濕電子化學(xué)品屬于電子化學(xué)品領(lǐng)域的一個(gè)分支,是微電子、光電子濕法工藝制程(主要包括濕法蝕刻、清洗、顯影、互聯(lián)等)中使用的各種液體化工材料,主體成分純度大于99.99%,雜質(zhì)顆粒粒徑低于 0.5μm,金屬雜質(zhì)含量低于 ppm 級的化學(xué)試劑,其純度和潔凈度對電子元器件的成品率、電性能和可靠性有十分重要的影響。
半導(dǎo)體制造用濕電子化學(xué)品用量雖小,但生產(chǎn)技術(shù)要求最高,產(chǎn)品純度、雜質(zhì)含量等要求也是最高。目前半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品市場主要由歐美及日本頂尖化工企業(yè)如巴斯夫、默克、霍尼韋爾、三菱化學(xué)、住友化學(xué)、京都化工等所占據(jù)。國內(nèi)生產(chǎn)濕電子化學(xué)品的企業(yè)中產(chǎn)品達(dá)到國際標(biāo)準(zhǔn)且具有一定生產(chǎn)量的企業(yè)有30多家,但整體市場份額較小。
地區(qū) | 企業(yè) | 企業(yè)情況 |
歐美 | BASF | 德國BASF為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和顯示面板行業(yè)生產(chǎn)提供電子化學(xué)品產(chǎn)品,是電子化學(xué)品行業(yè)的領(lǐng)先供應(yīng)商 |
霍尼韋爾 | 美國霍尼韋爾能夠提供氫氟酸、氫氧化銨、過氧化氫和鹽酸等高純度濕電子化學(xué)品 | |
默克 | 德國默克能夠?yàn)榫A加工領(lǐng)域提供高純濕電子化學(xué)品解決方案 | |
英特格 | 美國英特格是半導(dǎo)體和其他高科技行業(yè)的先進(jìn)材料和工藝解決方案的供應(yīng)商 | |
日本 | 關(guān)東化學(xué) | 日本關(guān)東化學(xué)主要從事半導(dǎo)體用酸堿類超凈高純試劑的生產(chǎn)、研發(fā) |
三菱化學(xué) | 日本三菱化學(xué)主要生產(chǎn)高純濕電子化學(xué)品,如硫酸、硝酸、鹽酸、草酸、雙氧水、氨水 | |
住友化學(xué) | 日本住友化學(xué)主要從事半導(dǎo)體、顯示面板等領(lǐng)域超凈高純試劑的生產(chǎn)、研發(fā) | |
Stella | 日本Stella主要從事半導(dǎo)體及顯示面板用高純氫氟酸生產(chǎn) | |
中國臺灣地區(qū) | 東應(yīng)化 | 臺灣東應(yīng)化主要生產(chǎn)半導(dǎo)體、TFT-LCD用剝離液、顯影液等產(chǎn)品 |
聯(lián)仕 | 臺灣聯(lián)仕擁有3-4萬噸濕電子化學(xué)品年產(chǎn)能,在我國半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域中有一定市場份額 | |
韓國 | 東友 | 韓國東友、韓國東進(jìn)兩廠家主要生產(chǎn)顯示面板加工用的濕電子化學(xué)品,在我國有一定規(guī)模的市場份額 |
東進(jìn) | / | |
Soul-brain | 韓國Soul-brain是大型氫氟酸生產(chǎn)廠商 | |
中國大陸 | 江化微 | 江化微主營業(yè)務(wù)為超凈高純試劑、光刻膠配套試劑等濕電子化學(xué)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。主要產(chǎn)品為氫氟酸、剝離液等 |
中巨芯 | 中巨芯是國內(nèi)領(lǐng)先的電子化學(xué)品供應(yīng)商,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面板以及光伏等領(lǐng)域的清洗、蝕刻、成膜等制造工藝環(huán)節(jié) | |
晶瑞電材 | 晶瑞電材生產(chǎn)的主要品種包括氫氟酸、雙氧水、氨水、鹽酸、硫酸、硝酸等 | |
格林達(dá) | 格林達(dá)是一家專業(yè)從事高純電子化學(xué)品研發(fā)、生產(chǎn)和服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè),是全球主要的顯影液TMAH生產(chǎn)商之一 | |
