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了解芯片全流程智能化制造和加快國產(chǎn)化進(jìn)程

cMdW_icsmart ? 來源:未知 ? 作者:李倩 ? 2018-05-02 16:04 ? 次閱讀
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4月26號(hào),******來到武漢新芯集成電路制造有限公司,查看集成電路生產(chǎn)線,了解芯片全流程智能化制造和加快國產(chǎn)化進(jìn)程等情況。******強(qiáng)調(diào):裝備制造業(yè)的芯片相當(dāng)于人的心臟,心臟不強(qiáng),體量再大也不算強(qiáng)。要加快在芯片技術(shù)上實(shí)現(xiàn)重大突破,勇攀世界半導(dǎo)體存儲(chǔ)科技高峰?!皟蓚€(gè)一百年”奮斗目標(biāo),不是敲鑼打鼓,輕輕松松就能實(shí)現(xiàn)的。機(jī)遇前所未有,挑戰(zhàn)前所未有。每個(gè)人都要增強(qiáng)責(zé)任感、使命感、在各自的崗位上,為實(shí)現(xiàn)中華民族偉大復(fù)興作出更大的貢獻(xiàn)。

實(shí)時(shí)航拍景觀

我們現(xiàn)在看到的實(shí)時(shí)航拍畫面中,這片區(qū)域就是******在考察中詳細(xì)了解的國家存儲(chǔ)器基地項(xiàng)目。這個(gè)正在修建中的灰色廠房,是國家存儲(chǔ)器基地的一號(hào)芯片生產(chǎn)廠房,去年9月封頂。它擁有全球單體面積最大的芯片生產(chǎn)車間,相當(dāng)于10個(gè)標(biāo)準(zhǔn)足球場(chǎng)面積。

未來,這個(gè)廠房還會(huì)多兩個(gè)“兄弟”,它們共同構(gòu)成國家存儲(chǔ)器基地,標(biāo)志著我國存儲(chǔ)芯片產(chǎn)業(yè)規(guī)模化發(fā)展“零”的突破。

4月份,芯片生產(chǎn)設(shè)備正式入場(chǎng)安裝,這相當(dāng)于航空母艦具備了下海啟航的條件。那么目前進(jìn)展如何呢?我的同事金珠現(xiàn)在就在芯片生產(chǎn)車間里,這是國家存儲(chǔ)器基地內(nèi)部環(huán)境首次亮相,接下來我們把時(shí)間交給她。

建設(shè)中的新工廠內(nèi)部環(huán)境首次亮相

大家看我身上的這身裝束是不是有點(diǎn)像馬上要進(jìn)手術(shù)室去做手術(shù)的醫(yī)生呢?

其實(shí)啊,這個(gè)生產(chǎn)車間和手術(shù)室還真的有點(diǎn)像,我馬上帶著大家去看一下。我現(xiàn)在是在換裝區(qū),按照這里的規(guī)定,我還必須把口罩戴上。在整個(gè)生產(chǎn)區(qū)域它的潔凈程度,一點(diǎn)也不亞于手術(shù)室,甚至在有些關(guān)鍵的區(qū)域,它比普通手術(shù)室還要干凈得多。有些地方就像做器官移植手術(shù)的手術(shù)室環(huán)境一樣。

為什么這里要這么干凈?因?yàn)樾酒谏a(chǎn)的過程中,它的精度是非常高的,達(dá)到納米級(jí),相當(dāng)于頭發(fā)絲的千分之一,所以任何細(xì)小的灰塵都會(huì)對(duì)生產(chǎn)有很大的影響,所以這個(gè)地方才要設(shè)置得這么干凈。

現(xiàn)在就來到了生產(chǎn)區(qū)域的門口,在這里我能明顯感到一股風(fēng)向我迎面吹來。這是因?yàn)橐蔑L(fēng)壓,把風(fēng)從里往外吹,這樣就能夠把灰塵隔絕在外面。

