半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為現(xiàn)代科技的基石，其技術(shù)的發(fā)展日新月異。半導(dǎo)體器件從設(shè)計到生產(chǎn)，每個環(huán)節(jié)都對測試設(shè)備的精度、效率提出了嚴(yán)苛要求。示波器作為關(guān)鍵的測試測量儀器，在半導(dǎo)體器件測試中發(fā)揮著不可或缺的作用。是德科技憑借深厚的技術(shù)積累和持續(xù)的創(chuàng)新，推出了一系列高性能示波器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的各個環(huán)節(jié)，從芯片設(shè)計、晶圓制造，到封裝測試，有效保障了半導(dǎo)體器件的質(zhì)量與性能。
是德示波器產(chǎn)品特性剖析
卓越的帶寬與采樣率
是德示波器擁有極為出色的帶寬和采樣率。以 UXR0592A 高性能實時示波器為例，它能提供高達(dá) 59GHz 的實時測量帶寬和 250Gsa/s 的采樣率。這一特性使其可以精準(zhǔn)捕捉和分析半導(dǎo)體器件中高速變化的信號，如高速數(shù)字信號、射頻信號等。在超寬帶信號以及射頻信號的底噪聲、無雜散動態(tài)范圍、諧波失真等參數(shù)的測量場景中，憑借其高帶寬和采樣率，UXR0592A 能夠精確還原信號的細(xì)節(jié)，為工程師提供準(zhǔn)確的測試數(shù)據(jù)。

