硅清洗機(jī)的配件種類繁多，具體取決于清洗工藝類型（如濕法化學(xué)清洗、超聲清洗、等離子清洗等）和設(shè)備結(jié)構(gòu)。以下是常見的配件分類及典型部件：

一、核心功能配件

清洗槽（Tank）

• 材質(zhì)：耐腐蝕材料（如PFA、PTFE、聚丙烯PP或不銹鋼316L）。
• 類型：單槽、多槽串聯(lián)（如RCA清洗用SC-1/SC-2槽）、噴淋槽等。
• 功能：容納清洗液（如DHF、BOE、SC溶液等），直接接觸硅片。

超聲系統(tǒng)（Ultrasonic System）

• 換能器（Transducer）：將電能轉(zhuǎn)換為高頻振動(dòng)（典型頻率28kHz/40kHz/80kHz）。
• 超聲波發(fā)生器（Generator）：調(diào)節(jié)功率（通常50-500W）和頻率。
• 共振板（Resonator Plate）：均勻分布聲波，增強(qiáng)空化效應(yīng)。
• 耦合液：如去離子水，避免硅片與換能器直接接觸導(dǎo)致?lián)p壞。

噴淋系統(tǒng)（Spray System）

• 噴頭（Nozzle）：石英或PFA材質(zhì)，防止腐蝕和污染。
• 壓力調(diào)節(jié)閥：控制噴淋壓力（0.1-0.5MPa）。
• 過濾模塊：去除噴淋液中的顆粒（如0.1μm過濾器）。

加熱與溫控系統(tǒng)

• 加熱盤（Heater Plate）：電阻加熱或蒸汽加熱，溫度范圍常溫至100℃。
• 溫度傳感器（RTD或熱電偶）：實(shí)時(shí)監(jiān)控并反饋至控制器。
• 隔熱層：減少熱量散失，提高能效。

二、流體處理配件

泵與閥門

• 耐腐蝕泵：如氟塑料磁力泵（輸送DHF、BHF等強(qiáng)腐蝕性液體）。
• 電磁閥/氣動(dòng)閥：控制清洗液進(jìn)出，材質(zhì)需兼容化學(xué)介質(zhì)。
• 流量計(jì)：監(jiān)測(cè)液體流量（如蠕動(dòng)泵或質(zhì)量流量計(jì)）。

過濾系統(tǒng)

• 在線過濾器：0.1-0.5μm濾芯（如PTFE或尼龍材質(zhì)），防止顆粒二次污染。
• 循環(huán)過濾模塊：保持清洗液潔凈度（如UF超濾系統(tǒng)）。
• DI水樹脂交換柱：用于純水制備（電阻率≥18.2MΩ·cm）。

管道與密封件

• PFA/PTFE管路：耐腐蝕、耐高溫，適用于酸堿溶液傳輸。
• 密封圈（O-ring）：氟橡膠（FKM）或全氟橡膠（FFKM），耐化學(xué)腐蝕。
• 快速接頭：方便更換槽體或維護(hù)。

三、硅片傳送與固定配件

載具（Cassette/Basket）

• 材質(zhì)：PFA或陽極氧化鋁（避免金屬污染）。
• 結(jié)構(gòu)：多孔設(shè)計(jì)（如網(wǎng)格籃），確保清洗液充分接觸硅片。
• 防靜電處理：防止吸附顆粒。

機(jī)械手臂（Robotic Arm）

• 抓取指套：硅膠或PTFE材質(zhì)，避免劃傷硅片表面。
• 運(yùn)動(dòng)軌道：高精度線性導(dǎo)軌，定位精度±0.1mm。

旋轉(zhuǎn)夾持器（Rotary Holder）

• 適用場景：單晶硅棒或大尺寸硅片（如300mm晶圓）的垂直清洗。
• 轉(zhuǎn)速控制：可調(diào)（通常10-100rpm），促進(jìn)均勻腐蝕。

四、輔助功能配件

干燥系統(tǒng)

• 離心干燥機(jī)：高速旋轉(zhuǎn)（2000-5000rpm）甩干硅片。
• 氮?dú)獯祾哐b置：配合熱風(fēng)（如IR燈）加速干燥，防止水痕殘留。
• 真空干燥腔：低溫烘干（<60℃），避免高溫?fù)p傷。

廢氣處理模塊

• 冷凝器：回收揮發(fā)性溶劑（如IPA、丙酮）。
• 活性炭過濾器：吸附酸性氣體（如HF、Cl?）。
• 排風(fēng)風(fēng)機(jī)：防爆型，風(fēng)量≥500m3/h。

檢測(cè)與監(jiān)控配件

• 在線pH計(jì)/電導(dǎo)率儀：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)清洗液狀態(tài)。
• 顆粒計(jì)數(shù)器：檢測(cè)清洗后硅片表面潔凈度（如<10顆/cm2）。
• 攝像頭系統(tǒng)：觀察槽內(nèi)硅片狀態(tài)，防止堆疊或傾斜。

五、典型配件組合示例

濕法超聲清洗機(jī)配件清單

• 聚丙烯清洗槽（帶加熱盤）
• 40kHz超聲波發(fā)生器+PTFE共振板
• PFA管路+氟橡膠密封圈
• 耐腐蝕磁力泵+電磁閥
• 載具（PFA材質(zhì)，25片容量）
• DI水樹脂柱+在線過濾器（0.2μm）

等離子清洗機(jī)配件清單

• 石英腔體（耐臭氧腐蝕）
• 射頻電源（13.56MHz）
• 氧氣/氬氣質(zhì)量流量計(jì)
• 真空系統(tǒng)（干泵+壓力傳感器）
• 靜電消除棒（防止硅片吸附）

六、選購與維護(hù)建議

1. 兼容性優(yōu)先：根據(jù)清洗液類型（如BOE、SC-1）選擇耐腐蝕材質(zhì)（如PFA>PP>不銹鋼）。
2. 模塊化設(shè)計(jì)：便于升級(jí)（如增加噴淋功能或更換超聲頻率）。
3. 定期維護(hù)：
   • 清洗槽每周用HF稀溶液去除沉積物；
   • 超聲波換能器每月檢測(cè)共振頻率；
   • 密封圈每季度更換（尤其強(qiáng)酸環(huán)境）。

通過合理選擇和搭配配件，可顯著提升硅片清洗效率、降低缺陷率（如顆粒污染、劃痕）并延長設(shè)備壽命。