高純度（HP）和超高純度（UHP）應(yīng)用產(chǎn)品遵循嚴(yán)格的清潔標(biāo)準(zhǔn)，并暴露于受控的生產(chǎn)環(huán)境中。這些應(yīng)用包括半導(dǎo)體制造、薄膜沉積、食品和飲料加工和包裝、飛機(jī)制造、醫(yī)療設(shè)備制造、納米藥物開發(fā)、生物制藥生產(chǎn)、材料分析實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)實(shí)驗(yàn)室等。當(dāng)這些應(yīng)用場(chǎng)景中的雜質(zhì)達(dá)到特定尺寸或濃度時(shí)，會(huì)對(duì)最終產(chǎn)品造成負(fù)面影響。因此在選擇原材料、工藝組件或設(shè)計(jì)潔凈室時(shí)必須采取特殊措施——因?yàn)樯a(chǎn)流程中若出現(xiàn)意外雜質(zhì)，可能導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降、產(chǎn)量降低，進(jìn)而造成經(jīng)濟(jì)損失。某些工藝流程中，反應(yīng)過程可能受阻，產(chǎn)生不良副產(chǎn)物。

例如，在半導(dǎo)體晶圓、太陽(yáng)能電池板或LED顯示屏制造過程中，薄膜沉積或亞微米層沉積工藝中，氣體、液體或組件中的雜質(zhì)可能導(dǎo)致集成電路和面板出現(xiàn)缺陷。這種通常發(fā)生在制造后期的良率下降問題，會(huì)加劇產(chǎn)品成本。同樣，食品和飲料行業(yè)或生物制藥生產(chǎn)中某些雜質(zhì)的存在超過規(guī)定的濃度水平可能導(dǎo)致工藝污染。在材料分析實(shí)驗(yàn)室或研發(fā)實(shí)驗(yàn)室中，由原材料或組件引入的雜質(zhì)可能導(dǎo)致錯(cuò)誤的結(jié)果和解釋。因此，HP和UHP產(chǎn)品的制造設(shè)置遵循非常嚴(yán)格的通用清潔標(biāo)準(zhǔn)。這些標(biāo)準(zhǔn)不僅由原材料供應(yīng)商遵循，而且由流程和儀器系統(tǒng)設(shè)計(jì)中的組件和傳感器制造商遵。

SEMI F20兼容壓力傳感器

霍尼韋爾最新推出的13V系列不銹鋼壓力傳感器采用油浸式、介質(zhì)隔離設(shè)計(jì)，專為極端環(huán)境下的氣體和液體流量測(cè)量超高壓力（UHP）應(yīng)用而打造。這款堅(jiān)固耐用的介質(zhì)隔離裝置將霍尼韋爾認(rèn)證的壓阻式半導(dǎo)體芯片封裝于油浸式外殼中，經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證具有高度可靠性、穩(wěn)定性和精準(zhǔn)度。該傳感器采用SEMI F20兼容的環(huán)和隔膜設(shè)計(jì)，具有卓越的耐腐蝕性，可承受鹵化氣體的侵蝕這在半導(dǎo)體制造過程中是常見的。13V系列是專門設(shè)計(jì)用于在長(zhǎng)期真空條件下最小化偏移漂移，使其成為關(guān)鍵工業(yè)應(yīng)用的理想選擇，這些應(yīng)用中多次運(yùn)行之間通常存在真空條件。環(huán)的激光焊接和球體確?？煽康拿芊夂蛯?duì)環(huán)境因素的保護(hù)，同時(shí)保持準(zhǔn)確的壓力測(cè)量。這些傳感器具有高生命周期能力，并且設(shè)計(jì)用于進(jìn)一步的包裝集成在OEM（原始設(shè)備制造商）應(yīng)用中。

1. 極端真空條件下的偏移漂移

在半導(dǎo)體晶圓加工過程中，蝕刻和蒸鍍工藝需要以不同流速輸送多種氣體的精確量。精準(zhǔn)的流量測(cè)量對(duì)于沉積、鈍化或防氧化等工藝中氣體混合物的精準(zhǔn)控制至關(guān)重要。出口壓力范圍從極真空(<0.001帕斯卡）到高于大氣壓(1200托）不等。除了總誤差輸出外，偏移漂移還會(huì)直接影響測(cè)量精度、校準(zhǔn)穩(wěn)定性、環(huán)境敏感性、性能一致性及長(zhǎng)期可靠性。13V傳感器專為在極端真空環(huán)境和高溫條件下穩(wěn)定運(yùn)行而設(shè)計(jì)，因此在蝕刻和蒸鍍應(yīng)用中具有廣泛適用性。上圖展示了SEMI F20傳感器在高溫真空環(huán)境(<0.001帕斯卡，90°C）下連續(xù)90天的優(yōu)異偏移漂移性能(< ±0.1 %頻率響應(yīng)范圍）。

2. 因重新定向?qū)е碌妮敵鲎兓?/span>

油浸式壓力傳感器的安裝方向會(huì)顯著影響其讀數(shù)，這主要源于重力作用于內(nèi)部油柱產(chǎn)生的影響。由于重力作用，油層產(chǎn)生的附加壓力會(huì)隨傳感器方向變化，可能與主壓力相反、垂直或助力。這種誤差壓力與主壓力的疊加效應(yīng)，會(huì)通過膜片傳遞至壓阻元件。對(duì)于設(shè)計(jì)欠佳的壓力傳感器，不同安裝方向會(huì)導(dǎo)致偏移量發(fā)生顯著變化。

13V壓力傳感器采用優(yōu)化的油量設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高效的壓力傳遞，同時(shí)將對(duì)偏移量的影響降至最低，從而確保輸出變化最小且性能穩(wěn)定，不受產(chǎn)品方向影響。上一頁(yè)的圖表顯示，當(dāng)產(chǎn)品重新定位時(shí)，傳感器輸出僅有輕微偏移。

13V壓力傳感器的可濕性介質(zhì)使用了符合上表所示嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)的原材料，確保傳感器具有最高質(zhì)量。

超越預(yù)期：13V壓力傳感器重新定義卓越。

SEMI F20 13V壓力傳感器在性能和質(zhì)量方面樹立了標(biāo)桿，如上文數(shù)據(jù)所示。嚴(yán)格的測(cè)試和分析突顯了霍尼韋爾對(duì)卓越的承諾，確保產(chǎn)品始終符合并超越客戶期望。13V壓力傳感器通過確保超潔凈性能，顯著降低污染風(fēng)險(xiǎn)，從而增強(qiáng)工藝完整性。它通過減少后期制造中的殘留物，提高生產(chǎn)良率和成本效益。同時(shí)，它還確保了研發(fā)和材料分析中的準(zhǔn)確結(jié)果，支持符合全球清潔標(biāo)準(zhǔn)。