最近60年來，從計算機電子管到現(xiàn)在的7納米器件，人類微觀加工的面積縮小了 一萬億分之一。半導(dǎo)體芯片前段微觀加工設(shè)備的創(chuàng)新和進步是實現(xiàn)萬億倍縮小的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。這是中微半導(dǎo)體董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯在2018中國半導(dǎo)體材料和零部件創(chuàng)新發(fā)展大會上的一句感慨。隨著集成電路元件從“毫米級工藝”“微米級工藝”向“納米級工藝”升級，微觀加工的精確度、均勻性、穩(wěn)定性和可靠程度成為了提高微觀器件產(chǎn)品生產(chǎn)成功率的關(guān)鍵。

半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)發(fā)展仍需扶持和幫助

在眾多半導(dǎo)體制造設(shè)備之中，發(fā)揮最為關(guān)鍵作用的設(shè)備有兩種，第一種是光刻機，第二種是等離子刻蝕機。光刻機是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備，主要用于對涂有光刻膠的襯底進行曝光，制造光學(xué)鏡頭和反光碗的要求極其苛刻。因此，光刻機的售價高于大型客機。在這方面，可以說荷蘭的ASML一家獨大。

等離子體刻蝕也是當(dāng)今超大規(guī)模集成電路制造過程中的關(guān)鍵步驟。

等離子刻蝕機通過表面的物理化學(xué)反應(yīng)將需去除的部分材料形成可揮發(fā)性的反應(yīng)生成物，再將其抽離反應(yīng)腔。刻蝕機要刻蝕各種不同的材料、不同的形狀，對不同的材料要有不同的選擇性，有上千種不同的刻蝕工藝。而且在刻蝕過程中，刻蝕精準性、均勻度、穩(wěn)定性、選擇比、輸出量和刻蝕成本等多項指標均需滿足條件，才能達到指定的生產(chǎn)效率。目前國際上微觀加工的三大工藝設(shè)備公司：應(yīng)用材料公司，Lam Research和東京電子公司都是從刻蝕設(shè)備起家的。

我國等離子刻蝕機也有幾個公司在開發(fā)。其中，中微半導(dǎo)體設(shè)備公司的進展是個亮點。目前，中微開發(fā)的電容性等離子刻蝕機和電感性等離子體刻蝕機在性能和性價比上都進入國際三強。尹志堯介紹，在國內(nèi)，中微半導(dǎo)體的高端設(shè)備產(chǎn)品已在逐步取代國外設(shè)備，市場占有率在步步提高。中微刻蝕機已進入國際最先進的7nm生產(chǎn)線，并核準了5nm器件的刻蝕應(yīng)用，介質(zhì)刻蝕市場占有率位列第三。美國VLSI Research曾公布過一份全球半導(dǎo)體設(shè)備“客戶滿意度”評比，中微被評為第三位，僅次于荷蘭ASML和一家國外公司。

中微的進步確實在一定程度上，顯示了我國設(shè)備向前邁進的步伐。但是，尹志堯強調(diào)，我國集成電路產(chǎn)業(yè)仍然需要扶持和幫助?！氨仨氂姓拇罅ν苿?，在低成本資金、研發(fā)資助以及相關(guān)政策的支持下，企業(yè)才能面對發(fā)展中的主要矛盾，實現(xiàn)高速發(fā)展。”尹志堯說。

多方面不對稱競爭掣肘產(chǎn)業(yè)

什么是我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主要矛盾？

尹志堯認為，對于我國集成電路制造和裝備產(chǎn)業(yè)來說，最主要的發(fā)展矛盾是“不對稱競爭”。這個“不對稱競爭”反映在多個方面。

一是，公司規(guī)模的不對稱。尹志堯表示，國內(nèi)設(shè)備廠商如春筍般生長，整個市場局面類似于“春秋戰(zhàn)國時期”，各個公司的規(guī)模不對等，甚至有著10~30倍的巨大差異。二是，市場占有率不對稱。三是，國內(nèi)外市場不對稱。四是，準入門檻不對稱。五是，人才資源不對稱。六是，研發(fā)經(jīng)費不對稱。

尹志堯表示，我國集成電路制造和設(shè)備公司的研發(fā)經(jīng)費，不到國外領(lǐng)先的同類公司的10%，甚至5%。而且技術(shù)又差了三代，如果不增加研發(fā)費用，趕超幾乎是不可能的。國際大公司以比我國小公司10到30倍的研發(fā)經(jīng)費，保持他們的競爭優(yōu)勢。研發(fā)經(jīng)費的嚴重短缺，使得我國的公司面臨著“神仙都難以趕上去”的挑戰(zhàn)。除此之外，專利占有率不對稱、稅收不對稱、創(chuàng)業(yè)發(fā)展環(huán)境不對稱都將加劇我國集成電路發(fā)展矛盾。

尹志堯表示，集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展就像一個鼎，這個鼎需要三大支柱，分別是資金、人才以及政策。

資金包括股本金投入、長期低息貸款和政府的研發(fā)資助；人才包括吸引國外人才、培養(yǎng)國內(nèi)人才、識別和支持領(lǐng)軍人才；政策包括投融資政策、所得稅政策、進出口政策、勞動法政策、員工期權(quán)激勵政策、本土化政策和上市政策等。我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展形勢是大好的，但圍繞著“主要矛盾”，產(chǎn)業(yè)的發(fā)展還存在“七大問題”。

