在半導(dǎo)體制造中，不同尺寸的晶圓對(duì)甩干機(jī)的轉(zhuǎn)速需求存在差異，但通常遵循以下規(guī)律：

小尺寸晶圓（如≤8英寸）

這類晶圓由于質(zhì)量較輕、結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，可采用較高的轉(zhuǎn)速進(jìn)行離心甩干。常見(jiàn)范圍為3000–10000轉(zhuǎn)/分鐘（rpm）。高速旋轉(zhuǎn)能快速剝離表面水分和殘留液體，配合熱氮?dú)獯祾呖蛇M(jìn)一步提升干燥效率。不過(guò)需注意避免因離心力過(guò)大導(dǎo)致邊緣損傷或顆粒污染。

大尺寸晶圓（如12英寸）

考慮到其較大的質(zhì)量和更高的機(jī)械脆弱性，實(shí)際工藝中往往采用適中的轉(zhuǎn)速范圍，既保證足夠的離心力去除水分，又減少因應(yīng)力集中造成的翹曲或裂紋風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí)，大尺寸晶圓的批量處理還需兼顧均勻性和穩(wěn)定性，因此參數(shù)設(shè)置更偏向保守優(yōu)化。

特殊應(yīng)用調(diào)整

對(duì)于先進(jìn)制程（如EUV光刻后的納米級(jí)結(jié)構(gòu)），可能需要降低轉(zhuǎn)速并結(jié)合其他技術(shù)（如超臨界CO?干燥），以避免破壞精細(xì)圖案；而在常規(guī)清洗流程中，則會(huì)優(yōu)先利用高轉(zhuǎn)速實(shí)現(xiàn)基礎(chǔ)去水。此外，配方化操作允許根據(jù)具體工藝目標(biāo)動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速曲線，例如先低速粗脫再高速精拋的策略。

需要注意的是，轉(zhuǎn)速并非唯一決定因素，還需綜合考量氮?dú)鉁囟取⒘魉?、干燥時(shí)間及靜電消除措施等參數(shù)協(xié)同作用。現(xiàn)代設(shè)備通過(guò)可編程配方（Recipe）實(shí)現(xiàn)多維度控制，確保不同尺寸晶圓均能達(dá)到理想的潔凈度與干燥效果。