高精度測量
是德示波器具備卓越的信號完整性，擁有更寬帶寬、更高 ENOB（有效位數(shù)）和更低本底噪聲。這些優(yōu)勢使其在測量半導(dǎo)體器件的各種電氣參數(shù)時，能達(dá)到極高的精度。在半導(dǎo)體器件的參數(shù)測試中，精確的電壓、電流、時間等參數(shù)測量，對于判斷器件是否符合設(shè)計要求至關(guān)重要。是德示波器的高精度測量能力，能夠有效減少測量誤差，為半導(dǎo)體器件的質(zhì)量評估提供可靠依據(jù)。
多功能分析軟件
是德科技為示波器配套了功能強(qiáng)大的分析軟件。借助矢量信號分析軟件，示波器可進(jìn)行雷達(dá)參數(shù)綜合分析；利用抖動分析軟件，能夠?qū)Τ瑢拵У奶l信號進(jìn)行分析。這些軟件豐富了示波器的功能，使其不僅能進(jìn)行基本的波形顯示和測量，還能深入分析復(fù)雜信號的特性，滿足半導(dǎo)體測試多樣化的需求。
是德示波器在半導(dǎo)體器件測試各環(huán)節(jié)的應(yīng)用
芯片設(shè)計階段
在芯片設(shè)計過程中，工程師需要對電路的性能進(jìn)行反復(fù)驗證和調(diào)試。是德示波器憑借其高帶寬、高采樣率和高精度，成為驗證芯片設(shè)計的得力工具。在數(shù)字電路設(shè)計時，工程師通過示波器觀察和分析復(fù)雜的數(shù)字信號，以調(diào)試電路，優(yōu)化性能。在設(shè)計高速串行接口時，借助是德示波器，能夠分析信號的完整性，包括信號的反射、串?dāng)_等問題，從而確保接口的可靠通信。在模擬電路設(shè)計中，示波器用于驗證電路的性能指標(biāo)，如帶寬、噪聲和失真等。通過測量電路的輸出信號，工程師可以評估電路是否達(dá)到設(shè)計要求，及時發(fā)現(xiàn)并解決設(shè)計中的問題，保障芯片功能的完整性和可靠性。
晶圓制造階段
晶圓制造環(huán)節(jié)對工藝控制的要求極為嚴(yán)格，任何細(xì)微的偏差都可能影響芯片的性能和良率。是德示波器在晶圓制造過程中可用于監(jiān)測和分析各種信號，為工藝控制提供數(shù)據(jù)支持。在光刻工藝中，通過對光刻設(shè)備中的信號進(jìn)行監(jiān)測，確保光刻過程的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。通過測量信號的頻率、相位等參數(shù)，工程師可以判斷設(shè)備是否正常工作，及時調(diào)整工藝參數(shù)，保證光刻質(zhì)量。在刻蝕、沉積等工藝中，示波器同樣可用于監(jiān)測相關(guān)設(shè)備的信號，實現(xiàn)對工藝過程的實時監(jiān)控，及時發(fā)現(xiàn)并解決潛在問題，提高晶圓制造的良率。
芯片封裝測試階段
芯片封裝后，需要進(jìn)行全面的測試，以確保其性能符合標(biāo)準(zhǔn)。是德示波器在芯片封裝測試中發(fā)揮著關(guān)鍵作用，可用于測量芯片的各種電氣參數(shù)，如輸入輸出特性、時序關(guān)系等，判斷芯片是否正常工作。在進(jìn)行芯片的可靠性測試時，示波器可用于監(jiān)控芯片在不同環(huán)境條件下的性能變化，如溫度、濕度等。通過長時間監(jiān)測芯片的信號，能夠發(fā)現(xiàn)潛在的故障，評估芯片的可靠性。在對功率半導(dǎo)體器件進(jìn)行雙脈沖測試時，示波器可采集雙脈沖波形，并傳輸分析數(shù)據(jù)，得到開通時間、關(guān)斷時間、開關(guān)損耗等關(guān)鍵參數(shù)，為評估功率半導(dǎo)體器件的性能提供依據(jù)。
是德示波器助力半導(dǎo)體測試的優(yōu)勢
提高測試效率
是德示波器配套的軟件和解決方案，可實現(xiàn)測試過程的自動化執(zhí)行，減少人工操作。以 DSOX 系列示波器搭配 PathWave BenchVue 軟件為例，支持遠(yuǎn)程控制和自動化測試腳本，能夠?qū)崿F(xiàn)批量產(chǎn)品的參數(shù)檢測，大幅提升測試效率。在產(chǎn)線測試中，自動化測試功能可以快速完成對大量芯片的測試，縮短測試周期，提高生產(chǎn)效率。
增強(qiáng)數(shù)據(jù)分析能力
是德示波器的軟件和解決方案提供了強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析功能。通過對測試數(shù)據(jù)的深入分析，工程師可以快速定位問題，找出問題的根源，為產(chǎn)品的優(yōu)化和改進(jìn)提供方向。在芯片設(shè)計階段，數(shù)據(jù)分析功能有助于工程師評估設(shè)計方案的合理性，優(yōu)化電路設(shè)計；在生產(chǎn)階段，數(shù)據(jù)分析能夠幫助企業(yè)發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)過程中的問題，改進(jìn)生產(chǎn)工藝，提高產(chǎn)品質(zhì)量。
靈活配置與可擴(kuò)展性
是德示波器具備靈活的配置和可擴(kuò)展性，能夠滿足不同客戶的多樣化需求。DSOX 系列示波器帶寬可從 70MHz 升級至 200MHz，還支持選配串行協(xié)議分析軟件和高級數(shù)學(xué)運(yùn)算功能，適應(yīng)企業(yè)技術(shù)迭代的需求。這種靈活性使得企業(yè)在不同的發(fā)展階段，都能根據(jù)自身需求配置合適的示波器，降低成本，提高設(shè)備的利用率。

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，對測試設(shè)備的要求也日益提高。是德示波器憑借其卓越的性能、豐富的功能以及靈活的配置，在半導(dǎo)體器件測試的各個環(huán)節(jié)發(fā)揮著重要作用，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了強(qiáng)有力的支持。未來，隨著半導(dǎo)體技術(shù)向更高性能、更小尺寸的方向發(fā)展，是德科技有望繼續(xù)創(chuàng)新，推出更先進(jìn)的示波器產(chǎn)品，進(jìn)一步滿足半導(dǎo)體測試領(lǐng)域不斷變化的需求，推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)進(jìn)步。

審核編輯 黃宇