“七大問題”有待破解

尹志堯表示，“七大問題”的首要問題，是目前我國集成電路產(chǎn)業(yè)“資金一頭大，人才和政策升級跟不上”。隨著我國對集成電路的發(fā)展越發(fā)重視，相關(guān)投入資金也逐漸加大，但是，發(fā)展高科技產(chǎn)業(yè)的政策還尚未完善，人才和技術(shù)不到位，一些項目已經(jīng)產(chǎn)生了推遲的現(xiàn)象，制約了產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

第二大問題，尹志堯表示，投資芯片生產(chǎn)線一頭大，設(shè)備、材料的資本投入較少。本來設(shè)計、制造和設(shè)備材料產(chǎn)業(yè)的投資，應(yīng)以20∶60∶20的比例為好。但現(xiàn)在的90%的資金都投入了芯片生產(chǎn)線，設(shè)備和材料的投資不到5%。尹志堯認為，目前整個生態(tài)對于設(shè)備和材料領(lǐng)域不夠重視。想要推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展，芯片生產(chǎn)確實是“大頭”，但是芯片生產(chǎn)線上70%~80%的資金都是用于購買設(shè)備和材料。據(jù)了解，我國產(chǎn)業(yè)所使用的材料和設(shè)備進口產(chǎn)品占有率依舊很高?！板X都流到了國外，75%以上的技術(shù)和設(shè)備并沒有掌握在自己手里。這樣的發(fā)展模式，就像在沙灘上建筑的大樓，是沒有根基的?！币緢蛘f。

第三大問題，在投入的資金結(jié)構(gòu)上，股本金一頭大，缺乏低息貸款以及研發(fā)資助。尹志堯表示，全世界最大的芯片晶圓廠，并沒有很多股本金投入，每年都會有30億~40億美元的貸款，利息只有1.5%。這種低成本投資推動了這個企業(yè)發(fā)展為“全世界第一的晶圓廠”。因此，尹志堯認為，低息貸款模式是我國集成電路發(fā)展可以借鑒的方法之一。另外，企業(yè)光靠自己單打獨斗，靠賺來的、有限的資金支撐研發(fā)，即使50%的收入投入研發(fā)，也是遠遠不夠的。政府通過專項資助支持企業(yè)研發(fā)經(jīng)費，在企業(yè)規(guī)模小的階段是至關(guān)重要的。

第四大問題，要正確認識研發(fā)樣機和生產(chǎn)線上使用的設(shè)備的根本區(qū)別，開發(fā)和向客戶提供可靠、穩(wěn)定、好用、高效和廉價的設(shè)備。很多公司開發(fā)實驗室樣機，但終究沒造出可靠、好用的生產(chǎn)設(shè)備。其實，開發(fā)出研發(fā)樣機，只是完成了設(shè)備產(chǎn)品開發(fā)的10%。尹志堯表示，幾百個材料供應(yīng)廠商，成千上萬的零部件，做到按時供應(yīng)、無缺陷、低成本、有效的售后服務(wù)，同樣具有極大的挑戰(zhàn)性。

第五大問題，要著重開發(fā)“卡脖子”的關(guān)鍵部件。尹志堯表示，一些“卡脖子”的關(guān)鍵部件國產(chǎn)化還未得到充分的重視和積極的開發(fā)?！斑@是我國集成電路發(fā)展不得不去面對的問題，必須有盡快的突破?！币緢蛘f。

第六大問題，真正重視知識產(chǎn)權(quán)保護問題。尹志堯表示，中微半導(dǎo)體在知識產(chǎn)權(quán)上，建立了一套嚴格的管理制度：每個參加公司的員工必須簽署嚴格的保密協(xié)議，不從原公司帶來任何技術(shù)資料和信息；對于對手的三千多個專利進行了詳盡的分析，清楚地了解到什么是不可逾越的，什么是無效的；自主開發(fā)的技術(shù)和設(shè)備必須有獨到的創(chuàng)新，申請了上千個專利來保護自己的知識產(chǎn)權(quán)；對于對手可能發(fā)動的知識產(chǎn)權(quán)訴訟，必須做好充分的準備。

第七大問題，中微從建立公司伊始，就采取了全員持股的期權(quán)激勵制度。每一級管理層和員工的期權(quán)級差是20%，是一個極其扁平的結(jié)構(gòu)。尹志堯認為，員工期權(quán)激勵和全員持股是高科技企業(yè)發(fā)展的生命線?！爸袊芯涔旁挘绣X的出錢，有力的出力。投資商以投入資本，獲得公司股權(quán)；員工和管理層以勞動和創(chuàng)新獲得公司期權(quán)。期權(quán)會徹底改變員工的雇傭觀念，提升員工的主人翁感，激勵員工更好地為企業(yè)工作。期權(quán)的階梯式行權(quán)和行了權(quán)的股權(quán)階梯式出售，又有鎖定作用，使員工能長期、穩(wěn)定地為公司工作?！币緢蛘f。

國際上很多成功的高科技企業(yè)都采用全員持股期權(quán)激勵制度，這證明了該辦法的實踐性，它足可以將公司管理層、企業(yè)員工的利益和企業(yè)的長期發(fā)展綁定，最大程度地激發(fā)積極性和主人翁精神。