5月21日上午，在上海浦東新區(qū)康橋工業(yè)園南區(qū)，由華虹集團(tuán)旗下上海華力集成電路制造有限公司建設(shè)和營(yíng)運(yùn)的 12 英寸先進(jìn)生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目（以下簡(jiǎn)稱“華虹六廠”）實(shí)現(xiàn)首臺(tái)工藝設(shè)備——光刻機(jī)搬入。據(jù)悉，此次搬入的首臺(tái)工藝設(shè)備為荷蘭ASML的 NXT 1980Di 光刻機(jī)，是目前中國(guó)大陸集成電路生產(chǎn)線上最先進(jìn)的浸沒式光刻機(jī)。

上海華力相關(guān)負(fù)責(zé)人向集微網(wǎng)記者表示，未來五個(gè)月內(nèi)，華虹六廠工藝設(shè)備將集中搬入，并完成安裝調(diào)試，今年年底之前將實(shí)現(xiàn)試生產(chǎn)，并達(dá)成 10K/月的產(chǎn)能。除了此次正式搬入的第一臺(tái) ASML光刻機(jī)設(shè)備，未來幾個(gè)月內(nèi)還將會(huì)有多臺(tái)光刻機(jī)設(shè)備陸續(xù)到位。

華虹六廠將于2022年底建成達(dá)產(chǎn)。

據(jù)了解，華虹六廠是上海市最大的集成電路產(chǎn)業(yè)投資項(xiàng)目，總投資 387 億元人民幣，將建成月產(chǎn)能 4 萬片的 12 英寸集成電路芯片生產(chǎn)線，工藝覆蓋 28-14 納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)。項(xiàng)目計(jì)劃于 2022 年底建成達(dá)產(chǎn)。項(xiàng)目主要從事邏輯芯片生產(chǎn)，重點(diǎn)服務(wù)國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)企業(yè)先進(jìn)芯片的制造，并滿足部分事關(guān)國(guó)家信息安全的重點(diǎn)芯片制造需求。

自 2016 年 12 月 30 日開工以來，在參與華虹六廠建設(shè)的管理者有序組織協(xié)調(diào)下，廣大建設(shè)者克服連綿陰雨、持續(xù)高溫以及兩個(gè)春節(jié)長(zhǎng)假放假等不利因素，合理安排，規(guī)范和錯(cuò)時(shí)施工。經(jīng)過 16 個(gè)半月的努力，目前主廠房已完成凈化裝修，相關(guān)配套機(jī)電設(shè)備準(zhǔn)備就緒，具備了工藝設(shè)備搬入條件，較原計(jì)劃進(jìn)度提前 1 個(gè)半月。

上海華力相關(guān)負(fù)責(zé)人透露，“未來產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛，包括手機(jī)通訊類芯片、物聯(lián)網(wǎng)和人工智能等等?！?/p>

華虹集團(tuán)黨委書記、董事長(zhǎng)張素心表示，華力二期的啟動(dòng)標(biāo)志著華虹集團(tuán)新二十年征程的開始，此次搬入的 NXT 1980Di 光刻機(jī)是迄今為止中國(guó)大陸最先進(jìn)的光刻機(jī)，這個(gè)節(jié)點(diǎn)對(duì)于華力二期來說非常特殊。華虹無錫基地項(xiàng)目也已經(jīng)于今年 3 月 2 日正式開工，預(yù)示著華虹集團(tuán)旗下華力二期和華虹無錫項(xiàng)目?jī)蓷l 12 英寸項(xiàng)目將同時(shí)加快推進(jìn)。

目前，總投資 100 億美元華虹無錫基地項(xiàng)目（華虹七廠）正在建設(shè)中，將新建一條工藝等級(jí) 90-65 納米、月產(chǎn)能約 4 萬片的 12 英寸特色工藝集成電路生產(chǎn)線，支持 5G 和物聯(lián)網(wǎng)等新興領(lǐng)域的應(yīng)用。

大陸已有多家晶圓制造廠購(gòu)入ASML設(shè)備

光刻機(jī)（又稱曝光機(jī)）是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備，對(duì)芯片工藝有著決定性的影響。目前，全球僅有極少數(shù)的光刻機(jī)設(shè)備廠商能夠研制出高端光刻機(jī)，而荷蘭的 ASML 在高端光刻機(jī)領(lǐng)域占據(jù)了全球 90% 的市場(chǎng)份額，在干式曝光機(jī)、浸潤(rùn)式光刻機(jī)，EUV（極紫外線光刻機(jī)）的市場(chǎng)幾乎處于獨(dú)霸地位。