上海新陽 | 上海新陽主要從事電子電鍍與電子清洗系列功能性化學(xué)材料的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售 | |
飛凱材料 | 飛凱材料從光通信領(lǐng)域紫外固化材料的自主研發(fā)和生產(chǎn)開始,目前已將核心業(yè)務(wù)范圍逐步拓展至集成電路制造、屏幕顯示等領(lǐng)域 | |
新宙邦 | 新宙邦是領(lǐng)先的電子化學(xué)品和功能材料企業(yè),產(chǎn)品主要有鋰電池化學(xué)品、電容器化學(xué)品、有機(jī)氟化學(xué)品、半導(dǎo)體化學(xué)品以及LED封裝材料等 | |
湖北興福 | 湖北興福產(chǎn)品種類由最初的電子級磷酸拓展到電子級硫酸、電子級硝酸、電子級鹽酸、電子級雙氧水、電子級氨水等 | |
江陰潤瑪 | 江陰潤瑪主要從事超凈高純試劑的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,主要產(chǎn)品有氫氟酸、硝酸、蝕刻液等 |
表全球及中國主要的濕電子化學(xué)品供應(yīng)商
國產(chǎn)化率方面,以集成電路行業(yè)為例,目前國內(nèi)6吋及以下晶圓加工所用的濕電子化學(xué)品的國產(chǎn)化率已經(jīng)超過80%。8吋晶圓產(chǎn)品加工所用的濕電子化學(xué)品國產(chǎn)化率正在不斷提升,而12吋晶圓產(chǎn)品所用的濕電子化學(xué)品國產(chǎn)化率非常低,8英寸及以上整體僅20%。
新建晶圓廠提升濕電子化學(xué)品需求,未來中國大陸產(chǎn)能占全球超三分之一
亞化咨詢數(shù)據(jù)顯示,截止2023年底,國內(nèi)運(yùn)行中的8英寸晶圓產(chǎn)線共32條,合計(jì)實(shí)際產(chǎn)能約140萬片/月;12英寸產(chǎn)線共45條,合計(jì)實(shí)際產(chǎn)能約150-160萬片/月。
亞化咨詢資料顯示,目前多數(shù)Fab項(xiàng)目仍然在建設(shè)及擴(kuò)產(chǎn)中,或處于初期產(chǎn)能爬升階段,以中芯國際、華虹、晶合集成等全球前十晶圓代工企業(yè),以及國內(nèi)頭部存儲芯片企業(yè)長江存儲、合肥長鑫為代表的正在進(jìn)入國際先進(jìn)制程,且預(yù)計(jì)未來擴(kuò)產(chǎn)幅度仍保持領(lǐng)先,中國芯片自主制造已成進(jìn)行時(shí)。此外,臺積電、海力士、三星為代表的外資晶圓廠以及華潤微、士蘭微等其他本土晶圓廠也將持續(xù)擴(kuò)產(chǎn)。
未來中國大陸將成為全球產(chǎn)能增速最快、產(chǎn)量最高地區(qū),8、12英寸產(chǎn)能全球占比均在20%-25%范圍,預(yù)計(jì)2026年國內(nèi)本土芯片廠的12英寸名義產(chǎn)能接近400萬片/月,產(chǎn)能利用率仍待考察,預(yù)計(jì)在240萬片/月。同理,根據(jù)目前國內(nèi)8英寸晶圓廠投產(chǎn)、在建及規(guī)劃中項(xiàng)目,預(yù)計(jì)到2026年將達(dá)到每月170萬片/月晶圓。
按制程來看,國內(nèi)晶圓廠在汽車產(chǎn)業(yè)等大量需要28納米以上之成熟制程半導(dǎo)體,目前已占全球生產(chǎn)能力之29%,僅次于中國臺灣地區(qū)之49%,預(yù)計(jì)2027年中國大陸占比將增加至33%。
僅集成電路行業(yè)來看,受益于國內(nèi)晶圓廠的持續(xù)擴(kuò)產(chǎn),亞化咨詢預(yù)計(jì)到2026年,中國集成電路用濕電子化學(xué)品需求量將超過110萬噸。
此外,顯示面板產(chǎn)能向大陸轉(zhuǎn)移、新型顯示技術(shù)的發(fā)展以及光伏需求持續(xù)上升的影響,相關(guān)領(lǐng)域濕電子化學(xué)品市場規(guī)模也快速增長、增速將遠(yuǎn)高于全球。
審核編輯:劉清
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原文標(biāo)題:中國大陸晶圓產(chǎn)能占全球三分之一,提升濕電子化學(xué)品需求
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