近日，江蘇省召開了全省科技大會暨科學技術(shù)獎勵大會，公布了2023年度江蘇省科學技術(shù)獎。由敏芯股份、東南大學以及中國電子科技集團共同完成的“高性能諧振式硅基MEMS慣性傳感器關(guān)鍵技術(shù)及應用”項目榮獲江蘇省科學技術(shù)三等獎。

江蘇省科學技術(shù)獎由省人民政府設(shè)立，是江蘇省科技領(lǐng)域的最高獎項，主要獎勵在技術(shù)發(fā)明、技術(shù)開發(fā)、重大工程建設(shè)、科學技術(shù)成果推廣轉(zhuǎn)化、高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化、社會公益等方面取得顯著經(jīng)濟效益或社會效益的科技項目，每一項獲獎成果都代表了其所在領(lǐng)域的頂尖水平。

MEMS傳感器具有體積小、功耗低、一致性高、成本低等特點，為智能設(shè)備的發(fā)展奠定了重要的技術(shù)基礎(chǔ)。國家“十三五”規(guī)劃提出制造強國戰(zhàn)略，“十四五”規(guī)劃正式提出打造數(shù)字經(jīng)濟新優(yōu)勢，MEMS傳感器作為“卡脖子”領(lǐng)域的核心技術(shù)，對于數(shù)字經(jīng)濟的推動作用愈發(fā)重要。

高性能諧振式硅基MEMS慣性傳感器代表了MEMS技術(shù)在慣性傳感領(lǐng)域的最新發(fā)展成果，這種技術(shù)革新提高了傳感器的性能并降低了生產(chǎn)成本。其采用諧振式工作原理，結(jié)合硅基材料的高精度加工技術(shù)，實現(xiàn)了對物體運動狀態(tài)的高精度感知和測量，在無人機、電動汽車、智能機器人等需要高精度導航和姿態(tài)控制的領(lǐng)域具有廣泛的應用前景。

本項目突破了高性能MEMS慣性傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計、多回路全閉環(huán)式低噪聲測控電路、傳感器先進封裝技術(shù)、慣性測量誤差在線自補償技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，自主研制成功高性能諧振式硅基MEMS慣性傳感器。

此次獲獎不僅是對創(chuàng)新成果的肯定，更是對未來的期許與鞭策，公司將繼續(xù)堅持創(chuàng)新戰(zhàn)略，向高精度、集成化、多領(lǐng)域發(fā)展，加大科研投入，強化技術(shù)壁壘，攻克關(guān)鍵難題，為客戶提供更多高性能傳感器產(chǎn)品。