一、引言

在光學(xué)元件制造領(lǐng)域，玻璃鏡片的厚度精度直接影響光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量與性能穩(wěn)定性。隨著精密光學(xué)儀器的發(fā)展，對(duì) 4-5mm 厚度玻璃鏡片的測(cè)量精度要求已提升至 1μm 以內(nèi)。傳統(tǒng)接觸式測(cè)量方法存在劃傷鏡片表面、測(cè)量效率低等問題，而單一光譜共焦傳感器因量程限制（通常僅 2.6mm）無法直接覆蓋 4-5mm 厚度范圍。本案例基于 LTC2600 系列激光位移傳感器，提出雙探頭對(duì)射測(cè)量方案，通過機(jī)械結(jié)構(gòu)優(yōu)化與精密標(biāo)定，實(shí)現(xiàn)了 1μm 以內(nèi)的測(cè)量精度，為同類厚度光學(xué)元件的高精度檢測(cè)提供了可行解決方案。

二、測(cè)量挑戰(zhàn)與需求分析

（一）核心測(cè)量需求

測(cè)量對(duì)象：4-5mm 厚度玻璃鏡片，表面光潔度高，需避免接觸式測(cè)量損傷。

精度要求：整體測(cè)量誤差控制在 1μm 以內(nèi)，滿足精密光學(xué)元件的質(zhì)量管控標(biāo)準(zhǔn)。

效率需求：需實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測(cè)量，適配生產(chǎn)線快速檢測(cè)場(chǎng)景。

（二）技術(shù)難點(diǎn)

量程與精度的矛盾：?jiǎn)闻_(tái)光譜共焦傳感器量程（2.6mm）無法覆蓋 4-5mm 厚度，而 LTC2600 雖具備 15mm 量程，但直接單探頭測(cè)量需搭配復(fù)雜位移機(jī)構(gòu)，難以保證微米級(jí)精度。

雙探頭對(duì)射誤差重疊：傳統(tǒng)雙探頭對(duì)射方案中，兩探頭測(cè)量光束的對(duì)心精度不足會(huì)導(dǎo)致測(cè)量值疊加誤差，若光束偏移 1μm，厚度測(cè)量誤差將直接體現(xiàn)為 2μm（雙向偏移）。

系統(tǒng)標(biāo)定復(fù)雜性：不同探頭的線性誤差、溫度漂移需同步補(bǔ)償，且中間介質(zhì)（玻璃鏡片）的折射率影響需通過標(biāo)定消除。

三、解決方案設(shè)計(jì)

（一）硬件方案選型

傳感器選型：采用 LTC2600 激光位移傳感器（參數(shù)見表 1），其 ±0.3μm 的重復(fù)精度與 0.05μm 線性誤差滿足高精度要求，15mm 量程為雙探頭對(duì)射提供冗余空間。

機(jī)械結(jié)構(gòu)：定制雙探頭對(duì)射夾具，包含：

Z 軸精密調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（精度 ±1μm），用于調(diào)節(jié)兩探頭間距；

光束對(duì)心校準(zhǔn)裝置（基于亞微米級(jí)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)），確保兩探頭光束同軸對(duì)準(zhǔn)；

恒溫底座（控溫精度 ±0.5℃），抑制溫度漂移（傳感器溫度特性 < 0.03% F.S./℃）。

控制器與軟件：搭配 8 通道 LT-CCH 控制器（最高采樣頻率 21kHz），集成配套測(cè)控軟件與 C# 開發(fā)包，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)采集與分析。

（二）測(cè)量原理與方案創(chuàng)新

雙探頭對(duì)射測(cè)量原理如圖 1 所示：兩傳感器分別從鏡片兩側(cè)發(fā)射激光，光束穿透鏡片后由對(duì)側(cè)傳感器接收，通過計(jì)算兩傳感器測(cè)量值之差（D1-D2）得到鏡片厚度。創(chuàng)新點(diǎn)在于：

重疊區(qū)域校準(zhǔn)：先將兩探頭置于重疊區(qū)域（間距 < 2.6mm），通過標(biāo)準(zhǔn)鍍銀膜反射鏡校準(zhǔn)光束對(duì)心，確保光點(diǎn)偏移 < 0.5μm；

量程擴(kuò)展策略：利用 Z 軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)將兩探頭間距拉開至 6-8mm（超出單探頭量程但在雙探頭組合量程內(nèi)），通過機(jī)械精度保證光束對(duì)心不受影響；

標(biāo)準(zhǔn)件動(dòng)態(tài)標(biāo)定：使用 4mm 和 5mm 標(biāo)準(zhǔn)厚度玻璃（精度 ±0.5μm）進(jìn)行實(shí)時(shí)標(biāo)定，補(bǔ)償系統(tǒng)誤差與折射率影響。

四、實(shí)施步驟與標(biāo)定流程

（一）硬件安裝與調(diào)試

夾具安裝：將雙探頭固定于 Z 軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，確保兩傳感器光軸同軸度偏差 < 10μrad；