此前有市場(chǎng)傳出受西方《瓦森納協(xié)議》的限制，中國(guó)只能買到 ASML 的中低端產(chǎn)品，出價(jià)再高，也無法購(gòu)得 ASML 的高端設(shè)備。但是，ASML 已否認(rèn)該傳言，并表示對(duì)中國(guó)大陸晶圓廠客戶一視同仁。

據(jù)了解，近日陸續(xù)有多臺(tái) ASML 的設(shè)備運(yùn)入中國(guó)大陸晶圓制造廠。其中，中芯國(guó)際已經(jīng)購(gòu)入首臺(tái)價(jià)值 1.2 億美元的 ASML EUV 設(shè)備，預(yù)計(jì)將于 2019 年初交貨；長(zhǎng)江存儲(chǔ)的首臺(tái)光刻機(jī)也已運(yùn)抵武漢天河機(jī)場(chǎng)，這臺(tái)光刻機(jī)為 ASML 的 193nm 浸潤(rùn)式光刻機(jī)，售價(jià) 7200 萬美元，用于 14nm~20nm 工藝。

華虹六廠首臺(tái)ASML光刻機(jī)正式搬入

而此次華虹六廠搬入的 NXT 1980Di 光刻機(jī)是一臺(tái) 193nm沉浸式光刻機(jī)，可用于 28nm~14nm 晶圓生產(chǎn)，同時(shí)它也是目前中國(guó)大陸最先進(jìn)的沉浸式光刻設(shè)備。

ASML 全球執(zhí)行副總裁 Ron Kool 表示，自 2015 年以來，作為華力的戰(zhàn)略合作伙伴，ASML 團(tuán)隊(duì)就跟華力團(tuán)隊(duì)一起在28納米的研發(fā)項(xiàng)目中開展了緊密合作，并在光刻領(lǐng)域取得了可喜的成果。此后，我們以 ASML 光刻機(jī)為基礎(chǔ)，在 28 納米 HKMG 的研發(fā)項(xiàng)目中，跟華力團(tuán)隊(duì)繼續(xù)開展了深入的合作，我們希望通過這樣的合作，在光刻領(lǐng)域更好、更全面的協(xié)助華力研發(fā)。

華虹六廠將助力上海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展

2017 年，上海市集成電路產(chǎn)業(yè)整體銷售規(guī)模接近 1200 億元，同比增長(zhǎng)超過 12%。其中，芯片設(shè)計(jì)業(yè)實(shí)現(xiàn)銷售約440億元，同比增長(zhǎng)近20%；芯片制造業(yè)實(shí)現(xiàn)銷售近 300 億元，同比增長(zhǎng)約 8%；裝備材料業(yè)實(shí)現(xiàn)銷售超過 150 億元，同比增長(zhǎng)超過 30%，成為帶動(dòng)上海市集成電路產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的“三駕馬車”。

據(jù)悉，華虹六廠 12 英寸先進(jìn)生產(chǎn)線項(xiàng)目已被列入國(guó)家《“十三五”集成電路產(chǎn)業(yè)重大生產(chǎn)力布局規(guī)劃》，是國(guó)家“910工程”的子項(xiàng)目之一，也是“十三五”期間上海市重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目和上海市重大工程。

而此次華虹六廠實(shí)現(xiàn)首臺(tái)工藝設(shè)備搬入，標(biāo)志著將康橋工業(yè)園南區(qū)打造為上海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展新基地、上海市落實(shí)《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》取得了階段性勝利，同時(shí)對(duì)上海建設(shè)先進(jìn)制造業(yè)的產(chǎn)業(yè)集群高地、打響“上海制造”品牌有著重要意義。

上海華力相關(guān)負(fù)責(zé)人向集微網(wǎng)記者表示，華虹六廠達(dá)成量產(chǎn)能力后對(duì)于上海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大。首先，從客戶和服務(wù)的角度來看，在先進(jìn)制程方面可以減少對(duì)海外制造能力的依賴，并實(shí)現(xiàn)上海本土化生產(chǎn)；同時(shí)，從國(guó)家戰(zhàn)略層面，華虹六廠項(xiàng)目也呼應(yīng)了國(guó)家戰(zhàn)略方面的需要，將向高端芯片實(shí)現(xiàn)自主可控邁進(jìn)。