電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道（文 / 吳子鵬）
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，AMHS（自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)）堪稱保障生產(chǎn)效率、良率和工廠穩(wěn)定性的核心基礎(chǔ)設(shè)施。半導(dǎo)體制造工序繁雜，涵蓋光刻、蝕刻、沉積等數(shù)百道工序，晶圓在生產(chǎn)過(guò)程中需頻繁移動(dòng)。AMHS 系統(tǒng)憑借任務(wù)分配系統(tǒng)及調(diào)度系統(tǒng)，對(duì) OHT（Overhead Hoist Transport，高空自動(dòng)運(yùn)輸系統(tǒng)）的任務(wù)和路徑進(jìn)行合理規(guī)劃和調(diào)度，確保晶圓在不同工序間高效流轉(zhuǎn)。這也意味著，對(duì)于追求高稼動(dòng)率的晶圓廠而言，AMHS 一旦出現(xiàn)故障，極有可能導(dǎo)致全線停產(chǎn)。

正如彌費(fèi)科技 CEO 繆峰所言，盡管 AMHS 在整個(gè)半導(dǎo)體前道設(shè)備市場(chǎng)中的價(jià)值占比僅約 3%，但其與晶圓廠的效率、可靠性卻有著近乎 100% 的緊密關(guān)聯(lián)。作為國(guó)內(nèi) AMHS 領(lǐng)域的先行者，為進(jìn)一步提升 AMHS 系統(tǒng)在半導(dǎo)體工廠復(fù)雜物流場(chǎng)景下的運(yùn)行效率，彌費(fèi)科技此前重磅推出 AMHS 智能傳輸新一代解決方案 —— 天帆 SS5000 系列 OHT 天車系統(tǒng)。
在彌費(fèi)科技上海臨港總部舉辦的媒體開(kāi)放日活動(dòng)中，彌費(fèi)科技創(chuàng)始人兼 CEO 繆峰、聯(lián)合創(chuàng)始人兼CSO 柯娜以及董秘李靜雅等公司高層，向參會(huì)媒體詳細(xì)介紹了這套新系統(tǒng)，并闡述了彌費(fèi)科技后續(xù)的發(fā)展規(guī)劃。
彌費(fèi)科技CEO繆峰（左），彌費(fèi)科技聯(lián)合創(chuàng)始人兼CSO柯娜（右）

