以下文章來源于Tom聊芯片智造，作者Tom

知識(shí)星球(星球名：芯片制造與封測技術(shù)社區(qū)，星球號(hào)：63559049)里的學(xué)員問：在PVD鍍膜中，可以看到工藝腔室中發(fā)出各種顏色的光，請(qǐng)問原理是什么?

什么是等離子體?

等離子體，英文名稱plasma，是物質(zhì)的第四態(tài)，其他三態(tài)有固態(tài)，液態(tài)，氣態(tài)。在半導(dǎo)體領(lǐng)域一般是氣體被電離后的狀態(tài)，又被稱為‘電漿’，具有帶電性和流動(dòng)性的特點(diǎn)。

等離子體的組成?1，電子：等離子體中通常包含大量自由電子，自由電子是等離子體的主要組成部分，能夠引發(fā)氣體的電離。

2，離子：等離子體中存在正離子和負(fù)離子，例如Ar氣在電子轟擊下會(huì)失去一個(gè)電子，形成Ar+^+，Cl2_22分子通過獲得電子形成Cl?^-。

3，自由基：自由基是等離子體中化學(xué)活性很高的中性粒子，自由基可以與材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，用于清洗、刻蝕等工藝。

4，光子：體現(xiàn)在我們看到的不同顏色的光線。

5，中性粒子：指的是未電離的氣體分子，它們?cè)诘入x子體中不會(huì)受到電場的直接作用。中性粒子可以與其他自由基或離子發(fā)生碰撞，并參與化學(xué)反應(yīng)，

等離子體為什么會(huì)發(fā)光?

高能電子與氣體分子發(fā)生碰撞時(shí)，會(huì)將一部分能量傳遞給原子，使其內(nèi)部的電子躍遷到更高能級(jí)的激發(fā)態(tài)。激發(fā)態(tài)的分子會(huì)在極短的時(shí)間內(nèi)回到較低的能級(jí)。在返回的過程中，它們會(huì)釋放出多余的能量。這種能量釋放是以光子的形式發(fā)出，這些光子具有特定的波長，因此具有特定的顏色。