本文簡單介紹了碳化硅舟的概念、制作工藝以及不能用干法清洗的原因。

爐管中的SiC boat為什么不能dry clean？

什么是SiC boat？

SiC boat，即碳化硅舟。碳化硅舟是用在爐管中，裝載載晶圓進(jìn)行高溫處理的耐高溫配件。由于碳化硅材料具有耐高溫、抗化學(xué)腐蝕和良好的熱穩(wěn)定性等特性，它被廣泛用于各種熱處理過程，如擴(kuò)散、氧化、CVD、退火等。

SiC boat有幾種不同的制作工藝？

1，在石墨晶舟表面CVD一層SiC薄膜。

該種類型的舟主體是石墨，一體加工成型。但是石墨多孔，容易產(chǎn)生顆粒，必須在石墨晶舟表面涂敷一層SiC薄膜，由于石墨體和SiC薄膜之間的 CTE(熱膨脹系數(shù)）不匹配，SiC薄膜通常在多次升降溫使用后容易剝落，導(dǎo)致顆粒的產(chǎn)生。這種舟最便宜，使用壽命在一年左右。

2，在重結(jié)晶的SiC晶舟上CVD一層SiC薄膜。

重結(jié)晶的SiC晶舟是多孔的，也易產(chǎn)生顆粒，因此需要將重結(jié)晶的SiC晶舟的幾個(gè)單元部件先預(yù)先成型、燒結(jié)，然后分別加工，之后將各個(gè)單元部件在高溫下以Si膏粘合，粘合成一晶舟之后再CVD涂覆SiC薄膜。 這種重結(jié)晶SiC晶舟制造流程最長，成本高，但是表面的CVD涂層也會(huì)損壞，壽命在3年左右。

3，一體成型的SiC晶舟

該晶舟整體都是由SiC材料構(gòu)成。需要將SiC從粉末成形并燒結(jié)成一體式晶舟的相應(yīng)形狀。成本極高但是很耐用，不易產(chǎn)生顆粒。但是這種晶舟含有10~15％的游離硅，容易被F，Cl侵蝕，從而導(dǎo)致微粒。

為什么不能干法清洗？

綜上，用CVD鍍一層SiC薄膜的晶舟，在干法清洗時(shí)表面SiC涂層易脫落，造成顆粒；一體成型的SiC晶舟里有少量的游離硅，容易被含F(xiàn)，含Cl氣體侵蝕而產(chǎn)生顆粒，造成污染。

審核編輯：劉清