半導(dǎo)體工藝一般會產(chǎn)生各種工藝氣體和顆粒材料副產(chǎn)品, 有害氣體需要以受控方式進行處理. 上海伯東日本 Atonarp Aston 質(zhì)譜分析儀與Scrubber半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備聯(lián)用, 對處理完的氣體在線監(jiān)測分析, 并對分析數(shù)據(jù)進行監(jiān)控和記錄, 使其符合環(huán)境法規(guī).

上海伯東Aston? 質(zhì)譜分析儀半導(dǎo)體尾氣檢測解決方案
Aston 質(zhì)譜儀與半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備排氣端相連, 半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備 Scrubber排出的氣體先經(jīng)過水洗塔內(nèi)進行噴淋水洗溶解, 帶走一些毒性腐蝕性排放物, 然后在使用 Aston 進行剩余氣體檢測和分析, 主要檢測 N2O 濃度等, 使其符合國際減排指標(biāo).

使用Aston? 質(zhì)譜分析儀優(yōu)勢
體積小, 便于攜帶, 整機重量僅 13.7 KG
與 GCMS 測試對比, 時時檢測, 不用特別取樣, 實現(xiàn)快速地減排氣體監(jiān)測
可以根據(jù)進入的廢氣濃度和測量的排放氣體數(shù)據(jù), 記錄日志
能夠承受嚴(yán)酷的 PFC 和酸性 (如 HF 和 HCl ）氣體
低至 PPB 水平的靈敏度

Aston質(zhì)譜儀技術(shù)參數(shù)

	質(zhì)量分辨率	0.8 u
	質(zhì)量穩(wěn)定性	0.1 u
	靈敏度(FC / SEM)	5x10-6/ 5x10-4A/Torr
	檢測極限	10 ppb
	最大工作壓力	1X10-3torr
	每單位停留時間	40 ms
	每單位掃描更新率	37 ms
	發(fā)射電流	0.4 mA
	發(fā)射電流精度	0.05%
	啟動時間	5 mins
	離子電流穩(wěn)定性	< ±1%
	濃度的準(zhǔn)確性	< 1%
	濃度穩(wěn)定性	±0.5%
	電力消耗	350W
	重量	13.7 Kg
	尺寸	400 x 297 x 341 mm

Aston? 是一款全新設(shè)計堅固耐用的緊湊型在線質(zhì)譜儀, 適用于半導(dǎo)體制造和工業(yè)過程控制應(yīng)用中氣體監(jiān)測和控制, 高定量精度和實時性與生產(chǎn)穩(wěn)健性和可靠性相結(jié)合, 例如半導(dǎo)體 dry pump 尾氣偵測分析, 實現(xiàn)在線監(jiān)控, 診斷.

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