PVD 硬質(zhì)涂層的表面形貌直接影響其摩擦學(xué)、潤(rùn)濕性等功能性能，而精準(zhǔn)表征形貌特征是優(yōu)化涂層工藝的關(guān)鍵。臺(tái)階儀因可實(shí)現(xiàn)大掃描面積的三維形貌成像與粗糙度量化，成為研究 PVD 涂層形貌的核心工具。費(fèi)曼儀器致力于為全球工業(yè)智造提供提供精準(zhǔn)測(cè)量解決方案，Flexfilm探針式臺(tái)階儀可以實(shí)現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測(cè)量，精確測(cè)定樣品的表面臺(tái)階高度與膜厚，為材料質(zhì)量把控和生產(chǎn)效率提升提供數(shù)據(jù)支撐。

本文以臺(tái)階儀為主要測(cè)試手段，結(jié)合四種工業(yè) PVD 系統(tǒng)（低壓電子束蒸發(fā)、磁控濺射等），探究基材預(yù)處理（機(jī)械拋光、離子蝕刻）、沉積工藝（旋轉(zhuǎn)方式、裝料配置）及生長(zhǎng)缺陷對(duì)涂層表面形貌的影響，通過(guò)臺(tái)階儀數(shù)據(jù)揭示 PVD 硬質(zhì)涂層形貌的形成機(jī)制，為涂層性能優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支撐。

臺(tái)階儀作為關(guān)鍵計(jì)量工具，在本研究中實(shí)現(xiàn)了對(duì)PVD涂層表面形貌的定量化、跨尺度分析，揭示了離子蝕刻不均勻性、生長(zhǎng)缺陷分布及旋轉(zhuǎn)模式對(duì)表面粗糙度的顯著影響。其提供的高精度臺(tái)階高度與粗糙度數(shù)據(jù)，為優(yōu)化PVD工藝以制備高性能硬涂層提供了直接依據(jù)，尤其在精密加工行業(yè)中具有重要的質(zhì)量控制與性能預(yù)測(cè)價(jià)值。

Flexfilm探針式臺(tái)階儀

flexfilm

在半導(dǎo)體、光伏、LED、MEMS器件、材料等領(lǐng)域，表面臺(tái)階高度、膜厚的準(zhǔn)確測(cè)量具有十分重要的價(jià)值，尤其是臺(tái)階高度是一個(gè)重要的參數(shù)，對(duì)各種薄膜臺(tái)階參數(shù)的精確、快速測(cè)定和控制，是保證材料質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率的重要手段。

• 配備500W像素高分辨率彩色攝像機(jī)
• 亞埃級(jí)分辨率，臺(tái)階高度重復(fù)性1nm
• 360°旋轉(zhuǎn)θ平臺(tái)結(jié)合Z軸升降平臺(tái)
• 超微力恒力傳感器保證無(wú)接觸損傷精準(zhǔn)測(cè)量

費(fèi)曼儀器作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的薄膜厚度測(cè)量技術(shù)解決方案提供商，Flexfilm探針式臺(tái)階儀可以對(duì)薄膜表面臺(tái)階高度、膜厚進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量，保證材料質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率。

原文參考：《Surface Topography of PVD Hard Coatings》

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