隨著MEMS技術(shù)的蓬勃發(fā)展,MEMS壓力傳感器已滲透到工業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)療健康、消費(fèi)電子及航空航天等多個(gè)關(guān)鍵領(lǐng)域。當(dāng)前,市面上主流的MEMS壓力傳感器分為硅壓阻式和硅電容式兩大類,它們均是在微小硅片上精心構(gòu)建的機(jī)械電子傳感器。
硅壓阻式壓力傳感器的特點(diǎn):高精度、低成本、低功耗
硅壓阻式壓力傳感器采用高精密半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片構(gòu)建惠斯頓電橋,作為其核心的力電轉(zhuǎn)換測(cè)量電路。這一設(shè)計(jì)不僅賦予了傳感器高精度及低成本的顯著優(yōu)勢(shì),還使得傳感器在無(wú)壓力變化時(shí)幾乎不產(chǎn)生輸出,從而實(shí)現(xiàn)了極低的能耗。
其小巧的結(jié)構(gòu)、輕盈的重量以及易于集成的特性,使它被廣泛應(yīng)用在各種場(chǎng)景中。并且,該傳感器具備超高的靈敏度和分辨率,能夠精準(zhǔn)捕捉并測(cè)量微小的壓力變化,滿足了對(duì)精度要求極高的檢測(cè)需求,受到市場(chǎng)的青睞。
APR5852硅壓阻式壓力傳感器
方便集成更換
奧松電子,在MEMS領(lǐng)域深耕20余年,自主研發(fā)制造了APR5852系列硅壓阻式差壓傳感器,集成了專用的 MCU 芯片和利用 MEMS 技術(shù)加工的尖端的硅微結(jié)構(gòu)壓力傳感器芯片,其獨(dú)特的針腳式連接器與雙列直插封裝設(shè)計(jì),可以直接安裝在標(biāo)準(zhǔn)的PCB 板上,方便用戶集成與更換。
多種量程及輸出方式選擇
APR5852 系列產(chǎn)品擁有-1kPa~1kPa和-10kPa~10kPa兩種量程可供選擇,在數(shù)據(jù)輸出上表現(xiàn)出色。經(jīng)過(guò)傳感器精準(zhǔn)轉(zhuǎn)換及電路高效放大的壓力值,可選擇以模擬電壓的形式直接輸出,或通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的ⅡC通信接口輕松讀取數(shù)據(jù)。無(wú)論是精度還是長(zhǎng)期穩(wěn)定性,都達(dá)到了行業(yè)先進(jìn)水平。
多點(diǎn)壓力標(biāo)定、具有溫度補(bǔ)償
APR5852硅壓阻式壓力傳感器,擁有大范圍的溫度補(bǔ)償,以及調(diào)節(jié)差動(dòng)放大器的增益來(lái)校正傳感器的壓力靈敏度變化,可實(shí)現(xiàn)多階壓力、溫度非線性修正。每一個(gè)傳感器的出廠都經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的校準(zhǔn)和測(cè)試,保障并滿足客戶的大規(guī)模應(yīng)用。
APR5852系列產(chǎn)品適用于無(wú)腐蝕的氣體,被廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、智能家電、醫(yī)療、汽車、工業(yè)自動(dòng)化、氣象等領(lǐng)域,例如:氣流監(jiān)測(cè)儀、暖通空調(diào)、通風(fēng)設(shè)備、醫(yī)療器械(呼吸機(jī)、監(jiān)護(hù)儀)、胎壓計(jì)、風(fēng)速和泄漏探測(cè)等產(chǎn)品。
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原文標(biāo)題:硅壓阻式MEMS差壓傳感器精度高、體積小、性能穩(wěn)定
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