算力、算法和數(shù)據(jù)三維升級(jí)的天帆 SS5000

作為 AMHS 系統(tǒng)中的核心傳輸系統(tǒng)，OHT 天車系統(tǒng)專注于高空懸掛式自動(dòng)化物料運(yùn)輸，通過(guò)高架軌道在各制程設(shè)備、存儲(chǔ)柜（Stocker）之間高速運(yùn)輸晶圓或掩膜，從而保障生產(chǎn)流程的高效銜接。
OHT 天車系統(tǒng)擁有眾多關(guān)鍵特征指標(biāo)，包括速度、加速度、重復(fù)定位精度、振動(dòng)、負(fù)載、載具兼容性、潔凈等級(jí)與顆粒控制和可靠性等指標(biāo)。其中，諸多指標(biāo)與 OHT 系統(tǒng)效率的提升密切相關(guān)。例如如何在高速運(yùn)行狀態(tài)下實(shí)現(xiàn)振動(dòng)抑制與精度保持，怎樣完成復(fù)雜場(chǎng)景下的路徑優(yōu)化，以及如何實(shí)現(xiàn)多設(shè)備協(xié)同的高效對(duì)接等。
繆峰指出，為使天帆 SS5000 系統(tǒng)具備行業(yè)領(lǐng)先的效率與可靠性，彌費(fèi)科技著重對(duì)算力、算法和數(shù)據(jù)這三大關(guān)鍵維度進(jìn)行優(yōu)化，實(shí)現(xiàn) OHT 全棧技術(shù)的自研突破，并在整個(gè)系統(tǒng)層面完成了十大產(chǎn)品力升級(jí)。
在基礎(chǔ)設(shè)施層面，彌費(fèi)科技自主研發(fā)的 AMHS 專用高算力控制平臺(tái)，該平臺(tái)采用全冗余架構(gòu)，搭配低延遲通訊網(wǎng)絡(luò)和邊緣計(jì)算平臺(tái)，為系統(tǒng)的高效平穩(wěn)運(yùn)轉(zhuǎn)提供有力支撐，系統(tǒng)可靠性高達(dá) 99.999%。這意味著天帆 SS5000 系統(tǒng)在運(yùn)行過(guò)程中幾乎不會(huì)出現(xiàn)停機(jī)故障，為晶圓廠的連續(xù)生產(chǎn)提供了堅(jiān)實(shí)可靠的保障。
在算法層面，彌費(fèi)科技運(yùn)用時(shí)空預(yù)測(cè)模型和系統(tǒng)均衡架構(gòu)，實(shí)現(xiàn)分布式部署和集群化管理。憑借公司自研的高速振動(dòng)抑制算法和運(yùn)動(dòng)控制算法，OHT 直行速度提升至業(yè)界最高的 5.5m/s，振動(dòng)不超過(guò)0.35G；多段速度和加速度平滑控制算法的應(yīng)用，使取放貨速度達(dá)到業(yè)界領(lǐng)先水平
在交互層面，天帆 SS5000 系統(tǒng)采用全新通信架構(gòu)，并統(tǒng)一地圖和交互數(shù)據(jù)，并通過(guò)彌費(fèi)科技創(chuàng)新的時(shí)空融合預(yù)測(cè)算法配合智能岔道管控模塊，結(jié)合基于統(tǒng)一地圖的全廠 OHT 實(shí)時(shí)位置和運(yùn)動(dòng)狀態(tài)通訊，有效避免擁堵和過(guò)長(zhǎng)取貨距離，直行過(guò)岔路效率提升 40%，將平均搬運(yùn)時(shí)間 ADT 控制在 130s 以下。
在系統(tǒng)層面，天帆 SS5000 系統(tǒng)引入彌費(fèi)自研的新一代物料管控系統(tǒng) (MCS)，可實(shí)現(xiàn)與多品牌 業(yè)務(wù)系統(tǒng) 的無(wú)縫對(duì)接，適配 100 + 設(shè)備集成，圖形化界面支持靈活定制；智能車隊(duì)調(diào)度系統(tǒng)（MSTC）支持千臺(tái)級(jí) OHT 超大集群管理，結(jié)合 AI 強(qiáng)化學(xué)習(xí)優(yōu)化任務(wù)分配與路徑規(guī)劃，并借助實(shí)時(shí)計(jì)算和高速通訊，確保大規(guī)模集群也能實(shí)現(xiàn)高效、可靠運(yùn)行。并在智能化天眼系統(tǒng)/全場(chǎng)景異常處理機(jī)制/創(chuàng)新功能矩陣/人機(jī)交互升級(jí)/仿真驗(yàn)證平臺(tái)等多個(gè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)創(chuàng)新突破。
在軟件部分提升的同時(shí)，彌費(fèi)科技還對(duì)車體硬件進(jìn)行改進(jìn)，在天帆 SS5000 系統(tǒng)中搭載更智能、更安全、和更扁平輕巧的新車體。智能方面，新車體搭載八核 CPU+6TOPS NPU 控制器，自研嵌入式控制平臺(tái)國(guó)產(chǎn)化率達(dá)100%；安全方面，每臺(tái) OHT 車體配備 18 個(gè)安全傳感器，并通過(guò)專利減震機(jī)構(gòu)保障晶圓的平穩(wěn)運(yùn)輸；在扁平輕巧方面，新車體厚度達(dá)到業(yè)界最薄的 895mm，較上一代減重 8kg。同時(shí)，在速度/穩(wěn)定性/可靠性/耐久度等核心指標(biāo)均實(shí)現(xiàn)突破，完成核心技術(shù)指標(biāo)對(duì)齊國(guó)際領(lǐng)先企業(yè)，并在部分關(guān)鍵效能指標(biāo)實(shí)現(xiàn)領(lǐng)先。

