在剛剛結(jié)束的2024 第九屆 “創(chuàng)客中國(guó)” 中小企業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽中，青島芯笙微納電子科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱：青島芯笙公司）做為青島唯一、山東唯二的企業(yè)，從全國(guó)3.5萬(wàn)個(gè)大賽參賽入庫(kù)項(xiàng)目、5009個(gè)專精特新企業(yè)、785個(gè)專精特新“小巨人”企業(yè)中脫穎而出，入圍前50強(qiáng)，并榮獲三等獎(jiǎng)。

一、創(chuàng)客中國(guó)，榮耀綻放

“創(chuàng)客中國(guó)”中小企業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽是工業(yè)和信息化部與財(cái)政部聯(lián)合主辦的大賽。旨在圍繞產(chǎn)業(yè)鏈，部署創(chuàng)新鏈，配置資金鏈，已成為全國(guó)具有廣泛影響力的大型賽事之一。歷年來(lái)，諸多優(yōu)秀企業(yè)和創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)通過(guò)“創(chuàng)客中國(guó)”創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽展現(xiàn)實(shí)力，從而得到了能力提升、社會(huì)認(rèn)可和政策支持，實(shí)現(xiàn)了快速的成長(zhǎng)和發(fā)展。

在第九屆 “創(chuàng)客中國(guó)” 中小企業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽中，青島芯笙公司在青島市決賽中獲得一等獎(jiǎng)，在全國(guó)總決賽中斬獲三等獎(jiǎng)。其參賽項(xiàng)目“半導(dǎo)體核心零部件：氣體流量測(cè)控技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化”，以自主開(kāi)發(fā)為基礎(chǔ)，研制高端氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）產(chǎn)品，滿足半導(dǎo)體制造過(guò)程對(duì)高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性以及快速響應(yīng)的嚴(yán)格要求，保證半導(dǎo)體工藝過(guò)程準(zhǔn)確性和產(chǎn)品一致性。該產(chǎn)品為國(guó)內(nèi)首款基于全國(guó)產(chǎn)品技術(shù)的高端MFC，其國(guó)產(chǎn)化對(duì)于打破半導(dǎo)體裝備核心零部件的關(guān)鍵技術(shù)壁壘，對(duì)促進(jìn)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重大意義。

此次獲獎(jiǎng)，充分展示了青島芯笙公司卓越的研發(fā)實(shí)力和創(chuàng)新能力，也彰顯了基于自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的國(guó)產(chǎn) MFC在行業(yè)的引領(lǐng)地位和產(chǎn)業(yè)的認(rèn)可。

二、筑牢根基，持續(xù)創(chuàng)新

青島芯笙公司，孵化自山東大學(xué)，是一家致力于高端氣體流量測(cè)控技術(shù)的國(guó)家高新科技企業(yè)，目標(biāo)成為全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體零部件供應(yīng)商。其核心團(tuán)隊(duì)來(lái)自新加坡科技局、德國(guó) KIT理工學(xué)院、中國(guó)科學(xué)院、清華大學(xué)、同濟(jì)大學(xué)、山東大學(xué)等國(guó)內(nèi)外重點(diǎn)科研機(jī)構(gòu)，掌握核心流量傳感芯片、模組、算法、系統(tǒng)集成等全鏈條自主核心技術(shù)。

自2020年成立以來(lái)，青島芯笙公司針對(duì)半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室、泛半導(dǎo)體、分析儀行業(yè)分別推出極具性價(jià)比的S700、S500、S300、UT等系列產(chǎn)品，解決國(guó)家在關(guān)鍵零部件領(lǐng)域卡脖子技術(shù)問(wèn)題，在諸多領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化替代。經(jīng)過(guò)多年發(fā)展，公司已形成完備的研發(fā)和制造能力，同時(shí)建研發(fā)車間 800 平米，制造車間 4000 平米，以及 100 余臺(tái)流量校準(zhǔn)設(shè)備，累計(jì)投入超過(guò)8000萬(wàn)元。公司具有 ISO9001、ISO14001 等品質(zhì)管理和制造認(rèn)證，能夠確保產(chǎn)品的品質(zhì)和制造的規(guī)范化。

