在半導體制造的復雜工藝中，超純試劑和超純氣體是保障晶圓表面清潔與蝕刻精度的核心材料。然而，痕量金屬雜質(zhì)如Fe、Cu、Na等卻成為制約晶圓廠良率提升的關(guān)鍵因素。

季豐電子CA實驗室以領(lǐng)先的技術(shù)優(yōu)勢，可助力晶圓廠攻克這一難題，為客戶提供專業(yè)的超純試劑與氣體管道金屬雜質(zhì)檢測服務。

一半導體制造中的檢測需求

1超純試劑的關(guān)鍵作用

● SC1、BOE、DHF等超純試劑被廣泛用于清潔和蝕刻硅片表面，去除顆粒、氧化層以及金屬化污染物，確保硅片表面疏水性的形成。

● 精準的配比與痕量金屬檢測是提升制程良率的重要保障。

2超純氣體的核心價值

● 氮氣作為惰性吹掃氣體，保護硅片免受活性氧和水分的影響。

● 微量金屬雜質(zhì)對半導體器件性能與可靠性造成顯著影響。

二CA實驗室的技術(shù)優(yōu)勢

1專業(yè)的樣品前處理方式

● 純凈度保障：避免引入額外雜質(zhì)。

● 多種前處理手段：如直接進樣、稀釋進樣、超純水稀釋等，針對不同樣品需求提供精準處理方案。

2高靈敏度檢測技術(shù)

● 安捷倫ICP-MS/MS & ICP-OES設備：

● ppb甚至ppt級別的檢測限，精準識別痕量金屬雜質(zhì)。

● 雙重質(zhì)量過濾消除干擾，保障實驗結(jié)果可靠性。

● 多元素同步檢測：快速分析多種金屬雜質(zhì)，適應半導體多樣化需求。

3顆粒度測試能力

? 超精密光學系統(tǒng)：精準識別0.1微米以上顆粒。

? 高效穩(wěn)定：確保生產(chǎn)線上每次檢測結(jié)果一致。

4定制化服務

● 提供針對超純氣體管道、超純試劑的采樣與檢測方案，如氣袋法和吸收液法。

● 確保檢測方案與晶圓廠具體需求無縫銜接。

5快速響應機制

● 實驗室保證快速響應客戶需求，縮短檢測周期，為生產(chǎn)過程保駕護航。

三總結(jié)

CA實驗室以其領(lǐng)先的痕量金屬檢測技術(shù)，為半導體行業(yè)提供從超純試劑到超純氣體的全方位解決方案。通過定制化服務、高效檢測和快速響應，CA實驗室不僅幫助客戶提高產(chǎn)品良率，更推動了半導體產(chǎn)業(yè)的品質(zhì)升級。我們期待與更多行業(yè)伙伴攜手，共同邁向更高水平的技術(shù)發(fā)展。

季豐電子

季豐電子成立于2008年，是一家聚焦半導體領(lǐng)域，深耕集成電路檢測相關(guān)的軟硬件研發(fā)及技術(shù)服務的賦能型平臺科技公司。公司業(yè)務分為四大板塊，分別為基礎實驗室、軟硬件開發(fā)、測試封裝和儀器設備，可為芯片設計、晶圓制造、封裝測試、材料裝備等半導體產(chǎn)業(yè)鏈和新能源領(lǐng)域公司提供一站式的檢測分析解決方案。

季豐電子通過國家級專精特新“小巨人”、國家高新技術(shù)企業(yè)、上海市“科技小巨人”、上海市企業(yè)技術(shù)中心、研發(fā)機構(gòu)、公共服務平臺等企業(yè)資質(zhì)認定，通過了ISO9001、 ISO/IEC17025、CMA、CNAS、IATF16949、ISO/IEC27001、ISO14001、ANSI/ESD S20.20等認證。公司員工近1000人，總部位于上海，在浙江、北京、深圳、成都等地設有子公司。