蘇州敏芯微電子：氣流傳感器及封裝技術(shù)卓越
近期，蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司成功獲得了一項(xiàng)創(chuàng)新性的專利——“氣流傳感器及氣流傳感器封裝結(jié)構(gòu)”，該專利的授權(quán)公告號(hào)為CN116982758B，授權(quán)公告日期為2024年5月17日，申請(qǐng)日期為2023年9月26日。
此項(xiàng)專利發(fā)明了一種新型的氣流傳感器及其封裝結(jié)構(gòu)。該傳感器由基底、振動(dòng)電極和固定電極三部分組成，基底設(shè)有貫穿其厚度方向的背腔。此外，該傳感器還設(shè)有至少一個(gè)均壓結(jié)構(gòu)，并將其與間隙層進(jìn)行物理隔離，以確保在傳感器背腔與外部空間之間形成連續(xù)的流動(dòng)路徑。這樣做既能保證非工作狀態(tài)下，振動(dòng)電極兩側(cè)表面的壓力平衡，避免ASIC檢測(cè)到信號(hào)引發(fā)其他部件誤觸發(fā)；又能防止污染物從均壓孔進(jìn)入，降低產(chǎn)品失效率。
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