晶圓級封裝是一種先進(jìn)的半導(dǎo)體封裝技術(shù),被廣泛應(yīng)用在存儲(chǔ)器、傳感器、電源管理等對尺寸和成本要求較高的領(lǐng)域中。在這些領(lǐng)域中,這種技術(shù)能夠滿足現(xiàn)代對電子設(shè)備的小型化、多功能、低成本需求,為半導(dǎo)體制造商提供了創(chuàng)新的解決方案,更好地應(yīng)對市場的需求和挑戰(zhàn)。
晶圓級封裝技術(shù)有兩種不同的封裝方式,一種是扇入型封裝,一種是扇出型封裝。下面我們就來深入探討一下這兩種不同封裝方式的特點(diǎn)和對應(yīng)的封裝工藝。
扇入型晶圓級封裝(FIWLP)
小尺寸芯片的互聯(lián)
直接在晶圓上進(jìn)行大部分或全部的封裝、測試程序,然后再進(jìn)行安裝焊球并切割,從而產(chǎn)出一顆顆的IC成品單元。該種方式適用于I/O數(shù)量相對較少的芯片,因?yàn)槠淇臻g受限于芯片尺寸,相對來說減少了工藝成本。
工藝流程
從晶圓代工廠(Foundry)生產(chǎn)完成的晶圓(Wafer)經(jīng)過測試后進(jìn)入生產(chǎn)線
為了將晶圓上的接口(I/O)引出至方便焊接的位置,在晶圓上通過金屬布線工藝制作再布線層(RDL)
為使芯片成品更輕薄,對晶圓進(jìn)行減薄加工
之后在再布線層(RDL)所連接的金屬焊盤上進(jìn)行植球,方便后續(xù)芯片在印刷電路板(PCB)上的焊接,最后將晶圓進(jìn)行切割,以得到獨(dú)立的芯片
芯片產(chǎn)品通過最終測試后,即可出廠成為芯片成品
扇出型晶圓級封裝(FOWLP)
高性能芯片的擴(kuò)展
扇出型晶圓級封裝技術(shù)無需使用中介層或硅通孔(TSV),即可實(shí)現(xiàn)外形尺寸更小芯片的封裝異構(gòu)集成。在扇出型晶圓級封裝技術(shù)的加持下,具有成千上萬I/O點(diǎn)的半導(dǎo)體器件可通過兩到五微米間隔線實(shí)現(xiàn)無縫連接,從而使互連密度最大化。
工藝流程
從晶圓代工廠(Foundry)生產(chǎn)完成的晶圓(Wafer)經(jīng)過測試后進(jìn)入生產(chǎn)線類似傳統(tǒng)封裝,扇出型封裝第一步也需要將來料晶圓切割成為裸晶。
扇出型封裝的主要特點(diǎn)是將切割后的裸晶組合成為重構(gòu)晶圓,與來料晶圓相比,重構(gòu)晶圓上裸晶之間的距離相對更大,因此方便構(gòu)造單位面積更大,輸入輸出(I/O)更多的芯片成品。
塑封、去除載片:完成重構(gòu)晶圓的貼片后,對重構(gòu)晶圓進(jìn)行塑封以固定和保護(hù)裸晶。然后將重構(gòu)晶圓載片移除,從而將裸晶對外的輸入輸出接口(I/O)露出。
制作再布線層:為了將裸晶上的接口(I/O)引出至方便焊接的位置,在晶圓上通過金屬布線工藝制作再布線層(RDL)。
晶圓減?。簽槭剐酒善犯p薄,對晶圓進(jìn)行減薄加工。
植球:在再布線層(RDL)所連接的金屬焊盤上進(jìn)行植球,方便后續(xù)芯片在印刷電路板(PCB)上的焊接。
晶圓切割、芯片成品:最后將重構(gòu)晶圓進(jìn)行切割,以得到獨(dú)立的芯片。
隨著技術(shù)的發(fā)展,這兩種晶圓級封裝方式也在不斷創(chuàng)新和優(yōu)化,以滿足日益增長的性能和市場需求。長電科技在提供全方位的晶圓級技術(shù)解決方案平臺方面處于行業(yè)領(lǐng)先地位,提供的解決方案包括扇入型晶圓級封裝(FIWLP)、扇出型晶圓級封裝(FOWLP)、集成無源器件(IPD)、硅通孔(TSV)、包封芯片封裝(ECP)、射頻識別(RFID)。
長電科技是全球領(lǐng)先的集成電路制造和技術(shù)服務(wù)提供商,提供全方位的芯片成品制造一站式服務(wù),包括集成電路的系統(tǒng)集成、設(shè)計(jì)仿真、技術(shù)開發(fā)、產(chǎn)品認(rèn)證、晶圓中測、晶圓級中道封裝測試、系統(tǒng)級封裝測試、芯片成品測試并可向世界各地的半導(dǎo)體客戶提供直運(yùn)服務(wù)。
通過高集成度的晶圓級(WLP)、2.5D/3D、系統(tǒng)級(SiP)封裝技術(shù)和高性能的倒裝芯片和引線互聯(lián)封裝技術(shù),長電科技的產(chǎn)品、服務(wù)和技術(shù)涵蓋了主流集成電路系統(tǒng)應(yīng)用,包括網(wǎng)絡(luò)通訊、移動(dòng)終端、高性能計(jì)算、車載電子、大數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、人工智能與物聯(lián)網(wǎng)、工業(yè)智造等領(lǐng)域。長電科技在中國、韓國和新加坡設(shè)有六大生產(chǎn)基地和兩大研發(fā)中心,在20多個(gè)國家和地區(qū)設(shè)有業(yè)務(wù)機(jī)構(gòu),可與全球客戶進(jìn)行緊密的技術(shù)合作并提供高效的產(chǎn)業(yè)鏈支持。
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原文標(biāo)題:科普進(jìn)階 | 扇入型和扇出型晶圓級封裝有什么不同?
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一文詳解扇出型晶圓級封裝技術(shù)

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