初始對(duì)心：在重疊區(qū)域（間距 2mm）放置銳利玻璃邊緣，通過亞微米定位平臺(tái)（精度 ±0.1μm）調(diào)整探頭位置，使兩傳感器光斑中心重合（基于激光干涉儀驗(yàn)證）；

間距調(diào)節(jié)：?jiǎn)?dòng) Z 軸機(jī)構(gòu)，將兩探頭間距緩慢增至 6.5mm，記錄調(diào)節(jié)量（機(jī)械精度 ±1μm）。

（二）系統(tǒng)標(biāo)定流程

標(biāo)準(zhǔn)件準(zhǔn)備：選取 4mm（標(biāo)準(zhǔn)值 4.000mm）和 5mm（5.000mm）石英玻璃標(biāo)準(zhǔn)片，表面平整度 <λ/10（λ=633nm）；

零點(diǎn)校準(zhǔn)：在兩探頭間無介質(zhì)時(shí)，采集 1000 組數(shù)據(jù)取均值，設(shè)定為基準(zhǔn)零點(diǎn)（D0=0）；

厚度標(biāo)定：

放置 4mm 標(biāo)準(zhǔn)片，采集數(shù)據(jù)并計(jì)算厚度值 T1，若實(shí)測(cè)值為 4.002mm，則標(biāo)定系數(shù) K1=4.000/4.002=0.9995；

更換 5mm 標(biāo)準(zhǔn)片，同理計(jì)算 K2=5.000/T2，取 K1 與 K2 均值作為系統(tǒng)標(biāo)定系數(shù) K=0.9996；

溫度補(bǔ)償：在 25℃±5℃范圍內(nèi)測(cè)試，建立溫度 - 誤差修正模型（如 ΔT=1℃時(shí)，修正值 ΔD=0.03%×15mm×1℃=0.0045mm=4.5μm）。

（三）實(shí)際測(cè)量流程

鏡片放置：將待測(cè)玻璃鏡片置于兩探頭中間，確保表面與光軸垂直（傾斜角 <±0.5°）；

數(shù)據(jù)采集：?jiǎn)?dòng) LT-CCH 控制器，以 10kHz 采樣頻率連續(xù)采集 100 組數(shù)據(jù)，剔除異常值后取均值；

厚度計(jì)算：實(shí)測(cè)厚度 T=K×(D1-D2)，其中 D1、D2 為兩傳感器測(cè)量值；

誤差修正：根據(jù)環(huán)境溫度實(shí)時(shí)修正測(cè)量值（如溫度 28℃時(shí)，修正值 = 4.5μm×(28-25)=13.5μm，實(shí)測(cè)值需減去該修正量）。

五、測(cè)量結(jié)果與精度驗(yàn)證

（一）重復(fù)性測(cè)試

對(duì) 4mm 標(biāo)準(zhǔn)片進(jìn)行 10 次重復(fù)測(cè)量，結(jié)果如下：

（二）全量程精度驗(yàn)證

在 4-5mm 范圍內(nèi)選取 5 個(gè)厚度點(diǎn)（4.0mm、4.2mm、4.5mm、4.8mm、5.0mm），每個(gè)點(diǎn)測(cè)量 20 次，結(jié)果顯示：

最大絕對(duì)誤差：0.8μm（4.5mm 處）；

標(biāo)準(zhǔn)偏差：0.35μm；

線性度誤差：0.05μm（與參數(shù)表一致）。

（三）對(duì)比傳統(tǒng)方案優(yōu)勢(shì)

六、結(jié)論與應(yīng)用拓展

本案例通過 LTC2600 激光位移傳感器雙探頭對(duì)射方案，成功解決了 4-5mm 玻璃鏡片 1μm 精度的測(cè)量難題。方案核心優(yōu)勢(shì)在于：

量程與精度的平衡：利用 15mm 量程傳感器組合，通過機(jī)械調(diào)節(jié)與標(biāo)定突破單探頭量程限制，同時(shí)保證微米級(jí)精度；

誤差抑制策略：重疊區(qū)域?qū)π男?zhǔn)、標(biāo)準(zhǔn)件動(dòng)態(tài)標(biāo)定與溫度補(bǔ)償多管齊下，將系統(tǒng)誤差控制在 0.8μm 以內(nèi)；

工程化適配：配套控制器與軟件支持自動(dòng)化采集，21kHz 采樣頻率滿足生產(chǎn)線快速檢測(cè)需求。

該方案可拓展至其他透明 / 半透明板材厚度測(cè)量（如藍(lán)寶石襯底、光學(xué)棱鏡等），或通過多探頭陣列實(shí)現(xiàn)三維輪廓檢測(cè)。實(shí)際應(yīng)用中需注意環(huán)境振動(dòng)控制（建議安裝隔振平臺(tái)）與光路防塵（IP40 防護(hù)等級(jí)需配合防塵罩），以持續(xù)保證測(cè)量精度。

審核編輯 黃宇