聲表面波（SAW）陀螺儀利用一種被稱為SAW陀螺效應的現(xiàn)象來測量旋轉(zhuǎn)角速度。由于簡化了傳統(tǒng)MEMS陀螺儀所需的懸浮振動機制，SAW陀螺儀非常適合在惡劣環(huán)境中應用。

據(jù)麥姆斯咨詢報道，近期，西北工業(yè)大學機電學院常洪龍教授團隊首次提出了一種使用聚焦叉指換能器（FIDT）的新型環(huán)形駐波模式SAW陀螺儀。傳統(tǒng)SAW陀螺儀使用線性IDT產(chǎn)生聲表面波，會導致波束偏轉(zhuǎn)和能量耗散，而該研究團隊使用FIDT根據(jù)結(jié)構(gòu)特征集中SAW能量，從而獲得更好的聚焦性能和增強的SAW振幅。實驗結(jié)果表明，該新型SAW陀螺儀的靈敏度為1.51 μV/(°/s)，零偏不穩(wěn)定性為0.77 °/s，與傳統(tǒng)SAW陀螺儀相比提高了一個數(shù)量級。因此，F(xiàn)IDT組件可以改善SAW陀螺儀的性能，展示了其在角速度測量方面的優(yōu)越性。這項研究工作為提高SAW陀螺儀的靈敏度等性能提供了新思路。相關(guān)研究成果以“A toroidal SAW gyroscope with focused IDTs for sensitivity enhancement”為題發(fā)表于Microsystems & Nanoengineering期刊上。

器件設計與仿真

如圖1a所示，基于壓電效應的SAW陀螺儀主要由FIDT、圓弧反射器、金屬柱和濺射在器件表面的電極構(gòu)成。FIDT是布置在壓電材料上的周期性間隔的金屬電極，可在交變電場和聲波之間提供有效的轉(zhuǎn)換。為了提高駐波產(chǎn)生的效率，研究人員在驅(qū)動FIDT的兩側(cè)設計了成對的反射器。金屬柱被布置在結(jié)構(gòu)的中心，并隨著駐波周期性地運動，這類似于MEMS陀螺儀的懸浮基準質(zhì)量塊的功能。外部角速度可通過感應FIDT檢測傳感方向上的次級SAW信號計算得出。為了更好地揭示駐波的形成原理，研究人員基于商業(yè)軟件COMSOL建立了SAW陀螺儀驅(qū)動結(jié)構(gòu)的有限元模型，仿真結(jié)果如圖1b所示。

圖1 新型環(huán)形SAW陀螺儀的工作原理

為了提高SAW陀螺儀的性能，研究人員設計了一種不同于傳統(tǒng)線性叉指換能器（LIDT）的驅(qū)動結(jié)構(gòu)，即聚焦叉指換能器（FIDT），如圖2a所示。在這項工作中，通過沿著SAW傳播路徑適當?shù)夭贾媒饘僦?，可有效地提高科里奧利（Coriolis）力，從而增強陀螺效應。如圖2b所示，金屬柱被布置在駐波的波腹處，并且間距是半波長的整數(shù)倍，以最大化振動速度。接著，研究人員對該FIDT進行了表征，結(jié)果如圖2c-2d所示。

圖2 聚焦叉指換能器（FIDT）特性

制造工藝及測量方案

器件結(jié)構(gòu)設計完成后，研究人員采用128° Y切絕緣體上薄膜鈮酸鋰（LNOI）晶圓，通過MEMS工藝來制造SAW器件。本研究中提出的SAW陀螺儀的詳細制造步驟如圖3a所示。圖3b顯示了SAW陀螺儀的顯微照片，其中FIDT、SAW反射器和金屬柱如圖3c和3d所示。

圖3 新型環(huán)形SAW陀螺儀制造工藝流程

完成環(huán)形SAW陀螺儀的制造后，可通過開環(huán)測試和閉環(huán)測試評估傳感器的響應特性。閉環(huán)測試示意圖如圖4a所示。實驗設置如圖4b所示。SAW陀螺儀芯片被貼裝在印刷電路板（PCB）上，其引腳與外部PCB連接，并由樹脂蓋覆蓋。該器件通過丙烯酸板與旋轉(zhuǎn)臺連接。通過PCB上的SMA連接器，信號可以傳輸?shù)酵獠績x器進行后續(xù)測量。旋轉(zhuǎn)臺控制器用于向環(huán)形SAW陀螺儀提供所需的旋轉(zhuǎn)速度。

圖4 SAW陀螺儀測試實驗原理

測試實驗結(jié)果

采用開環(huán)測試方案，可獲得不同輸入電壓下的幅頻曲線，如圖5a所示。圖5b顯示了SAW陀螺儀在閉環(huán)測試期間的特性。通過使用乘法器對傳感方向的信號進行調(diào)制，可獲得SAW陀螺儀的輸出幅值與其旋轉(zhuǎn)角速度之間的關(guān)系（圖5c）。從圖中可以看出，在± 300 °/s范圍內(nèi)，三次測試的靈敏度分別為1.47 μV/(°/s)、1.49 μV/(°/s)和1.59 μV/(°/s)。這些值之間的相對差異可能是由安裝的系統(tǒng)誤差和傳感器的隨機誤差引起的。該FIDT結(jié)構(gòu)的SAW陀螺儀的靈敏度平均約為1.51 μV/(°/s)，比LIDT結(jié)構(gòu)的SAW陀螺儀高出約一個數(shù)量級。被測SAW陀螺儀的艾倫（Allen）方差如圖5d所示。在靜態(tài)測試中，以5 Hz的采樣速率記錄了30分鐘的輸出信號，SAW陀螺儀的零偏不穩(wěn)定性為0.77 °/s，比基于LIDT結(jié)構(gòu)的SAW陀螺儀提高了約一個數(shù)量級。

圖5 新型環(huán)形SAW陀螺儀的性能

綜上所述，這項研究利用聚焦叉指換能器（FIDT）能夠集中SAW能量以提高振動幅值，首次提出并通過實驗驗證了一種基于駐波模式的環(huán)形SAW陀螺儀。實驗結(jié)果表明，該FIDT結(jié)構(gòu)的SAW陀螺儀的靈敏度為1.51?μV/(°/s)，零偏不穩(wěn)定性為0.77 °/s。與基于LIDT的SAW陀螺儀相比，本文所提出的環(huán)形SAW陀螺儀的靈敏度和零偏不穩(wěn)定性提高了一個數(shù)量級，這說明了FIDT組件的優(yōu)越性。根據(jù)理論分析結(jié)果，該FIDT結(jié)構(gòu)的機械靈敏度對其幾何參數(shù)和環(huán)境溫度有一定的依賴性，因此可通過優(yōu)化結(jié)構(gòu)的幾何參數(shù)或?qū)嵤囟妊a償來進一步提高SAW陀螺儀的靈敏度。本文所提出的SAW陀螺儀采用全固態(tài)結(jié)構(gòu)，沒有任何懸浮可移動元件，在未來地質(zhì)勘探和石油鉆井等惡劣環(huán)境中具有巨大潛力。

論文鏈接：
https://doi.org/10.1038/s41378-024-00658-9

審核編輯：劉清