都說晶圓清洗機(jī)是用于晶圓清洗的，既然說是全自動(dòng)的。我們更加好奇的點(diǎn)一定是如何自動(dòng)實(shí)現(xiàn)晶圓清洗呢？效果怎么樣呢？好多疑問。我們先來給大家介紹這個(gè)根本問題，就是全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)的工作是如何實(shí)現(xiàn)的。

全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)工作流程一覽

裝載晶圓：將待清洗的晶圓放入專用的籃筐或托盤中，然后由機(jī)械手自動(dòng)送入清洗槽。

清洗過程：

晶圓依次經(jīng)過多個(gè)清洗槽，每個(gè)槽內(nèi)有不同的清洗液和處理步驟，如預(yù)洗、主洗、漂洗等。

清洗過程中可能使用多種輔助手段以提高清洗效果，如超聲波、旋轉(zhuǎn)、抖動(dòng)等。

超聲波清洗利用超聲波的空化效應(yīng)產(chǎn)生微小氣泡，氣泡破裂時(shí)的沖擊力可以去除晶圓表面的污染物。

化學(xué)清洗使用特定的化學(xué)溶液通過化學(xué)反應(yīng)去除晶圓表面的有機(jī)物和無機(jī)物。

噴淋清洗通過高壓噴淋將清洗液均勻噴灑到晶圓表面，進(jìn)一步去除污染物。

干燥過程：

清洗完成后，晶圓被送入送風(fēng)系統(tǒng)，通過吹風(fēng)或烘干的方式去除表面的水分。

卸載晶圓：

干燥后的晶圓由機(jī)械手自動(dòng)取出，放置在指定位置。

審核編輯 黃宇