微測(cè)輻射熱計(jì)（Microbolometer）是一種基于MEMS工藝制造的非制冷型紅外傳感器，通過(guò)探測(cè)物體輻射的紅外線實(shí)現(xiàn)溫度測(cè)量與熱成像。其核心原理是利用熱敏材料（如氧化釩、多晶硅）的電阻隨溫度變化的特性，將紅外輻射能轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，最終形成熱圖像。

一、工作機(jī)制

紅外輻射被微測(cè)輻射熱計(jì)的吸收層捕獲后，轉(zhuǎn)化為熱能導(dǎo)致熱敏層溫度升高，進(jìn)而引起電阻變化。讀出電路將電阻變化轉(zhuǎn)換為電壓或電流信號(hào)，經(jīng)處理后生成反映目標(biāo)溫度分布的圖像。

二、核心性能指標(biāo)

1. 噪聲等效溫差（NETD）

代表傳感器分辨最小溫度差異的能力。現(xiàn)代微測(cè)輻射熱計(jì)NETD可低于30mK（如0.03℃），能檢測(cè)人體表面微小溫度變化，適用于醫(yī)療診斷等高精度場(chǎng)景。

2. 像元尺寸與面陣規(guī)格

1) 像元尺寸縮至12μm以下，提升分辨率的同時(shí)減小器件體積。

2) 面陣規(guī)格達(dá)1280×1024及以上，支持高清熱成像。

3. 敏感材料特性

氧化釩是微測(cè)輻射熱計(jì)的主流材料，其TCR（電阻溫度系數(shù)）約2-3%/K，1/f噪聲低，靈敏度和成像質(zhì)量比非晶硅（α-Si）更優(yōu)。

三、微測(cè)輻射熱計(jì)核心優(yōu)勢(shì)

1. 綜合性能領(lǐng)先：在靈敏度、分辨率和動(dòng)態(tài)范圍上顯著優(yōu)于熱釋電和熱電堆技術(shù)，尤其適合需要高清成像和微小溫差檢測(cè)的場(chǎng)景（如醫(yī)療、工業(yè)檢測(cè)）。

2. 非制冷與低成本：無(wú)需制冷設(shè)備，體積小、功耗低，且MEMS工藝支持大規(guī)模生產(chǎn)，成本僅為制冷型傳感器的1/10。

3. 應(yīng)用靈活性：芯火微電子紅外產(chǎn)品可覆蓋從消費(fèi)電子到專業(yè)安防的廣泛領(lǐng)域。

因此，微測(cè)輻射熱計(jì)憑借其高靈敏度、高分辨率和非制冷特性，成為紅外熱成像領(lǐng)域的主流技術(shù)，尤其在需要高清成像和便攜性的場(chǎng)景中具有不可替代的優(yōu)勢(shì)。