè)備啟動(dòng)后就會(huì)按照事先設(shè)計(jì)好的工藝參數(shù)進(jìn)行光刻。

光刻的結(jié)果并不會(huì)第一時(shí)間顯現(xiàn)，要檢驗(yàn)光刻的成效，還有一個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)——顯影。“這就是顯影液，就像以前洗照片一樣。格子里面是眼睛能看到的彩紋，這個(gè)彩紋沒(méi)有了，顯影也就結(jié)束了。”邢艷榮邊操作邊給記者講解。

邢艷榮是兩個(gè)孩子的媽媽?zhuān)洗笞x初三，正值中考關(guān)鍵期。對(duì)于春節(jié)加班，她沒(méi)有任何抱怨。

“不光是我，我的同事們也很辛苦。比如，住在燕郊的同事晚上都回不了家，因?yàn)橼s不上最晚的大巴，只能在辦公室休息一下?！毙掀G榮說(shuō)，“大家都想盡快完成壓力傳感器芯片生產(chǎn)任務(wù)，確保訂單能夠按時(shí)交付?！?/p>

從晶圓到最終的芯片成片，要經(jīng)過(guò)清洗、光刻、顯影、刻蝕等多個(gè)步驟。邢艷榮和同事們一個(gè)星期要加工8—10片晶圓，一個(gè)月要生產(chǎn)近6000枚高精度壓力傳感器芯片。

壓力傳感器是一種能夠測(cè)量壓力大小并將其轉(zhuǎn)換成可測(cè)電信號(hào)的器件或裝置。高精度壓力傳感器是航空航天、工業(yè)控制高端裝備的核心器件。

“芯片是壓力傳感器的核心，芯片的加工水平是壓力傳感器高精度的重要保障。壓力傳感器的精度決定了工業(yè)測(cè)控的精度，比如在氣象領(lǐng)域，高精度壓力傳感器可以更為準(zhǔn)確地預(yù)測(cè)天氣的變化?！笨仗煸貉芯繂T、高精度壓力傳感器團(tuán)隊(duì)技術(shù)負(fù)責(zé)人陳德勇說(shuō)。

為國(guó)家需求義不容辭

以前，我國(guó)的高精度壓力傳感器幾乎全部依靠進(jìn)口?？仗煸焊呔葔毫鞲衅鲌F(tuán)隊(duì)用了數(shù)十年的時(shí)間，不僅實(shí)現(xiàn)了核心部件的國(guó)產(chǎn)化，沖破了層層技術(shù)壁壘，還將壓力傳感器的精度提高到了萬(wàn)分之一。

“這意味著，如果一架飛機(jī)在萬(wàn)米高空中飛行，萬(wàn)分之一精度的壓力傳感器誤差僅在1米以?xún)?nèi)?！蓖踯姴ㄕf(shuō)，萬(wàn)分之一精度的壓力傳感器是壓力傳感器皇冠上的明珠，是我國(guó)必須牢牢掌握在自己手中的關(guān)鍵核心技術(shù)。

“壓力傳感器本身是受溫度影響的，溫度快速變化的時(shí)候，傳感器不一定能跟得上溫度的變化。我們現(xiàn)在做的傳感器用了兩個(gè)諧振器，這兩個(gè)諧振器放的位置很近，對(duì)溫度變化的反應(yīng)是幾乎一致的。我們通過(guò)這種差分的方法，可以大大減少溫度跟隨誤差。在這一點(diǎn)上，國(guó)外是沒(méi)有的?！标惖掠聦?duì)自己設(shè)計(jì)的產(chǎn)品充滿(mǎn)自信。

作為團(tuán)隊(duì)技術(shù)負(fù)責(zé)人，陳德勇已經(jīng)在壓力傳感器領(lǐng)域持續(xù)攻關(guān)近30年，先后研制出三大類(lèi)不同工作機(jī)理的十余種傳感器產(chǎn)品，并解決了應(yīng)用過(guò)程中出現(xiàn)的一系列工程化問(wèn)題和批量化制造難題。

“放假這些天，我一直都在值班，因?yàn)樯a(chǎn)線(xiàn)不能停，要保證生產(chǎn)設(shè)備正常工作。我每天都來(lái)巡檢，看看水、電、氣是不是正常工作?！蓖踯姴ㄕJ(rèn)為，犧牲假期為滿(mǎn)足國(guó)家需求而工作義不容辭。

“我覺(jué)得國(guó)家需要，就是對(duì)我們這些科研人員最大的認(rèn)可?！蓖踯姴ㄏＭ麄兊漠a(chǎn)品能夠更好地保障國(guó)家需求，從而為實(shí)現(xiàn)高水平科技自立自強(qiáng)貢獻(xiàn)自己的力量。

