一、項目背景與需求分析

1. 檢測目標

某光學元件制造商需對透明基材（玻璃/PET）表面的丙烯酸樹脂（PS）涂膠層進行全自動厚度檢測，具體參數(shù)要求：

膜厚范圍：3μm~40μm

檢測光源：波長>500nm（避免透明基材光反射干擾）

精度要求：

重復精度：<0.1μm（3σ）

絕對誤差：|測量值-實際值|/實際值 ≤0.5%

采樣規(guī)范：

采點間隔：5mm（空間分辨率）

采樣頻率：1ms/點（匹配產(chǎn)線速度）

系統(tǒng)擴展：預留2~3個工位，支持多探頭同步測量。

2. 技術難點

透明基材與PS膠層折射率差異（n=1.0 vs. 基材n≈1.5）導致反射信號復雜。

高速產(chǎn)線（60m/min）下的動態(tài)測量穩(wěn)定性。

涂層邊緣區(qū)域因表面張力導致的厚度突變（±2μm）需精準捕捉。

二、系統(tǒng)設計與實施方案

1. 硬件配置

2. 系統(tǒng)架構

3. 測量流程

標定階段（每日開機執(zhí)行）：

使用標準厚度片（5μm/20μm/35μm）進行傳感器零點校準。

基于PS膠折射率（n=1.0）設定光譜解析參數(shù)。

動態(tài)掃描：

探頭以5mm間隔觸發(fā)采樣（編碼器信號同步），單次掃描150mm長度（30個有效點）。

4個檢測位（中心/左/右/對角）全覆蓋，消除涂布頭偏移影響。

數(shù)據(jù)處理：

實時剔除因氣泡/雜質導致的異常值（閾值：±3σ）。

計算厚度均值（μ）、標準差（σ）及CPK值，生成厚度分布熱力圖。

三、數(shù)據(jù)驗證與性能分析

1. 靜態(tài)重復性測試（File 3數(shù)據(jù)）

2. 動態(tài)線性度驗證（File 2數(shù)據(jù)節(jié)選）

3. 產(chǎn)線實際數(shù)據(jù)（連續(xù)8小時運行）

四、關鍵技術突破

抗干擾算法

采用傅里葉變換分離基材與涂層的干涉信號（圖2）：I(k) = I_{base}(k) + I_{coating}(k) cdot e^{-j2knd}I(k)=Ibase?(k)+Icoating?(k)?e?j2knd

動態(tài)補償環(huán)境振動導致的相位偏移（<10nm殘差）。

多工位同步策略

控制器通過ABZ編碼器實現(xiàn)3探頭采樣同步（時間偏差<10μs）。

數(shù)據(jù)融合算法消除因基材翹曲導致的測量差異。

邊緣補償模型

建立厚度-邊緣距離關系：h(x) = h_0 + alpha e^{-beta x^2}h(x)=h0?+αe?βx2

精準捕捉邊緣5mm內厚度變化（分辨率0.1μm）。

五、應用效益

質量提升：CPK從1.2提升至1.8，年減少客戶投訴320起。

成本節(jié)約：替代人工抽檢（3人/班次），年節(jié)省人力成本￥65萬。

工藝優(yōu)化：通過厚度分布數(shù)據(jù)優(yōu)化涂布頭壓力參數(shù)，材料損耗降低12%。

六、結論

本方案通過泓川科技HT-T系列白光干涉?zhèn)鞲衅?，結合多工位同步控制與智能數(shù)據(jù)處理算法，實現(xiàn)了透明材料涂膠厚度的高精度動態(tài)檢測。實測數(shù)據(jù)表明，系統(tǒng)重復性達0.015μm，絕對誤差≤0.5%，完全滿足光學級涂層的嚴苛要求，為半導體、顯示面板等行業(yè)提供了可靠的在線檢測解決方案。

審核編輯 黃宇