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海伯森檢測應(yīng)用案例之--光學(xué)板輪廓及瑕疵檢測

海伯森技術(shù) ? 2025-08-13 10:59 ? 次閱讀
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光學(xué)板(如光學(xué)玻璃、亞克力板、導(dǎo)光板等,廣泛應(yīng)用于顯示設(shè)備、光學(xué)儀器、激光系統(tǒng)等領(lǐng)域)的輪廓及瑕疵檢測是保障其光學(xué)性能、結(jié)構(gòu)適配性和使用可靠性的關(guān)鍵環(huán)節(jié),主要目的如下:
一、確保輪廓精度,保障結(jié)構(gòu)與功能適配
光學(xué)板的輪廓(如尺寸、平整度、彎曲度、邊緣角度等)直接影響其在設(shè)備中的裝配精度和功能實現(xiàn):
結(jié)構(gòu)適配性:在精密光學(xué)系統(tǒng)(如鏡頭模組、投影儀光路)中,光學(xué)板的輪廓尺寸需與其他部件嚴格匹配,若輪廓偏差過大(如厚度不均、邊緣不平整),會導(dǎo)致裝配間隙超標、光路偏移,甚至無法正常安裝。
光學(xué)性能穩(wěn)定性:部分光學(xué)板(如導(dǎo)光板、棱鏡)的輪廓設(shè)計直接決定光線的折射、反射路徑,輪廓精度不足會導(dǎo)致光路紊亂(如顯示設(shè)備亮度不均、光學(xué)儀器成像模糊),檢測輪廓可確保其符合光學(xué)設(shè)計參數(shù)。
機械強度保障:輪廓缺陷(如邊緣崩裂、厚度突變)可能導(dǎo)致應(yīng)力集中,降低光學(xué)板的抗沖擊性,在后續(xù)加工或使用中(如受振動、溫度變化)易斷裂,影響設(shè)備壽命。
二、滿足高端領(lǐng)域的嚴苛要求
在高端應(yīng)用場景(如半導(dǎo)體光刻、航天光學(xué)系統(tǒng)、醫(yī)療精密儀器)中,光學(xué)板的輪廓精度和瑕疵容忍度極低(甚至要求 “納米級” 誤差、零可見瑕疵),檢測的目的更聚焦于:
確保光學(xué)系統(tǒng)的極限性能(如光刻機的光學(xué)板輪廓誤差需控制在微米級,否則直接影響芯片制程精度);保障設(shè)備的長期穩(wěn)定性(如衛(wèi)星光學(xué)鏡頭的光學(xué)板,微小瑕疵可能在太空環(huán)境中因輻射、溫差逐漸擴大,導(dǎo)致任務(wù)失敗)。
綜上,光學(xué)板的輪廓及瑕疵檢測本質(zhì)是通過對 “結(jié)構(gòu)精度” 和 “光學(xué)純凈度” 的雙重把控,確保其在光學(xué)系統(tǒng)中既能精準適配、高效發(fā)揮功能,又能在長期使用中保持穩(wěn)定與安全,尤其對高端領(lǐng)域的設(shè)備性能和可靠性起到?jīng)Q定性作用。

01.檢測需求

根據(jù)客戶提供的測試需求,利用線光譜掃描光學(xué)板表面輪廓,對數(shù)據(jù)輪廓進行分析得出凹槽深度、寬度數(shù)據(jù),以及表面的缺陷檢測。

02.選型及原理

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03.檢測過程圖

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截取計算三個凹槽的深度寬度數(shù)據(jù)分別為:凹槽1深度26.2um,寬度164.4um、凹槽2深度28.1um,寬度151.4um、凹槽3深度28.7um,寬度158.4um。

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04.設(shè)備結(jié)論

用LCX1000掃描光學(xué)板上表面圖像可以清晰得到凹槽的輪廓,凹槽的深度、寬度可用我們客戶端手動截取簡單計算(因手動劃取區(qū)域?qū)挾刃畔⒍x沒那么標準),凹槽的弧度可用其他視覺軟件進行處理計算。同時光學(xué)板上的瑕疵清晰可見,所以亦可檢測其瑕疵缺陷。

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