2023年1月，某超小型MEMS壓力傳感器芯片成功研制，器件技術(shù)指標達到國際先進水平，為解決該項技術(shù)的“卡脖子”問題、實現(xiàn)產(chǎn)品自主可控邁出了堅實的一步。作為技術(shù)團隊的負責人，57歲的北京大學集成電路學院教授級高級工程師高成臣倍感欣慰。他帶領(lǐng)團隊克服了研制難度大、配套實驗能力不足等困難，最終不負所托，給用戶交出了令人滿意的答卷。高成臣躬耕傳感器制備和研究35年，不斷追求完美，突破了一項又一項技術(shù)難關(guān)。

攻堅克難，于傳感器領(lǐng)域辛勤耕耘數(shù)十載

1988年從東南大學畢業(yè)參加工作后，高成臣一直專注于壓力傳感器等物理量傳感器技術(shù)和產(chǎn)品的研制開發(fā)，始終面向國家重大需求，瞄準“卡脖子”關(guān)鍵技術(shù)，努力追求卓越，領(lǐng)導項目團隊完成了耐高溫、耐低溫、耐大動態(tài)沖擊、高精度等多款MEMS壓力傳感器的產(chǎn)品開發(fā)，圓滿完成了多項重點裝備的配套產(chǎn)品和供貨任務。

高精尖領(lǐng)域的跋涉自然是困難重重，高成臣從不輕易放棄。2000年，某重大工程急需大量程差壓傳感器，但國內(nèi)尚無可用產(chǎn)品。在當時沒有可借鑒的技術(shù)方案、研制條件和配套能力不完備的情況下，面對國家急需，高成臣和項目組同事義無反顧地承擔了產(chǎn)品配套研制任務。

高成臣是個對技術(shù)精益求精的人，對于擋在前路的“巨石”他從不畏懼。他常說的一句話就是：“只要理論上沒有邊界，技術(shù)上就有突破的可能?！闭n題組在高成臣的領(lǐng)導下攻堅克難，經(jīng)過多次實驗和技術(shù)論證，終于確定了技術(shù)可行方案，完成了初代產(chǎn)品的研制。

然而，還沒來得及慶祝技術(shù)上的突破，某項指標在嚴苛環(huán)境實驗中考核失敗的陰影便開始籠罩在項目組。項目組的很多成員開始動搖，懷疑技術(shù)方案的可行性。面對質(zhì)疑，高成臣不輕言放棄，他帶領(lǐng)項目組同事仔細分析實驗數(shù)據(jù)，查找問題根源，并鼓勵大家不囿于常規(guī)，尋求創(chuàng)新的解決方案。功夫不負有心人，經(jīng)過多次的縝密調(diào)制，改進后的柔性密封方案終于解決了該重大工程的關(guān)鍵技術(shù)卡點，形成了配套壓力傳感器產(chǎn)品的批量供貨能力。

精益求精，于北大學術(shù)沃土追求完美設(shè)計

2008年，因工作需要，高成臣調(diào)入北京大學工作。利用學校得天獨厚的科研條件和人才優(yōu)勢，高成臣將工作重心由產(chǎn)品研制轉(zhuǎn)向了傳感器先進技術(shù)的研究?！氨本┐髮W的文化兼容并包，在這里可以接觸到各領(lǐng)域最頂尖的學者，有著最優(yōu)秀的生源，大家都很自覺地奉獻科研，很主動地追求最完美的設(shè)計方案?！备叱沙颊f道。

彼時，我國在高性能壓力傳感器技術(shù)方面還相對比較落后，高端壓力傳感器芯片的供貨長期被國外公司壟斷，亟待技術(shù)上的突破。為了打破國外產(chǎn)品的壟斷，高成臣和團隊克服了研制經(jīng)費不足、成果周期長、工程技術(shù)隊伍緊缺等困難，堅守高端壓力傳感器的研究。他始終秉承“不斷追求完美的設(shè)計是獲得高性能傳感器的前提”的理念，堅信在結(jié)構(gòu)及工藝方案設(shè)計上追求盡善盡美是實現(xiàn)高端傳感器的關(guān)鍵所在，并領(lǐng)導團隊始終如一地踐行這一理念。

經(jīng)過多年的不懈鉆研，高成臣領(lǐng)導團隊在MEMS壓阻式壓力傳感器的耐高溫、微小型化、高頻響及高精度等多方面取得突破，研制出多款壓力傳感器產(chǎn)品。曾經(jīng)，國內(nèi)某用戶單位原本對學校研制的產(chǎn)品持懷疑態(tài)度，但該用戶測評后發(fā)現(xiàn)該傳感器性能優(yōu)異，完全可以替代國外產(chǎn)品，并將其用于壓力控制儀中的壓力標準傳感器。該項技術(shù)的突破，使得我國成為國際上少數(shù)幾個掌握頂級精度壓阻式壓力傳感器核心技術(shù)的國家。

30余年在傳感器研究領(lǐng)域的努力耕耘也得到了國家機關(guān)和專家學者的肯定。高成臣牽頭的壓力傳感器項目得到了鑒定專家組的高度認可，“總體技術(shù)達到國際先進水平，得到了大量應用，為裝備發(fā)展作出了重要貢獻，也為新一代裝備的發(fā)展提供了重要技術(shù)儲備”。該項目獲得了2019年教育部科技進步一等獎。

立德樹人，于科研積累中傳承家國情懷

在開展新技術(shù)研究方面，高成臣和團隊在選題上始終遵循“不管做哪方面科研，首當其沖是面向國家需求”的觀點，尤其是要面向國家的重大工程急需，要有解決“卡脖子”問題的決心和勇氣。

2013年，在認識到聲矢量傳感器技術(shù)是未來聲學的重要方向，也是解決現(xiàn)有工程中問題的重要手段后，高成臣面對陌生學科領(lǐng)域，努力補足知識短板，毅然決然地開啟了該方向的研究工作。他帶領(lǐng)研究團隊在熱式聲矢量傳感器的敏感機理、敏感元件的結(jié)構(gòu)設(shè)計、敏感元件加工、檢測電路及測試方法上取得了豐碩成果。在團隊的不懈努力下，聲矢量傳感器當前的技術(shù)指標已經(jīng)達到國際先進水平，該技術(shù)方向也成為微米納米加工技術(shù)全國實驗室的重點研究方向之一。

高成臣是一名中共黨員，作為學校中的教授級高級工程師，他不僅要完成好作為工程團隊負責人的目標，更要做好學生的立德樹人工作，在言傳身教中做學生的榜樣。面對學生在科研攻關(guān)和上手工程時所出現(xiàn)的困難，高成臣不僅手把手地引導學生從困境中走出，更注重在精神上鼓勵學生樹立克服困難的勇氣和決心，作“目標遠大，腳踏實地”的科研人才。

“北大的學生們都是好樣的，我非常滿意，我們的合作單位也經(jīng)常對北大的同學贊不絕口。我希望能在日常的言傳身教中把愛國的情懷傳承下去。”如今，已近花甲之年的高成臣仍帶領(lǐng)著朝氣蓬勃的年輕人在攻克高端傳感器難題的道路上奮勇拼搏，力爭為突破“卡脖子”技術(shù)、推動我國傳感器的研發(fā)工作作出更大的貢獻。

審核編輯：劉清