現(xiàn)在我正式進(jìn)入生產(chǎn)區(qū)域了,大家可以觀察一下,整個(gè)生產(chǎn)區(qū)域裝備有空氣循環(huán)系統(tǒng)。大家看一下天花板上那些細(xì)密的小網(wǎng)格,這些就是空氣的過濾器,氣流會(huì)從上向下流動(dòng),灰塵就會(huì)被帶入地板上的這些小孔當(dāng)中排出去,過濾后的空氣,它又進(jìn)行新一輪的循環(huán)。其實(shí),我們的芯片很小,只有指甲蓋那么大,但是它的生產(chǎn)工序卻有上千道之多。我身后的這個(gè)生產(chǎn)區(qū)域?qū)⒊袚?dān)起制造流程大部分的生產(chǎn)工序。到時(shí)候,這里的天花板上都要安裝自動(dòng)化物料系統(tǒng),也就是俗稱的“天車系統(tǒng)”。我們從畫面上看到的這些飛來飛去的“小機(jī)器人”,它們能夠讀取芯片半成品的身份信息,運(yùn)送到下一個(gè)指定的區(qū)域,還可以告訴下一臺(tái)設(shè)備,你接下來該干什么。整個(gè)過程都是全自動(dòng)完成的。

今天細(xì)心的觀眾肯定已經(jīng)發(fā)現(xiàn)到了,這個(gè)生產(chǎn)區(qū)域里面,光線的顏色是不同的——有白色的光,有黃色的光。我現(xiàn)在身后這道門,里面全是黃色的光。這里就是芯片生產(chǎn)的核心區(qū)域——光刻區(qū),我們也俗稱它為黃光區(qū)。這是因?yàn)樵谶@個(gè)生產(chǎn)區(qū)域里面,有一種物質(zhì)叫做光刻膠,光刻膠對(duì)光的波長(zhǎng)是非常敏感的,如果是采取黃光照明,就能夠避免其他的不利光帶來的影響。就好比傳統(tǒng)的照相技術(shù),膠片要在暗室才能洗出來。我們看到現(xiàn)場(chǎng)有很多施工人員在加班加點(diǎn)的作業(yè),他們是在對(duì)設(shè)備安裝調(diào)試。在未來,幾千臺(tái)這樣的精密設(shè)備就會(huì)陸陸續(xù)續(xù)進(jìn)場(chǎng),它們會(huì)為量產(chǎn)做準(zhǔn)備。那么量產(chǎn)的產(chǎn)品是什么呢?現(xiàn)在,我們就通過虛擬動(dòng)畫來認(rèn)識(shí)一下。

32層三維芯片年內(nèi)量產(chǎn) 填補(bǔ)國內(nèi)空白

在今年內(nèi),由我們國家自主研發(fā)的第一顆32層三維閃存芯片就要實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)了。大家看,這顆芯片是耗資了10億美元,由1000人的團(tuán)隊(duì)用了2年的時(shí)間研發(fā)出來的,它擁有完全的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。早期的芯片是平面的,但是這個(gè)芯片是立體的,顯而易見,在同樣的面積下,立體芯片能容納的數(shù)據(jù)的容量是呈幾何級(jí)的增長(zhǎng)。微觀世界和宏觀世界是非常相似的,32層的芯片相當(dāng)于32層的樓房。那這一棟樓有多少個(gè)房間呢?我要告訴大家,一共有640億個(gè)房間。這是我國目前為止最接近國際高端水平的主流芯片,它填補(bǔ)了我們國家的空白,能夠使我國的存儲(chǔ)芯片進(jìn)入到全球的第一梯隊(duì),提升“中國芯”在國際市場(chǎng)的地位。

據(jù)我們了解到的情況,現(xiàn)在64層的三維閃存芯片正在緊鑼密鼓的研發(fā)中,有望明年實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。存儲(chǔ)芯片中的核心技術(shù),我們自己在不斷努力,攻堅(jiān)克難。

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原文標(biāo)題:走進(jìn)紫光長(zhǎng)江存儲(chǔ)國家存儲(chǔ)器基地,中國“芯” 自主造

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