從破局者到引領(lǐng)者的姿態(tài)轉(zhuǎn)變

AMHS 雖然在半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中的價(jià)值占比不高，但其影響力卻不容小覷。
長(zhǎng)期以來(lái)，AMHS 市場(chǎng)主要由村田、大福兩家公司占據(jù)主導(dǎo)地位。與國(guó)內(nèi)同行一樣，彌費(fèi)科技曾長(zhǎng)期以追趕者和破局者的姿態(tài)深耕這一領(lǐng)域。然而，隨著天帆 SS5000 系統(tǒng)的發(fā)布，彌費(fèi)科技迎來(lái)全新局面。據(jù)介紹，彌費(fèi)科技 AMHS 產(chǎn)品已進(jìn)入全球 30 家以上晶圓代工廠及 IDM 企業(yè)，并且是目前國(guó)內(nèi)唯一完成8寸及12寸晶圓廠驗(yàn)證，且晶圓廠整廠交付數(shù)量最多的國(guó)產(chǎn)AMHS系統(tǒng)方案公司。
此次，隨著彌費(fèi)科技新一代 OHT天車產(chǎn)品交付及應(yīng)用，其在核心技術(shù)指標(biāo)領(lǐng)域的趕超與突破標(biāo)志著其在技術(shù)領(lǐng)域已完成在全球產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局中破局者到引領(lǐng)者的轉(zhuǎn)變。而在技術(shù)上持續(xù)創(chuàng)新突破的同時(shí)，彌費(fèi)科技也不斷加強(qiáng)國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)滲透與布局。
在產(chǎn)品可靠性方面，除了持續(xù)增加的全廠驗(yàn)證交付系統(tǒng)所積累的實(shí)時(shí)運(yùn)營(yíng)數(shù)據(jù)，彌費(fèi)科技還打造了 2000㎡國(guó)內(nèi)最大的 AMHS 全廠集成驗(yàn)證 Demoline。在該驗(yàn)證平臺(tái)中，彌費(fèi)科技部署了 30+OHT 集群、高低軌 1000m + 軌道以及 50 + 成套設(shè)備對(duì)接，實(shí)現(xiàn)高密度全工藝運(yùn)營(yíng)。同時(shí)，仿真驗(yàn)證平臺(tái) DeepSim 中運(yùn)行的OHT 車體運(yùn)行狀態(tài)，也與最終部署后的實(shí)際運(yùn)行狀態(tài)一致。
在標(biāo)準(zhǔn)制定方面，彌費(fèi)科技第五代天車產(chǎn)品已通過(guò) SEMI、CE 等 19 項(xiàng)國(guó)際認(rèn)證，多項(xiàng)核心參數(shù)達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。同時(shí)，公司積極參與最新標(biāo)準(zhǔn)制定，牽頭制定了 AMHS 領(lǐng)域首個(gè)標(biāo)準(zhǔn)《集成電路晶圓廠用天車傳送系統(tǒng)通用技術(shù)要求》（T/SICA006—2024），在技術(shù)合規(guī)性與生態(tài)話語(yǔ)權(quán)上成功突破國(guó)際壁壘。
關(guān)于生態(tài)布局，繆峰表示，彌費(fèi)科技將依托上海臨港與馬來(lái)西亞雙制造基地和全球供應(yīng)鏈布局，構(gòu)建從核心零部件到整廠系統(tǒng)的全鏈條國(guó)產(chǎn)化及本地化交付能力，在交付效率和服務(wù)水平上形成對(duì)日系廠商的差異化競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。