一、引言

全球半導(dǎo)體行業(yè)正面臨通縮壓力，市場需求增速放緩與制造成本上升的雙重?cái)D壓，使降本增效成為企業(yè)生存的核心命題。3D 白光干涉儀作為半導(dǎo)體晶圓、精密光學(xué)元件檢測的關(guān)鍵設(shè)備，傳統(tǒng)依賴進(jìn)口的模式導(dǎo)致采購與維護(hù)成本居高不下，加劇行業(yè)降本困局。新啟航國產(chǎn) 3D 白光干涉儀憑借成本優(yōu)勢與技術(shù)實(shí)力，成為破解這一困境的 “逆行者”。

二、設(shè)備采購成本的直接壓縮

2.1 國產(chǎn)化替代的價(jià)格優(yōu)勢

新啟航 3D 白光干涉儀通過核心部件國產(chǎn)化（如自主研發(fā)的光學(xué)鏡頭、激光光源），擺脫對進(jìn)口零部件的依賴，設(shè)備售價(jià)僅為同性能進(jìn)口產(chǎn)品的 50%-60%。以 12 英寸晶圓檢測設(shè)備為例，進(jìn)口設(shè)備單臺采購成本約 800 萬元，而新啟航同類設(shè)備價(jià)格控制在 400-480 萬元，直接為企業(yè)節(jié)省近半采購支出，在通縮周期中顯著降低固定資產(chǎn)投入壓力。

2.2 規(guī)?；a(chǎn)的成本攤薄

依托國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對檢測設(shè)備的旺盛需求，新啟航實(shí)現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)，通過標(biāo)準(zhǔn)化模組設(shè)計(jì)與自動化組裝線，將單臺設(shè)備生產(chǎn)成本降低 30%。同時(shí)，與國內(nèi)供應(yīng)商建立長期合作，批量采購原材料進(jìn)一步攤薄成本，形成 “量產(chǎn) - 降價(jià) - 再放量” 的正向循環(huán)，為持續(xù)降價(jià)提供空間。

三、全生命周期成本的系統(tǒng)優(yōu)化

3.1 維護(hù)與耗材成本的銳減

進(jìn)口設(shè)備的維護(hù)依賴原廠技術(shù)支持，單次維護(hù)費(fèi)用高達(dá) 10-20 萬元，且備件更換周期長達(dá) 4-6 周。新啟航建立本土化服務(wù)體系，維護(hù)工程師 4 小時(shí)內(nèi)響應(yīng)，單次維護(hù)成本降至 3-5 萬元，核心備件庫存充足，更換周期縮短至 1 周。自主研發(fā)的耐磨光學(xué)元件使用壽命延長至進(jìn)口產(chǎn)品的 2 倍，耗材更換頻率降低 50%，年耗材成本節(jié)省 60 萬元 / 臺。

3.2 效率提升帶來的隱性降本

新啟航設(shè)備搭載高速掃描與 AI 缺陷識別算法，檢測效率較進(jìn)口設(shè)備提升 30%，單臺設(shè)備日均檢測晶圓數(shù)量從 200 片增至 260 片。在通縮環(huán)境下，企業(yè)可通過設(shè)備效率提升減少設(shè)備采購數(shù)量，以 3 條產(chǎn)線為例，原本需 6 臺進(jìn)口設(shè)備，現(xiàn)僅需 4 臺新啟航設(shè)備即可滿足產(chǎn)能需求，間接節(jié)省設(shè)備投入超千萬元。

四、技術(shù)適配與良率提升的隱性降本

4.1 國產(chǎn)產(chǎn)線的定制化適配

針對國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)線的工藝特點(diǎn)（如國產(chǎn)光刻膠、靶材的適配需求），新啟航開發(fā)定制化檢測模塊，可精準(zhǔn)識別國產(chǎn)材料特有的納米級缺陷（如光刻膠殘留、薄膜應(yīng)力不均），幫助企業(yè)優(yōu)化工藝參數(shù)，將晶圓良率提升 2%-3%。以 12 英寸晶圓（單片價(jià)值約 5000 元）的百萬片級產(chǎn)能計(jì)算，年增收益超 1 億元，間接破解降本壓力。

4.2 數(shù)據(jù)協(xié)同的成本優(yōu)化

設(shè)備內(nèi)置 IoT 模塊，可與企業(yè) MES 系統(tǒng)實(shí)時(shí)交互檢測數(shù)據(jù)，通過大數(shù)據(jù)分析預(yù)測潛在工藝風(fēng)險(xiǎn)，減少批量報(bào)廢概率。某 14nm 制程晶圓廠應(yīng)用后，批次不良率從 1.2% 降至 0.8%，單批次損失減少 40 萬元，在通縮周期中為企業(yè)守住利潤空間。

大視野 3D 白光干涉儀：納米級測量全域解決方案?

突破傳統(tǒng)局限，定義測量新范式！大視野 3D 白光干涉儀憑借創(chuàng)新技術(shù)，一機(jī)解鎖納米級全場景測量，重新詮釋精密測量的高效精密。

三大核心技術(shù)革新?

1）智能操作革命：告別傳統(tǒng)白光干涉儀復(fù)雜操作流程，一鍵智能聚焦掃描功能，輕松實(shí)現(xiàn)亞納米精度測量，且重復(fù)性表現(xiàn)卓越，讓精密測量觸手可及。?

2）超大視野 + 超高精度：搭載 0.6 倍鏡頭，擁有 15mm 單幅超大視野，結(jié)合 0.1nm 級測量精度，既能滿足納米級微觀結(jié)構(gòu)的精細(xì)檢測，又能無縫完成 8 寸晶圓 FULL MAPPING 掃描，實(shí)現(xiàn)大視野與高精度的完美融合。?

3）動態(tài)測量新維度：可集成多普勒激光測振系統(tǒng)，打破靜態(tài)測量邊界，實(shí)現(xiàn) “動態(tài)” 3D 輪廓測量，為復(fù)雜工況下的測量需求提供全新解決方案。?

實(shí)測驗(yàn)證硬核實(shí)力?

1）硅片表面粗糙度檢測：憑借優(yōu)于 1nm 的超高分辨率，精準(zhǔn)捕捉硅片表面微觀起伏，實(shí)測粗糙度 Ra 值低至 0.7nm，為半導(dǎo)體制造品質(zhì)把控提供可靠數(shù)據(jù)支撐。?

（以上數(shù)據(jù)為新啟航實(shí)測結(jié)果）

有機(jī)油膜厚度掃描：毫米級超大視野，輕松覆蓋 5nm 級有機(jī)油膜，實(shí)現(xiàn)全區(qū)域高精度厚度檢測，助力潤滑材料研發(fā)與質(zhì)量檢測。?

高深寬比結(jié)構(gòu)測量：面對深蝕刻工藝形成的深槽結(jié)構(gòu)，展現(xiàn)強(qiáng)大測量能力，精準(zhǔn)獲取槽深、槽寬數(shù)據(jù)，解決行業(yè)測量難題。?

分層膜厚無損檢測：采用非接觸、非破壞測量方式，對多層薄膜進(jìn)行 3D 形貌重構(gòu)，精準(zhǔn)分析各層膜厚分布，為薄膜材料研究提供無損檢測新方案。?

新啟航半導(dǎo)體，專業(yè)提供綜合光學(xué)3D測量解決方案！

審核編輯 黃宇