【2024 年上海市重大工程清單公布：中芯國(guó)際、華為、特斯拉儲(chǔ)能超級(jí)工廠等在列】

2 月 19 日消息，據(jù)上海市發(fā)展和改革委員會(huì)官方公眾號(hào)“上海發(fā)展改革”消息，2024 年上海市重大工程清單正式公布，計(jì)劃安排正式項(xiàng)目 191 項(xiàng)，其中科技產(chǎn)業(yè)類(lèi) 76 項(xiàng)，社會(huì)民生類(lèi) 23 項(xiàng)，生態(tài)文明建設(shè)類(lèi) 16 項(xiàng)，城市基礎(chǔ)設(shè)施類(lèi) 67 項(xiàng)，城鄉(xiāng)融合與鄉(xiāng)村振興類(lèi) 9 項(xiàng)；另計(jì)劃安排預(yù)備項(xiàng)目 26 項(xiàng)。

從大家關(guān)注的科技產(chǎn)業(yè)類(lèi)（76 項(xiàng)）來(lái)看：

計(jì)劃建成 14 項(xiàng)：高效低碳燃?xì)廨啓C(jī)試驗(yàn)裝置國(guó)家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施、鼎泰半導(dǎo)體 12 英寸自動(dòng)化晶圓制造中心項(xiàng)目、盛美半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)與制造中心、華為上海研發(fā)基地（青浦）、中交集團(tuán)上?？偛炕?。

計(jì)劃新開(kāi)工 4 項(xiàng)：中科院在滬“十四五”科教基礎(chǔ)設(shè)施項(xiàng)目、儀電智算中心（松江）、中國(guó)船舶集團(tuán)總部上海科研基地、普洛斯桃浦智慧冷鏈產(chǎn)業(yè)園。

在建項(xiàng)目 58 項(xiàng)：中芯國(guó)際 12 英寸芯片項(xiàng)目、中芯國(guó)際臨港 12 英寸晶圓代工生產(chǎn)線(xiàn)項(xiàng)目、上海硬 X 射線(xiàn)自由電子激光裝置項(xiàng)目、國(guó)家海底長(zhǎng)期科學(xué)觀測(cè)系統(tǒng)、中航商用航空發(fā)動(dòng)機(jī)公司產(chǎn)業(yè)基地建設(shè)項(xiàng)目、西岸傳媒港、西岸智慧谷、大型綠色數(shù)據(jù)中心等。

預(yù)備項(xiàng)目（26 項(xiàng)）中，出現(xiàn)了特斯拉儲(chǔ)能超級(jí)工廠、軌道交通 20 號(hào)線(xiàn)一期東段及東延伸等。

預(yù)備項(xiàng)目是指項(xiàng)目現(xiàn)階段手續(xù)尚未齊全，待齊全后近期準(zhǔn)備實(shí)施的項(xiàng)目。

【40張動(dòng)圖！傳感器工作原理圖匯總】

應(yīng)變加速度感應(yīng)器（陀螺儀）▼

電容式壓力傳感器▼

差壓式液位計(jì)a▼

差壓式液位計(jì)b▼

差壓式液位計(jì)c▼

電容液位計(jì)原理圖布料張力測(cè)量及控制原理▼

直滑式電位器控制氣缸活塞行程▼

壓阻式傳感器測(cè)量液位的工作原理▼

MQN型氣敏電阻結(jié)構(gòu)及測(cè)量電路▼

氣泡式水平儀的工作原理▼

擴(kuò)散硅式壓力傳感器▼

稱(chēng)重式料位計(jì)

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電子皮帶秤重示意圖▼

電子吊車(chē)秤▼

荷重傳感器用于測(cè)量汽車(chē)衡的原理▼

荷重傳感器的應(yīng)用▼

TiO2氧濃度傳感器結(jié)構(gòu)及測(cè)量電路▼

電位器式傳感器▼

陶瓷濕度傳感器▼

多孔性氧化鋁濕敏電容原理▼

基本變間隙型電容傳感器和差動(dòng)變間隙型電容傳感器的工作原理▼

變面積型電容傳感器工作原理▼

利用接近開(kāi)關(guān)進(jìn)行物體位檢測(cè)的原理▼

光柱顯示編碼式液位計(jì)原理▼

電容液位計(jì)原理圖

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電容測(cè)厚儀▼

電容加速度傳感器▼

電容式油量表原理▼

頻率差法測(cè)量流量的原理▼

空氣傳導(dǎo)型超聲波發(fā)生、接收器的結(jié)構(gòu)▼

超聲波應(yīng)用的兩種類(lèi)型▼

超聲波探頭的結(jié)構(gòu)▼

超聲波流量計(jì)的原理▼

超聲波測(cè)厚的原理▼

超聲波測(cè)量密度原理▼

超聲波測(cè)量液位原理▼

超聲防盜報(bào)警器▼

縱波探傷▼

橫波探傷▼

表面波探傷▼

審核編輯 黃宇