目前，青島芯笙公司自主申請(qǐng)專利 30余項(xiàng)，國(guó)家一級(jí)計(jì)量證書 50 余項(xiàng)。在國(guó)家技術(shù)攻關(guān)領(lǐng)域，公司承擔(dān)了科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃 項(xiàng)目3項(xiàng)、山東省重大科技創(chuàng)新工程項(xiàng)目1 項(xiàng)、青島市關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)項(xiàng)目1項(xiàng)。此外，公司建有 “青島芯笙 - 山東大學(xué)傳感器測(cè)控聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室”、“青島市氣體流量測(cè)控技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”、“專家工作站” 等多個(gè)研發(fā)平臺(tái)。這些成果和平臺(tái)為公司的技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā)提供了有力保障。

三、全新產(chǎn)品，對(duì)標(biāo)國(guó)際一流

近日，青島芯笙公司在氣體質(zhì)量流量控制器方面取得重大突破，攻克了長(zhǎng)期以來(lái)阻礙國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體級(jí)MFC發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)壁壘，成功開(kāi)發(fā)出基于高速壓電比例閥的半導(dǎo)體級(jí) MFC 產(chǎn)品。這一突破對(duì)于我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展至關(guān)重要，目前國(guó)內(nèi)主流的MFC產(chǎn)品采用傳統(tǒng)的電磁比例閥技術(shù)，性能參數(shù)差，產(chǎn)品力不足，無(wú)法滿足半導(dǎo)體行業(yè)高精度、高可靠性、快速響應(yīng)的需求。而日本Horiba、美國(guó)MKS、荷蘭Bronkhorst等業(yè)內(nèi)龍頭企業(yè)已然推出基于壓電比例閥的半導(dǎo)體級(jí)MFC產(chǎn)品。相較而言，壓電比例閥響應(yīng)快，控制精度高，能夠?qū)崿F(xiàn)氣體流量的快速調(diào)整，滿足半導(dǎo)體制造過(guò)程對(duì)快速響應(yīng)的要求。同時(shí)，壓電比例閥功耗和熱噪聲低，減少了能源消耗和對(duì)環(huán)境的影響。

為滿足不同應(yīng)用需求，青島芯笙公司為新產(chǎn)品匹配了兩種版本：DF500和S700。其中，DF500采用層流差壓技術(shù)方案，在控制范圍和小流量精度更有優(yōu)勢(shì)；S700采用毛細(xì)管熱式技術(shù)方案，具有更寬的量程選擇和工作溫度。兩種版本均采用了國(guó)際領(lǐng)先的高速壓電比例閥和SEMI標(biāo)準(zhǔn)材質(zhì)，并配備了壓力不敏感（PI）技術(shù)和公司最新研發(fā)的自適應(yīng)動(dòng)態(tài)控制算法，可在全量程流量范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高精度快速控制，完美適配 7nm、14nm 及以上工藝節(jié)點(diǎn)的 Etch、ALD、CVD 等半導(dǎo)體工藝設(shè)備。

四、任重道遠(yuǎn)，揚(yáng)帆破浪

在半導(dǎo)體級(jí)MFC這個(gè)賽道上，我國(guó)研究起步較晚，技術(shù)和產(chǎn)品受制于西方國(guó)家，嚴(yán)重威脅著我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的鏈條完整性和安全性。目前，青島芯笙公司在避開(kāi)國(guó)外專利的情況下，實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破，已經(jīng)完成了從0到1的難題，接下來(lái)是如何更好地實(shí)現(xiàn)從1到100的躍升。

“創(chuàng)客中國(guó)” 創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽的殊榮是對(duì)青島芯笙公司前期成果的肯定，也象征著國(guó)內(nèi)技術(shù)水平的提升。然而，“任重道遠(yuǎn)須策馬，風(fēng)正潮平好揚(yáng)帆”，未來(lái)，青島芯笙公司將繼續(xù)發(fā)揮自身優(yōu)勢(shì)，提高自身在全球高科技領(lǐng)域中的競(jìng)爭(zhēng)力，為中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的健康發(fā)展貢獻(xiàn)一份力量。

審核編輯 黃宇